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2. 发明公开

KR1020160067638A 스토커 시스템 및 그 제어방법 有权
标题翻译：储存器系统及其控制方法
公开(公告)号：KR1020160067638A
公开(公告)日：2016-06-14
申请号：KR1020140173275
申请日：2014-12-04
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 김정민 , 임성호 , 김성명 , 박준영 , 이권두
IPC分类号： B65G1/04 , H01L21/677
CPC分类号： B65G1/04 , B65G1/0407 , H01L21/677
摘要： 스토커시스템및 그제어방법이개시된다. 본발명의일 실시예에따른스토커시스템은, 기판이적재되는선반; 선반에인접하게배치되어선반에기판을적재하는스토커; 및스토커에연결되며, 선반의기판적재위치에기판을적재하도록스토커를수평방향으로주행운동, 높이방향으로상승운동및 기판적재위치에대향되는방향으로회전운동하게제어하는제어유닛을포함하며, 제어유닛은, 스토커의주행운동과상승운동및 회전운동이동시에진행되고완료되도록제어할수 있다.
摘要翻译：公开了一种储存器系统及其控制方法。储料器系统可以延长元件的使用寿命并降低功耗。根据本发明的一个实施例，储料器系统包括：一个搁板，底板装载在该搁板上; 靠近搁板的加料器，并将基板装载在搁板上; 以及控制单元，其连接到储料器并控制加料器，以便储料器沿水平方向驱动，沿垂直方向上升，并且在面向底板装载位置的方向上旋转，使得底板被装载搁板的底板装载位置。控制单元控制加料器，从而同时执行并完成储料器的驱动运动，上升运动和旋转运动。

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