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    • 2. 发明授权
    • 산화티타늄 박막 및 이의 제조방법
    • 二氧化钛薄膜及其方法相同
    • KR100665346B1
    • 2007-01-04
    • KR1020040067270
    • 2004-08-25
    • 전남대학교산학협력단
    • 조동련민호김병훈김종호
    • C01G23/04
    • 본 발명에 따르면, 산화티타늄 박막은 증착대상물의 일측 상면에 APCVD(Atmosphere Pressure CVD), LPCVD(Low Pressure CVD), PECVD(Plasma Enhanced CVD)법 중 선택된 하나 이상의 공정에 의해 광촉매 물질이 코팅되는 것으로, 상기 CVD법을 적용하면 불순물이 제거된 양질의 박막을 얻을 수 있으며, 넓은 면적에 박막을 균일하게 증착시킬 수 있고, 저온에서도 박막을 증착시킬 수 있는 효과가 있다.
      본 발명에 따른 산화티타늄 박막의 제조방법은 증착대상물을 진공챔버에 장착하는 장착단계와, 광촉매 막을 형성하는 물질을 포함하는 유기티탄화합물과 이송 가스 및 산화제 가스를 혼합한 기체상태의 화합물을 기상반응을 일으킬 수 있도록 상기 진공챔버에 공급하는 공급단계와, 상기 기체상태의 화합물의 플라즈마 반응에 의해 상기 증착대상물의 표면에 광촉매 코팅막을 형성하는 박막형성단계를 포함한다.
      산화티타늄, 박막, 증착대상물
    • 3. 发明授权
    • 치아교정장치의 은 이온 코팅막 형성방법과 이를 적용한치아 교정장치
    • 形成正交装置涂层的方法及其矫正装置
    • KR100850029B1
    • 2008-08-04
    • KR1020070045231
    • 2007-05-09
    • 조선대학교산학협력단전남대학교산학협력단
    • 고영무김병훈임성훈옥승호조동련
    • A61C7/00
    • A61C7/14A61C8/0013A61C8/0096A61L2/238A61L27/06A61L27/306A61L2430/12
    • A method of forming a silver ion coating layer is provided to apply silver ions to an orthodontic device or to the surface of an implant, and to prevent the pathogenic oral microflora attachment that causes tooth-decay. A silver ion coating layer is formed by polymerization. To this end, a target part(35) fixed to a stabilizer is injected between both electrodes(31) inside a vacuum chamber(30), and a vacuum pump(20) is operated to make the chamber vacuum. The pressure in the chamber is measured by a pressure gauge(40). Under the vacuum condition, Ar or inert gas(60) is injected to clean the surface of a substrate. Acrylic acid gas(65) is introduced into the chamber as a monomer gas, and discharged with a generator(50). The discharge takes place in two steps, 80W for 4-6min and 30-40W for 15-25min. A resulting acrylic acid polymerization coating layer with a carboxylic group is immersed in a silver ion-containing solution for about 30minutes to substitute hydrogen ions with silver ions.
    • 提供形成银离子涂层的方法,以将银离子施加到正畸装置或植入物的表面,并防止导致牙齿衰变的病原性口腔微生物群落附着。 通过聚合形成银离子涂层。 为此,将固定在稳定器上的目标部件35注入到真空室(30)内部的两个电极(31)之间,并且操作真空泵(20)以使腔室真空。 室内的压力由压力计(40)测量。 在真空条件下,注入Ar或惰性气体(60)以清洁基材表面。 将丙烯酸气体(65)作为单体气体引入室中,并用发生器(50)排出。 放电分两步进行,80W为4-6min,30-40W为15-25min。 将得到的具有羧基的丙烯酸聚合涂层浸入含银离子的溶液中约30分钟以用银离子代替氢离子。
    • 4. 发明公开
    • 산화티타늄 박막 및 이의 제조방법
    • 钛氧化物薄膜及其相关方法
    • KR1020060018753A
    • 2006-03-02
    • KR1020040067270
    • 2004-08-25
    • 전남대학교산학협력단
    • 조동련민호김병훈김종호
    • C01G23/04
    • 본 발명에 따르면, 산화티타늄 박막은 증착대상물의 일측 상면에 APCVD(Atmosphere Pressure CVD), LPCVD(Low Pressure CVD), PECVD(Plasma Enhanced CVD)법 중 선택된 하나 이상의 공정에 의해 광촉매 물질이 코팅되는 것으로, 상기 CVD법을 적용하면 불순물이 제거된 양질의 박막을 얻을 수 있으며, 넓은 면적에 박막을 균일하게 증착시킬 수 있고, 저온에서도 박막을 증착시킬 수 있는 효과가 있다.
      본 발명에 따른 산화티타늄 박막의 제조방법은 증착대상물을 진공챔버에 장착하는 장착단계와, 광촉매 막을 형성하는 물질을 포함하는 유기티탄화합물과 이송 가스 및 산화제 가스를 혼합한 기체상태의 화합물을 기상반응을 일으킬 수 있도록 상기 진공챔버에 공급하는 공급단계와, 상기 기체상태의 화합물의 플라즈마 반응에 의해 상기 증착대상물의 표면에 광촉매 코팅막을 형성하는 박막형성단계를 포함한다.
      산화티타늄, 박막, 증착대상물
    • 6. 发明公开
    • 산화티타늄 박막 및 이의 제조방법
    • 钛氧化物薄膜及其相关方法
    • KR1020060120561A
    • 2006-11-27
    • KR1020060111273
    • 2006-11-10
    • 전남대학교산학협력단
    • 조동련민호김병훈김종호
    • C01G23/04
    • A method for preparing a titanium oxide thin film is provide to allow uniform deposition of a high-quality thin film free from impurities on a large area, and to perform the deposition at a low temperature. The titanium oxide thin film is obtained by depositing a photocatalyst substance onto a top surface of an object to be deposited via any one process selected from the group consisting of APCVD, LPCVD, and PECVD. The photocatalyst substance is formed from a starting material including an organic titanium compound such as titanium tetraisopropoxide. The titanium oxide thin film is prepared by the method comprising the steps of: mounting an object to be deposited in a vacuum chamber; supplying a gaseous mixture containing an organic titanium compound including a material capable of forming a photocatalyst film, a carrier gas and an oxidant gas to the vacuum chamber; and forming a thin film on the surface of the object via plasma reaction of the gaseous mixture.
    • 提供了一种制备氧化钛薄膜的方法,以便在大面积上均匀沉积不含杂质的高质量薄膜,并在低温下进行沉积。 通过从APCVD,LPCVD和PECVD组成的组中选择的任一种工艺将光催化剂物质沉积到待沉积物体的顶表面上,获得氧化钛薄膜。 光催化剂物质由包括四异丙醇钛等有机钛化合物的原料形成。 氧化钛薄膜通过以下方法制备:包括以下步骤:将要沉积的物体安装在真空室中; 向真空室供给含有能够形成光催化剂膜,载气和氧化剂气体的有机钛化合物的气态混合物; 以及通过气体混合物的等离子体反应在物体的表面上形成薄膜。