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1. 发明授权

KR101790141B1 이온화 가스 기류로 넓은 면적을 커버하는 방법 및 장치 有权
标题翻译：用电离气流覆盖大面积的方法和装置
公开(公告)号：KR101790141B1
公开(公告)日：2017-10-25
申请号：KR1020127010756
申请日：2010-10-26
申请人： 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드
发明人： 게터,피터 , 콜치코프,알렉세이 , 메니르,죤,이.
IPC分类号： H01J27/02 , H01J27/04 , H01J27/16
CPC分类号： H01J27/024 , B03C3/361 , B03C3/38
摘要： 이온화가스기류를수신하기위한가스이송채널과가스기류를각각의복수의타겟구역쪽으로향하는복수의중화가스기류로분할하는복수의출구를구비한이온분배매니폴드(manifold)가개시된다. 복수의출구를통해상이한이온유량(flow rate)을이용함으로써, 타겟구역에걸쳐서적어도전체적으로균일한이온분배가달성된다. 각각의복수의타겟구역에복수의중화기류를분배하는방법은이온화가스기류를수신하는단계와, 이온화가스기류를복수의중화기류로분할하는단계, 및중화기류를각각의타겟구역으로향하게하는단계를포함한다. 중화기류의이온유량을달리함으로써, 타겟구역에걸쳐서적어도전체적으로균일한이온분배가달성된다.
摘要翻译：提供了离子分配歧管，其具有用于接收电离气流的气体输送通道和用于将气体流分成引向相应多个目标区的多个中和气流的多个出口。通过使用通过多个出口的不同的离子流速，至少实现整个目标区域的整体均匀的离子分布。用于分配多个中和空气流到相应的多个目标区域的方法包括接收电离气体流，将电离气体流分成多个中和空气流，并且将中和空气流引导到相应的目标区域它包括。通过改变中和空气流的离子流速，实现了至少整个目标区域的整体均匀离子分布。

2. 发明公开

KR1020120100949A 이온화 가스 기류로 넓은 면적을 커버하는 방법 및 장치 有权
标题翻译：覆盖带有气体流的宽阔的地区
公开(公告)号：KR1020120100949A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：KR1020127010756
申请日：2010-10-26
申请人： 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드
发明人： 게터,피터 , 콜치코프,알렉세이 , 메니르,죤,이.
IPC分类号： H01J27/02 , H01J27/04 , H01J27/16
CPC分类号： H01J27/024 , B03C3/361 , B03C3/38
摘要： 이온화 가스 기류를 수신하기 위한 가스 이송 채널과 가스 기류를 각각의 복수의 타겟 구역 쪽으로 향하는 복수의 중화 가스 기류로 분할하는 복수의 출구를 구비한 이온 분배 매니폴드(manifold)가 개시된다. 복수의 출구를 통해 상이한 이온 유량(flow rate)을 이용함으로써, 타겟 구역에 걸쳐서 적어도 전체적으로 균일한 이온 분배가 달성된다. 각각의 복수의 타겟 구역에 복수의 중화 기류를 분배하는 방법은 이온화 가스 기류를 수신하는 단계와, 이온화 가스 기류를 복수의 중화 기류로 분할하는 단계, 및 중화 기류를 각각의 타겟 구역으로 향하게 하는 단계를 포함한다. 중화 기류의 이온 유량을 달리함으로써, 타겟 구역에 걸쳐서 적어도 전체적으로 균일한 이온 분배가 달성된다.

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