专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020080011048A 극단 자외광 광원 장치 및 극단 자외광 발생 방법 无效
标题翻译：极光紫外线光源装置和超极紫外光发生方法
公开(公告)号：KR1020080011048A
公开(公告)日：2008-01-31
申请号：KR1020070056007
申请日：2007-06-08
申请人： 우시오덴키 가부시키가이샤
发明人： 시라이다카히로 , 벳소가즈노리 , 사토히로토 , 데라모토유스케
IPC分类号： G21K5/00
CPC分类号： H05G2/003 , H05G2/005
摘要： An EUV(Extreme Ultra Violet) light source apparatus and an extreme ultra violet light generating method are provided to suppress the movement of debris into an EUV condenser while supplying plasma raw material to a discharge region. An EUV light source apparatus includes a case, a raw material supplying device(2), an energy beam irradiating device, a pair of discharge electrodes(1a,1b), a pulse power supplying device, a light collecting optical device, and an EUV light extracting unit. The raw material supplying device emits the EUV light inside the case and supplies liquid or solid raw material(2a). The energy beam irradiating device irradiates the energy beam to the raw material and vaporizes the raw material. The pair of discharge electrodes generate plasma at a high temperature and are spaced apart from each other at a predetermined distance. The pulse power supplying device supplies a pulse power to the discharge electrodes. The light collecting device collects the EUV light emitted from the plasma at a high temperature. The EUV light extracting unit extracts the collected EUV light.
摘要翻译：提供了一种EUV（Extreme Ultra Violet）光源装置和极紫外光发生方法，用于在向等离子体原料供给放电区域时抑制碎片进入EUV冷凝器的运动。 EUV光源装置包括壳体，原料供给装置（2），能量束照射装置，一对放电电极（1a，1b），脉冲供电装置，聚光光学装置以及EUV 光提取单元。原料供给装置在壳体内发射EUV光，供给液体或固体原料（2a）。能量束照射装置将能量束照射到原料并蒸发原料。一对放电电极在高温下产生等离子体并且以预定距离彼此间隔开。脉冲供电装置向放电电极供给脉冲电力。光收集装置在高温下收集从等离子体发射的EUV光。 EUV光提取单元提取收集的EUV光。

2. 发明授权

KR101228776B1 집광경 어셈블리 및 이 집광경 어셈블리를 이용한 극단 자외광 광원 장치 有权
标题翻译：收集器镜头组件和极端超紫外线光源设备使用集光镜组件
公开(公告)号：KR101228776B1
公开(公告)日：2013-01-31
申请号：KR1020127023489
申请日：2011-03-02
申请人： 우시오덴키 가부시키가이샤
发明人： 사토히로토
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70166 , G03F7/70891 , G03F7/70958 , G21K2201/064 , H05G2/001
摘要： 극단 자외광 광원 장치에 있어서, 집광경 어셈블리의 열변형에 의한 집광 성능의 악화를 방지하는 것. 극단 자외광 광원 장치에 이용되는 집광경 어셈블리는, 직경이 다른 회전 타원면 또는 회전 쌍곡면 형상의 복수의 반사 쉘(21)로 구성되고, 이 반사 쉘(21)이 네스트 형상으로 배치되고, 그 단부가 유지 구조체(22)로 유지되어 있다. 반사 쉘(21)에는 냉매를 흘려 보내는 냉각 채널이, 반사면의 이면측의 면상이며 반사 쉘의 축방향으로 부착되어 있다. 이 냉각 채널이 보강재의 기능을 하고, 반사 쉘(21)의 열변형을 억제할 수 있다. 또한, 반사 쉘(21)의 재질로서 몰리브덴을 이용함으로써 더 열변형을 억제할 수 있고, 유지 구조체(22)에 냉각 채널을 설치함으로써, 더 효과적으로 집광경 어셈블리를 냉각하고, 그 열변형을 억제할 수 있다.

3. 发明授权

KR100533660B1 램프용 경사기능 재료제 봉지체 및 램프 有权
标题翻译：功能梯度材料的灯和灯泡包装
公开(公告)号：KR100533660B1
公开(公告)日：2005-12-05
申请号：KR1020007005616
申请日：1999-10-14
申请人： 우시오덴키 가부시키가이샤
发明人： 다가와유키하루 , 스가야가츠미 , 사토히로토
IPC分类号： H01J61/36
CPC分类号： H01J9/323 , H01J61/36 , H01J61/366 , H01J61/822 , H01K1/40
摘要： 램프용 경사기능 재료제 봉지체(10, 30)는 경사기능 재료로 이루어진 봉지재와, 이 봉지부재(11, 31)에 고정 장착된 전극봉(13, 32)으로 이루어지고, 상기 봉지부재는 절연성 무기물질층과, 각각 전도성 무기물질 성분과 절연성 무기물질 성분과의 혼합물로 이루어진 복수의 혼합물층이 적층되어 이루어지고, 적층방향으로 전도성 무기물질 성분의 비율이 단계적으로 증대하고, 적층방향으로 연장하는 구멍이 형성되어 있고, 상기 전극봉은 상기 봉지부재의 구멍내에 삽입되고, 이 전극봉의 외주면과 봉지부재의 구멍과의 사이에 고융점 금속으로 이루어진 슬립형상 금속부재가 개재된 상태로 일체로 고정 장착되어 있다.
램프는 상기 램프용 경사기능 재료제 봉지체에 의해 기밀 봉지체 구조가 형성되어 있다.

4. 发明公开

KR1020120106903A 집광경 어셈블리 및 이 집광경 어셈블리를 이용한 극단 자외광 광원 장치 有权
标题翻译：收集器镜头组件和极端超紫外光源设备使用集光镜组件
公开(公告)号：KR1020120106903A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：KR1020127023489
申请日：2011-03-02
申请人： 우시오덴키 가부시키가이샤
发明人： 사토히로토
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70166 , G03F7/70891 , G03F7/70958 , G21K2201/064 , H05G2/001 , H01L21/0274 , G03F7/70033
摘要： 극단 자외광 광원 장치에 있어서, 집광경 어셈블리의 열변형에 의한 집광 성능의 악화를 방지하는 것. 극단 자외광 광원 장치에 이용되는 집광경 어셈블리는, 직경이 다른 회전 타원면 또는 회전 쌍곡면 형상의 복수의 반사 쉘(21)로 구성되고, 이 반사 쉘(21)이 네스트 형상으로 배치되고, 그 단부가 유지 구조체(22)로 유지되어 있다. 반사 쉘(21)에는 냉매를 흘려 보내는 냉각 채널이, 반사면의 이면측의 면상이며 반사 쉘의 축방향으로 부착되어 있다. 이 냉각 채널이 보강재의 기능을 하고, 반사 쉘(21)의 열변형을 억제할 수 있다. 또한, 반사 쉘(21)의 재질로서 몰리브덴을 이용함으로써 더 열변형을 억제할 수 있고, 유지 구조체(22)에 냉각 채널을 설치함으로써, 더 효과적으로 집광경 어셈블리를 냉각하고, 그 열변형을 억제할 수 있다.

5. 发明公开

KR1020010032379A 램프용 경사기능 재료제 봉지체 및 램프 有权
标题翻译：用于灯具的倾斜材料
公开(公告)号：KR1020010032379A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020007005616
申请日：1999-10-14
申请人： 우시오덴키 가부시키가이샤
发明人： 다가와유키하루 , 스가야가츠미 , 사토히로토
IPC分类号： H01J61/36
CPC分类号： H01J9/323 , H01J61/36 , H01J61/366 , H01J61/822 , H01K1/40
摘要： 램프용경사기능재료제봉지체(10, 30)는경사기능재료로이루어진봉지재와, 이봉지부재(11, 31)에고정장착된리드봉(13, 32)으로이루어지고, 상기봉지부재는절연성무기물질층과, 각각전도성무기물질성분과절연성무기물질성분과의혼합물로이루어진복수의혼합물층이적층되어이루어지고, 적층방향으로전도성무기물질성분의비율이단계적으로증대하고, 적층방향으로연장하는구멍이형성되어있고, 상기리드봉은상기봉지부재의구멍내에삽입되고, 이리드봉의외주면과봉지부재의구멍과의사이에고융점금속으로이루어진슬립형상금속부재가개재된상태로일체로고정장착되어있다. 램프는상기램프용경사기능재료제봉지체에의해기밀봉지체구조가형성되어있다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式