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1. 发明授权

KR101346048B1 기판 검사 장치 失效
标题翻译：基板检查装置
公开(公告)号：KR101346048B1
公开(公告)日：2013-12-31
申请号：KR1020070025525
申请日：2007-03-15
申请人： 올림푸스 가부시키가이샤
发明人： 마쓰모토마사루 , 후지사키노부오
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/677
摘要： 본 발명의 기판 검사 장치는, 기판(1)을 부상(浮上)시켜 수평 지지하는 부상 스테이지부(6)와, 기판(1)의 단부(段部)를 지지하고 부상 스테이지부(6) 상에 부상시킨 상태로 반송(搬送)하는 제1 기판 반송 수단(9)과, 제1 기판 반송 수단(9)에 의해 반송된 기판(1)을 검사하는 검사부와, 부상 스테이지부(6)의 반송면으로부터 출몰(出沒) 가능하게 설치되고, 기판(1)의 배면을 지지하여 부상 스테이지부(6) 내에 반입(搬入)하는 회전 구동 가능한 회전체(8b)를 부상 스테이지부(6)의 단부에 복수개 배치한 제2 기판 반송 수단(8)을 구비한다.
기판 검사 장치, 스테이지부, 기판 반송 수단, 검사부

2. 发明公开

KR1020070040722A 기판 검사 장치 失效
标题翻译：基板检查装置
公开(公告)号：KR1020070040722A
公开(公告)日：2007-04-17
申请号：KR1020060098486
申请日：2006-10-10
申请人： 올림푸스 가부시키가이샤
发明人： 마쓰모토마사루 , 나가미오사무
IPC分类号： G01N21/958
摘要： 본 발명의 기판 검사 장치(1)에는, 베이스 본체(3) 상에 기판(W)을 공기 부상시키는 부상 스테이지(4)가 설치되어 있다. 또한, 베이스 본체(3)의 일단부로부터 타단부에 이르는 사이에, 자동 매크로 검사부(21)와 마이크로 검사부(22)가 순차적으로 설치되어 있다. 자동 매크로 검사부(21)는, 라인형 조명광을 기판(W)에 조사하는 조명부(24)를 가지고, 조명광의 반사광을 반사부(25)에서 반사시킨 후에, 촬상부(26)에 입사하도록 구성되어 있다.
스테이지, 기판, 반송 수단, 라인 조명용 광원, 촬상부, 마이크로 검사부, 대물 렌즈, 마이크로 검사부, 결함 좌표 연산부, 제어부, 정밀 부상 블록.

3. 发明授权

KR101305262B1 기판 검사 장치 失效
标题翻译：基板检查装置
公开(公告)号：KR101305262B1
公开(公告)日：2013-09-09
申请号：KR1020060098486
申请日：2006-10-10
申请人： 올림푸스 가부시키가이샤
发明人： 마쓰모토마사루 , 나가미오사무
IPC分类号： G01N21/958
摘要： 본 발명의 기판 검사 장치(1)에는, 베이스 본체(3) 상에 기판(W)을 공기 부상시키는 부상 스테이지(4)가 설치되어 있다. 또한, 베이스 본체(3)의 일단부로부터 타단부에 이르는 사이에, 자동 매크로 검사부(21)와 마이크로 검사부(22)가 순차적으로 설치되어 있다. 자동 매크로 검사부(21)는, 라인형 조명광을 기판(W)에 조사하는 조명부(24)를 가지고, 조명광의 반사광을 반사부(25)에서 반사시킨 후에, 촬상부(26)에 입사하도록 구성되어 있다.
스테이지, 기판, 반송 수단, 라인 조명용 광원, 촬상부, 마이크로 검사부, 대물 렌즈, 마이크로 검사부, 결함 좌표 연산부, 제어부, 정밀 부상 블록.
摘要翻译：本发明的基板检查装置1具备用于使基板W在基体3的空气中浮起的浮动台4。自动宏观检查单元21和微观检查单元22从基体3的一端到其另一端依次布置。自动宏观检查部21具有照射部分24，该照射部分24用线型照明光照射基板W，并且被配置为将照明光的反射光反射到反射部分25上，然后进入成像部分26 有。

4. 发明公开

KR1020070094506A 기판 검사 장치 失效
标题翻译：基板检查装置
公开(公告)号：KR1020070094506A
公开(公告)日：2007-09-20
申请号：KR1020070025525
申请日：2007-03-15
申请人： 올림푸스 가부시키가이샤
发明人： 마쓰모토마사루 , 후지사키노부오
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/677
CPC分类号： H01L22/30 , B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/045 , H01L21/67784 , H01L22/24
摘要： A substrate inspection apparatus is provided to reduce a space necessary for inspecting a substrate without using another substrate transferring unit such as a transferring robot for transferring the substrate. A floating stage unit(6) supports a substrate(1) of a horizontal state by floating the substrate. A first substrate transferring unit supports an end of the substrate and transfers the substrate of the floating state on the floating stage unit. An inspection unit inspects the substrate which is transferred by the first substrate transferring unit. A second substrate transferring unit is drawn from a transferring surface of the floating stage unit. The second substrate transferring unit supports a backside of the substrate and includes a plurality of rotators having a rotatable structure. The rotators are arranged at an end of the floating stage unit.
摘要翻译：提供了一种基板检查装置，用于减少检查基板所需的空间，而不需要用于传送基板的诸如转印机器人的另一基板传送单元。浮动单元（6）通过浮置基板来支撑水平状态的基板（1）。第一衬底转移单元支撑衬底的端部并将浮动状态的衬底传送到浮动平台单元上。检查单元检查由第一基板传送单元传送的基板。第二基板转印单元从浮动单元的转印表面抽出。第二基板转印单元支撑基板的背面，并且包括具有可旋转结构的多个转子。旋转器布置在浮动平台单元的末端。

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