专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR102028478B1 화학기상 증착장치 有权
公开(公告)号：KR102028478B1
公开(公告)日：2019-10-04
申请号：KR1020130141343
申请日：2013-11-20
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 주식회사 선익시스템
发明人： 김종석 , 이정형 , 함윤혜 , 이영종 , 성기현 , 최창식 , 윤종갑 , 이재호
IPC分类号： C23C16/46 , C23C16/458 , C23C16/452 , C23C16/455

2. 发明授权

KR102019303B1 화학기상 증착 시스템 有权
公开(公告)号：KR102019303B1
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：KR1020130158072
申请日：2013-12-18
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 주식회사 선익시스템
发明人： 함윤혜 , 김종석 , 이정형 , 이영종 , 성기현 , 최창식 , 윤종갑 , 이재호
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/452 , C23C16/455

3. 发明公开

KR1020150071263A 화학기상 증착 시스템 审中-实审
标题翻译：化学蒸气沉积系统
公开(公告)号：KR1020150071263A
公开(公告)日：2015-06-26
申请号：KR1020130158072
申请日：2013-12-18
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 주식회사 선익시스템
发明人： 함윤혜 , 김종석 , 이정형 , 이영종 , 성기현 , 최창식 , 윤종갑 , 이재호
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/452
CPC分类号： C23C16/4485 , C23C16/452 , C23C16/45565 , C23C16/4557 , Y10S261/65
摘要： 본발명은화학기상증착시스템에관한것이다. 본발명은화학기상증착을위해유입되는개시제및 반응물질을냉각시키는냉각챔버; 상기냉각챔버를통과한개시제및 반응물질을기화시키는기화챔버; 및상기기화된반응물질을기판에증착시키는화학기상증착장치를포함할수 있다. 그리고, 상기기화챔버와화학기상증착장치의사이에는상기기화된반응물질을라디칼이온으로분해시키는플라즈마부가배치될수 있다. 이와같은본 발명에의하면, 화학기상증착을위해유입되는반응물질을증착전에항온, 항습상태로보관할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种化学气相沉积系统。化学气相沉积系统可以包括：用于冷却抑制剂的冷却室和流入化学气相沉积的反应物; 蒸发室，用于蒸发已经通过冷却室的抑制剂和反应物; 以及使蒸发的反应物沉积在基底上的化学气相沉积装置。除此之外，也可以在蒸发室和化学气相沉积装置之间设置用于将蒸发的反应物分解为自由基离子的等离子体部件。根据本发明，用于化学气相沉积的流动反应物可以在沉积之前在恒定的温度和湿度下储存。

4. 发明公开

KR1020150057679A 기판 냉각장치 및 이를 포함하는 화학기상 증착장치 审中-实审
标题翻译：用于基材和化学气相沉积装置的冷却装置，包括其
公开(公告)号：KR1020150057679A
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：KR1020130141344
申请日：2013-11-20
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 주식회사 선익시스템
发明人： 김종석 , 이정형 , 함윤혜 , 이영종 , 성기현 , 최창식 , 윤종갑 , 이재호
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/52
CPC分类号： C23C16/466 , C23C16/452 , C23C16/4557 , C23C16/4586
摘要： 본발명은기판냉각장치및 이를포함하는화학기상증착장치에관한것이다. 본발명은챔버내부에안착되는기판을냉각하기위한기판냉각장치에있어서, 상기기판의하부에설치되어상기기판을냉각시키는기판냉각플레이트를포함하고, 상기기판과기판냉각플레이트사이의공간으로냉각가스가유입되어상기기판의열을상기기판냉각플레이트로전달시킬수 있다. 이와같은본 발명에의하면, 기판의냉각이용이하여안정된환경하에서증착이이루어져증착품질이향상된다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于基板的冷却装置和包括该冷却装置的化学气相沉积装置。根据本发明，用于冷却安装在室内的基板的基板用冷却装置包括：安装在基板的下部并冷却基板的基板用冷却板，并且透射基板的热量到基板的冷却板，因为冷却气体被注入到基板和用于基板的冷却板之间的空间中。根据本发明，由于在稳定的环境下进行沉积，有助于提高沉积质量的基板的冷却。

5. 发明公开

KR1020150057678A 화학기상 증착장치 审中-实审
标题翻译：化学蒸气沉积装置
公开(公告)号：KR1020150057678A
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：KR1020130141343
申请日：2013-11-20
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 주식회사 선익시스템
发明人： 김종석 , 이정형 , 함윤혜 , 이영종 , 성기현 , 최창식 , 윤종갑 , 이재호
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/455
CPC分类号： C23C16/46 , C23C16/452 , C23C16/4557 , C23C16/4586
摘要： 본발명은화학기상증착장치에관한것이다. 본발명은기판이내부에안착되는챔버; 상기챔버의상부에설치되어상기챔버내부로반응가스를분출시키는샤워헤드어셈블리; 및상기기판이투입되도록상기챔버에형성된기판투입구를개폐하는셔터를포함할수 있다. 이와같은본 발명에의하면, 챔버가열부를설치하여챔버내부의온도구배를균일하게함으로써증착의균일도를높일수 있다.
摘要翻译：化学气相沉积装置技术领域本发明涉及化学气相沉积装置。本发明的化学气相沉积装置包括一个内部安装有基片的腔室; 淋浴头组件，其安装在所述室的上部，并且将反应性气体排放到所述室的内部; 以及打开和关闭形成在待输入的基板的室上的基板入口。根据本发明，安装室加热部件以在室内形成均匀的温度梯度，从而增加沉积的均匀性。

6. 发明公开

KR1020150057677A 샤워헤드 어셈블리 및 이를 포함하는 화학기상 증착장치 审中-实审
标题翻译：淋浴组件和化学气相沉积装置，包括它们
公开(公告)号：KR1020150057677A
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：KR1020130141342
申请日：2013-11-20
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 주식회사 선익시스템
发明人： 김종석 , 이정형 , 함윤혜 , 이영종 , 성기현 , 최창식 , 윤종갑 , 이재호
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/50
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/4405 , C23C16/452 , C23C16/4557 , C23C16/45574 , C23C16/46 , C23C16/463
摘要： 본발명은샤워헤드어셈블리및 이를포함하는화학기상증착장치에관한것이다. 본발명은챔버의상부에설치되어상기챔버내부로반응가스를분출시키는샤워헤드어셈블리에있어서, 제1 반응가스가유입되는제1 반응가스유입플레이트; 상기제1 반응가스유입플레이트의상부에적층되고, 제2 반응가스가유입되는제2 반응가스유입플레이트; 및상기제2 반응가스유입플레이트의상부에적층되고, 상기제1 및제2 반응가스가반응을일으키도록개시제가유입되는개시제유입플레이트를포함할수 있다. 이와같은본 발명에의하면, 샤워헤드어셈블리를 3단구조로구성하고반응가스를중앙부로안내하는가스유로가형성함으로써반응가스가챔버내부로균일하게분출될수 있다.
摘要翻译：喷淋头组件及包括该喷淋头组件的化学气相沉积设备技术领域本发明涉及一种喷淋头组件及包括该喷淋头组件的化学气相沉积设备。安装在室的上部并将反应气体注入到室中的喷淋头组件包括：第一反应气体引入板，第一反应气体引入到其中; 第二反应气体导入板，其叠置在第一反应气体导入板的顶部，并且引入第二反应气体; 以及引发剂引入板，其堆叠在第二反应气体导入板的顶部，并且引入引发剂以引发第一和第二反应气体之间的反应。根据如上所述的本发明，由于喷淋头组件由三级结构构成，反应气体可以均匀地注入到室中，并且形成用于将反应气体引导到中心部分的气体流路。

7. 发明授权

KR101635759B1 물질이동 가스의 분리장치 및 이를 포함하는 화학기상 증착장치 有权
标题翻译：用于传质气体的分离装置和包括其的化学气相沉积设备
公开(公告)号：KR101635759B1
公开(公告)日：2016-07-04
申请号：KR1020130143556
申请日：2013-11-25
申请人： 주식회사 선익시스템
发明人： 성기현 , 최창식 , 이재호 , 윤종갑 , 강순석 , 이영종
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/458
摘要： 본발명은물질이동가스의분리장치및 이를포함하는화학기상증착장치에관한것이다. 본발명은화학기상증착을위해유입되는개시제및 반응가스를이동시키기위해침투된물질이동가스를분리하기위한물질이동가스의분리장치에있어서, 진공하우징; 및상기진공하우징의내부를관통하고, 상기개시제및 반응가스와물질이동가스가통과하는분리튜브를포함하고, 상기분리튜브에는상기물질이동가스가상기진공하우징내부로배출되도록미세홀이형성될수 있다. 이와같은본 발명에의하면, 화학기상증착을위해유입되는개시제및 반응가스에투입된물질이동가스를진공상태에서미세홀을통해배출시킴으로써, 개시제및 반응가스의유량조절시 노이즈가발생하는것을최소화할수 있다.

8. 发明公开

KR1020160002214A 모노머 포집유닛 및 이를 포함하는 모노머 증착장치 无效
标题翻译：单体收集单元和单体沉积装置，包括它们
公开(公告)号：KR1020160002214A
公开(公告)日：2016-01-07
申请号：KR1020140081240
申请日：2014-06-30
申请人： 주식회사 선익시스템
发明人： 이경철 , 윤종갑
IPC分类号： H01L51/56 , H01L21/203
摘要： 본발명은모노머포집유닛및 모노머증착장치에관한것에관한것으로, 본발명의일 측면에따르면, 기판에분사되는모노머(Monomer)를포집하기위한모노머포집유닛에있어서, 냉기공급을위한냉각원; 일측이냉각원에결합되고, 냉각원으로부터공급된냉기를전달하는냉기전달부재; 및기판에대향되도록냉기전달부재의타측에결합되어, 분사된모노머를냉각하여포집하는냉각플레이트를포함하는, 모노머포집유닛및 이를포함하는모노머증착장치가제공된다.
摘要翻译：本发明涉及单体收集单元和包括该单体收集单元的单体沉积设备。根据本发明的一个方面，一种用于收集注入衬底的单体的单体收集单元，包括用于供应冷空气的冷却源; 冷空气传输构件，其一侧与冷却源结合并且传递从冷却源供应的冷气; 以及冷却板，其与冷气传递部件的另一侧组合以面对基板，并且冷却注入的单体以收集。

9. 发明公开

KR1020150114099A 가동 중에도 소진된 소스를 교체할 수 있도록 노즐을 개폐하는 셔터를 가진 증발기 审中-实审
标题翻译：蒸发器用开关打开和关闭喷嘴，以便在运行期间可以更换排气源
公开(公告)号：KR1020150114099A
公开(公告)日：2015-10-12
申请号：KR1020140037889
申请日：2014-03-31
申请人： 주식회사 선익시스템
发明人： 윤종갑
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67098 , B05B12/1472 , H01L21/205 , H01L21/67207
摘要： 본발명의일 측면에의하면, 증착용액체를보관하는소스에연결되어상기증착용액체를분사하는적어도 2개이상의노즐; 상기노즐로부터분사된상기증착용액체를가열하여증착용기체로증발시키는히팅챔버; 상기히팅챔버의일측에구비되고상기노즐중 어느하나만을열리도록제어하는셔터모듈; 및상기증착용기체를상기히팅챔버의외부로배출하는배기구를포함하는것을특징으로하는증발기를제공한다. 본발명에따르면, 가동중에도소스를교체할수 있는증발기를제공한다.
摘要翻译：根据本发明的一个方面，提供一种蒸发器，其包括：两个或更多个喷嘴，其连接到用于沉积的源储存液体，用于喷射用于沉积的液体; 用于加热从喷嘴喷射的用于沉积的液体的加热室，并蒸发成气体用于沉积; 一个快门模块，设置在加热室的一侧，用于控制仅打开喷嘴中的任何一个; 以及用于在加热室外发射用于沉积的气体的排气管。根据本发明，提供了可以在操作期间替换源的蒸发器。

10. 发明授权

KR101456246B1 기판 이송체 교환장치 有权
标题翻译：一种交换班机的设备
公开(公告)号：KR101456246B1
公开(公告)日：2014-11-03
申请号：KR1020130030436
申请日：2013-03-21
申请人： 주식회사 선익시스템
发明人： 윤종갑
IPC分类号： H01L51/56 , H01L21/677 , C23C14/24 , H01L21/205
摘要： 본 발명은 유기 박막 증착 공정을 위해 기판을 이송하는 기판 이송체의 교체를 용이하게 하고, 물류흐름을 원활히 하는 증착챔버를 위한 기판 이송체 교환장치에 관한 것으로, 증착챔버의 일측에 탈착 가능하며, 일측면에 개구부가 구비된 교환챔버와, 상기 교환챔버의 개구부를 통해 입출되며, 기판 이송체가 안착되는 안착부를 적어도 두 개 이상 구비하여 다수개의 기판 이송체를 수납하는 카세트와, 상기 교환챔버의 양측부에 각각 설치되고 상기 안착부에 안착된 기판 이송체를 순차적으로 상기 교환챔버의 개구부를 통해 증착챔버의 내부로 이송 가능하게 하는 이송수단과, 상기 카세트를 상기 교환챔버에 대해 상하이동 가능하도록 하는 카세트 승하강수단과, 상기 카세트 승하강수단 및 이송수단과 각각 접속되어 해당 동작을 제어 가능하게 하는 제어부와, 상기 카세트가 개구부를 통해 교환챔버에 입출될 때 상기 카세트를 받쳐주면서 이동시키도록 상기 교환챔버의 하면에 설치되는 롤러 어셈블리를 포함함으로써, 기판을 이송하기 위한 기판 이송체의 교체를 용이하게 하고, 다수개의 기판이 적층 수납되는 카세트를 교환챔버 내부에 용이하게 이동시킴으로써, 작업자의 편의성을 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式