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1. 发明公开

KR1020140095993A 와이어 접합기 및 와이어 접합기를 교정하는 방법 有权
标题翻译：一种线接合器和一种校准电线接头的方法
公开(公告)号：KR1020140095993A
公开(公告)日：2014-08-04
申请号：KR1020140008652
申请日：2014-01-24
申请人： 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디
发明人： 송켕예우 , 리와이와 , 왕이빈
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： H01L24/78 , H01L24/48 , H01L24/85 , H01L2224/48247 , H01L2224/78268 , H01L2224/78301 , H01L2224/78801 , H01L2224/85045 , H01L2224/85205 , H01L2224/859 , H01L2924/00014 , H01L2924/12042 , H01L2224/45099 , H01L2224/05599 , H01L2924/00
摘要： Disclosed is a wire binder including: a processor; a bonding head coupled to the processor and configured to allow the processor to control the motion of the binding head; a binding frame mounted on the binding head and driven by the binding head in order for mutual electrical connection to be made between a substrate having a semiconductor die mounted thereon and the semiconductor die through a binding wire; and a measurement device coupled to the binding head to measure the deformation of a binding part of the binding wire when the binding frame is driven by the binding head in order for the binding wire to be connected with the semiconductor die through the binding part. In detail, disclosed is a method of correcting the wire binder, in which the processor deduces at least one correlation between the measured deformation of the binding part and operating parameters of the wire binder, compares at least one deduced correlation with a correlation preset between the operating parameters of the wire binder and desirable deformation of the binder, and corrects the operating parameters based on the comparison between at least one deduced correlation and the preset correlation between the operating parameters of the wire binder and the deformation of the binding part.
摘要翻译：公开了一种线夹，包括：处理器; 结合头，其耦合到所述处理器并且被配置为允许所述处理器控制所述装订头的运动; 安装在装订头上并由装订头驱动的装订框架，以便在其上安装有半导体管芯的基板和通过装订线的半导体管芯之间进行相互电连接; 以及耦合到所述装订头的测量装置，用于当所述装订框架被所述装订头驱动时，以测量所述装订线的装订部分的变形，以便所述装订线通过所述装订部分与所述半导体模具连接。详细地，公开了一种校正线材粘合剂的方法，其中处理器推断测量的结合部分的变形与线材粘合剂的操作参数之间的至少一个相关性，将至少一个推导的相关性与焊接工具的操作参数和粘合剂的理想变形，并且基于至少一个推导的相关性与线粘合剂的操作参数与结合部的变形之间的预设相关性之间的比较来校正操作参数。

2. 发明公开

KR1020130045808A 와이어 상호 연결부를 형성하기 위한 와이어 본딩 방법 및 와이어 본딩용 장치 有权
标题翻译：自动焊线调整系统
公开(公告)号：KR1020130045808A
公开(公告)日：2013-05-06
申请号：KR1020120117974
申请日：2012-10-23
申请人： 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디
发明人： 송켕예우 , 리와이와 , 왕이빈 , 구오웬후아 , 장신웨이
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： H01L24/78 , B23K20/007 , B23K35/0261 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/85 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48477 , H01L2224/78301 , H01L2224/78611 , H01L2224/78621 , H01L2224/85045 , H01L2224/85051 , H01L2224/85205 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： PURPOSE: An automatic wire tail adjustment system for wire bonders is provided to automatically prevent an inappropriate wire tail from being extended from a capillary tube and to improve the productivity of a wire bonding apparatus. CONSTITUTION: A wire holding device(16) opens a wire clamp(18) to fix a wire while the wire is not clamped. The wire clamp and a capillary tube(20) upwardly move to the wire holding device in order to unwind the wire from a wedge wire bond. The wire clamp holds the wire in a predetermined height of the capillary tube. The capillary tube and the wire clamp move far away from the wedge wire bond to break the wire from the wedge wire bond in order to form a wire tail extended from the capillary tube.
摘要翻译：目的：提供一种用于引线接合器的自动线尾调整系统，以自动防止不适当的线尾从毛细管延伸，并提高引线接合装置的生产率。构成：电线保持装置（16）打开电线夹（18）以在电线未夹紧时固定电线。电线夹和毛细管（20）向上移动到电线保持装置，以便将电线从楔形线接合处展开。电线夹将电线保持在毛细管的预定高度。毛细管和电线夹远离楔形线接合移动，以将线从楔形线接合处断开，以形成从毛细管延伸的线尾。

3. 发明授权

KR101804232B1 와이어 접합 중에 자유 에어 볼 크기를 측정하기 위한 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于在引线键合期间测量无空气球尺寸的方法和设备
公开(公告)号：KR101804232B1
公开(公告)日：2018-01-10
申请号：KR1020140082352
申请日：2014-07-02
申请人： 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디
发明人： 송켕예우 , 왕이빈 , 센주오쳉 , 루오지아리 , 탄칭리
IPC分类号： H01L21/66 , H01L23/48 , G01B21/10 , B23K31/02
CPC分类号： H01L24/78 , B23K20/007 , H01L24/48 , H01L24/85 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/78 , H01L2224/78268 , H01L2224/78301 , H01L2224/789 , H01L2224/85045 , H01L2224/85181 , H01L2224/85205 , H01L2224/859 , H01L2924/00014 , H01L2924/00 , H01L2924/00012 , H01L2224/45099 , H01L2224/05599
摘要： 와이어접합기의와이어접합프로세스중에자유에어볼 크기를측정하는방법이개시되며, 상기와이어접합기는접합와이어를사용하여반도체디바이스와기판사이에전기접속부를형성하기위하여위치센서및 접합공구를포함한다. 구체적으로, 상기방법은상기접합와이어의와이어후미부로부터자유에어볼을형성하는단계; 기준위치에대해서상기접합공구의제 1 위치및 제 2 위치사이의위치차이를결정하기위하여상기위치센서를사용하는단계로서, 상기접합공구의제 1 위치는상기자유에어볼이전도성표면과접촉할때 상기기준위치에대한상기접합공구의위치인, 상기사용단계; 그리고상기위치센서에의해서결정된상기접합공구의위치차이에기초하여상기자유에어볼 크기를측정하는단계를포함한다. 이러한방법을실행하도록구성된와이어접합기도역시개시된다.
摘要翻译：并测量无空气球的尺寸的方法在引线接合工艺中公开的，线丝配接器，所述有线适配器包括定位和焊接工具以形成半导体装置及使用接合线基板之间的电连接。具体地说，该方法包括从键合线的线尾形成无空气球; 相对于包括以下步骤的基准位置：使用所述位置传感器，用于确定所述第一位置和所述接合工具的第二位置，接合工具的第一位置之间的位置差，以该无空气球的与所述导电表面接触使用位置是接合工具相对于参考位置的位置; 并根据位置传感器确定的焊接工具的位置差异来测量空气球尺寸。还公开了配置成执行该方法的线结气道。

4. 发明公开

KR1020150005457A 와이어 접합 중에 자유 에어 볼 크기를 측정하기 위한 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于在线接合期间测量自由空气球尺寸的方法和装置
公开(公告)号：KR1020150005457A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：KR1020140082352
申请日：2014-07-02
申请人： 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디
发明人： 송켕예우 , 왕이빈 , 센주오쳉 , 루오지아리 , 탄칭리
IPC分类号： H01L21/66 , H01L23/48 , G01B21/10 , B23K31/02
CPC分类号： H01L24/78 , B23K20/007 , H01L24/48 , H01L24/85 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/78 , H01L2224/78268 , H01L2224/78301 , H01L2224/789 , H01L2224/85045 , H01L2224/85181 , H01L2224/85205 , H01L2224/859 , H01L2924/00014 , H01L22/12 , H01L2924/00 , H01L2924/00012 , H01L2224/45099 , H01L2224/05599
摘要： 와이어 접합기의 와이어 접합 프로세스 중에 자유 에어 볼 크기를 측정하는 방법이 개시되며, 상기 와이어 접합기는 접합 와이어를 사용하여 반도체 디바이스와 기판 사이에 전기 접속부를 형성하기 위하여 위치 센서 및 접합 공구를 포함한다. 구체적으로, 상기 방법은 상기 접합 와이어의 와이어 후미부로부터 자유 에어 볼을 형성하는 단계; 기준 위치에 대해서 상기 접합 공구의 제 1 위치 및 제 2 위치 사이의 위치 차이를 결정하기 위하여 상기 위치 센서를 사용하는 단계로서, 상기 접합 공구의 제 1 위치는 상기 자유 에어 볼이 전도성 표면과 접촉할 때 상기 기준 위치에 대한 상기 접합 공구의 위치인, 상기 사용 단계; 그리고 상기 위치 센서에 의해서 결정된 상기 접합 공구의 위치 차이에 기초하여 상기 자유 에어 볼 크기를 측정하는 단계를 포함한다. 이러한 방법을 실행하도록 구성된 와이어 접합기도 역시 개시된다.
摘要翻译：公开了一种在引线接合装置的引线接合工艺期间测量自由空气球尺寸的方法，该引线接合装置包括位置传感器和用于使用接合线在半导体器件和基板之间形成电连接的接合工具。具体地说，该方法包括：从接合线的丝尾形成自由空气球; 使用所述位置传感器来确定所述接合工具相对于参考位置的第一和第二位置之间的位置差异，其中所述接合工具的所述第一位置是所述接合工具相对于所述参考位置的位置，自由空气球接触导电表面; 并且基于由位置传感器确定的接合工具的位置差来测量自由空气球尺寸。还公开了一种配置为执行该方法的引线接合装置。

5. 发明授权

KR101607884B1 와이어 접합기 및 와이어 접합기를 교정하는 방법 有权
标题翻译：一种线接合器和一种校准电线接头的方法
公开(公告)号：KR101607884B1
公开(公告)日：2016-03-31
申请号：KR1020140008652
申请日：2014-01-24
申请人： 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디
发明人： 송켕예우 , 리와이와 , 왕이빈
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： H01L24/78 , H01L24/48 , H01L24/85 , H01L2224/48247 , H01L2224/78268 , H01L2224/78301 , H01L2224/78801 , H01L2224/85045 , H01L2224/85205 , H01L2224/859 , H01L2924/00014 , H01L2924/12042 , H01L2224/45099 , H01L2224/05599 , H01L2924/00
摘要： 프로세서; 상기프로세서에결합된접합헤드로서, 상기프로세서가상기접합헤드의움직임을제어하도록구성되는, 상기접합헤드; 상기접합헤드에장착된접합툴로서, 접합와이어를사용하여반도체다이가장착되는기판과상기반도체다이사이에전기적상호연결을형성하도록상기접합헤드에의해구동가능한, 상기접합툴; 및상기접합헤드에결합된측정디바이스로서, 상기접합툴이접합부를통해상기접합와이어를상기반도체다이에연결하도록상기접합헤드에의해구동될때 상기접합와이어의상기접합부의변형을측정하도록동작가능한, 상기측정디바이스를포함하는와이어접합기가개시된다. 구체적으로, 상기프로세서는상기접합부의측정된변형및 상기와이어접합기의동작파라미터사이에서의적어도하나의상관관계를도출하고; 상기와이어접합기의동작파라미터및 상기접합부의원하는변형사이에서의미리결정된상관관계에관하여상기적어도하나의도출된상관관계를비교하며; 상기적어도하나의도출된상관관계및 상기와이어접합기의동작파라미터에대하여상기접합부의변형의미리결정된상관관계사이에서의비교에기초하여상기와이어접합기의동작파라미터를교정하도록구성된다. 와이어접합기를교정하는방법이또한개시된다.

6. 发明公开

KR1020160012939A 진동자 메커니즘을 포함하는 와이어 접합 장치 有权
标题翻译：包括振荡器机构的电线连接装置
公开(公告)号：KR1020160012939A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：KR1020150104142
申请日：2015-07-23
申请人： 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디
发明人： 송켕예우 , 관카슁 , 장유에 , 선얀동 , 첸샤오리앙
IPC分类号： H01L23/00 , B23K20/10
CPC分类号： H01L24/85 , B23K20/005 , H01L24/78 , H01L2224/78301 , H01L2224/78308 , H01L2224/78343 , H01L2224/78349 , H01L2224/78901 , H01L2224/85205 , H01L2924/00014 , H01L2224/45015 , H01L2924/207 , H01L2224/45099 , H01L2224/05599
摘要： 와이어접합장치는모세관을포함하는초음파트랜스듀서, 상기초음파트랜스듀서가연결되는제 1 측부를갖는가요성연결프레임, 상기제 1 측부반대편인상기가요성연결프레임의제 2 측부에연결되고길이방향의작동방향을갖는적어도하나의전기구동식액추에이터를포함한다. 상기가요성연결프레임에위치한세장형슬릿은슬릿의일 단부에인접한적어도하나의피봇지점을형성하기위하여적어도하나의액추에이터의작동방향을실질적으로가로질러연장되고, 상기가요성연결프레임이상기적어도하나의액추에이터에의해서구동될때 상기슬릿주위로회전가능하다.
摘要翻译：引线接合装置包括：包括毛细管的超声换能器; 柔性连接框架，其具有连接所述超声换能器的第一侧; 以及至少一个电动致动器，其连接到柔性连接框架的与其第一侧相对的第二侧，并且具有纵向致动方向。位于柔性连接框架中的细长狭缝基本上横向于至少一个致动器的致动方向延伸，以形成邻近狭缝端部的至少一个枢转点，当柔性连接框架是由至少一个致动器驱动。

7. 发明授权

KR101674400B1 진동자 메커니즘을 포함하는 와이어 접합 장치 有权
标题翻译：包括振荡器机构的电线连接装置
公开(公告)号：KR101674400B1
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：KR1020150104142
申请日：2015-07-23
申请人： 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디
发明人： 송켕예우 , 관카슁 , 장유에 , 선얀동 , 첸샤오리앙
IPC分类号： H01L23/00 , B23K20/10
CPC分类号： H01L24/85 , B23K20/005 , H01L24/78 , H01L2224/78301 , H01L2224/78308 , H01L2224/78343 , H01L2224/78349 , H01L2224/78901 , H01L2224/85205 , H01L2924/00014 , H01L2224/45015 , H01L2924/207 , H01L2224/45099 , H01L2224/05599
摘要： 와이어접합장치는모세관을포함하는초음파트랜스듀서, 상기초음파트랜스듀서가연결되는제 1 측부를갖는가요성연결프레임, 상기제 1 측부반대편인상기가요성연결프레임의제 2 측부에연결되고길이방향의작동방향을갖는적어도하나의전기구동식액추에이터를포함한다. 상기가요성연결프레임에위치한세장형슬릿은슬릿의일 단부에인접한적어도하나의피봇지점을형성하기위하여적어도하나의액추에이터의작동방향을실질적으로가로질러연장되고, 상기가요성연결프레임이상기적어도하나의액추에이터에의해서구동될때 상기슬릿주위로회전가능하다.
摘要翻译：引线接合装置包括包括毛细管的超声波换能器，具有连接超声波换能器的第一侧的柔性连接框架和至少一个电动致动器，该致动器连接到柔性连接框架的相对的第二侧致动器的第一侧具有纵向致动方向。位于柔性连接框架中的细长狭缝基本上横向于至少一个致动器的致动方向延伸，以形成邻近狭缝端部的至少一个枢轴点，当柔性连接框架被驱动时可旋转，至少一个致动器。

8. 发明授权

KR101378324B1 와이어 상호 연결부를 형성하기 위한 와이어 본딩 방법 및 와이어 본딩용 장치 有权
标题翻译：自动焊线调整系统
公开(公告)号：KR101378324B1
公开(公告)日：2014-03-27
申请号：KR1020120117974
申请日：2012-10-23
申请人： 에이에스엠 테크놀러지 싱가포르 피티이 엘티디
发明人： 송켕예우 , 리와이와 , 왕이빈 , 구오웬후아 , 장신웨이
IPC分类号： H01L21/60
CPC分类号： H01L24/78 , B23K20/007 , B23K35/0261 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/85 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48477 , H01L2224/78301 , H01L2224/78611 , H01L2224/78621 , H01L2224/85045 , H01L2224/85051 , H01L2224/85205 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： 모세관은 와이어 상호 연결부에서 구성되는 쐐기 와이어 본드를 형성하도록 이용된다. 와이어 본딩 디바이스는 와이어 클램프가 개방되고 와이어를 클램핑하지 않는 동안 와이이를 고정하도록 와이어 클램와 모세관 위에 위치된다. 와이어 클램프와 모세관은 모세관으로부터 일정 길이의 와이어를 풀도록 쐐기 와이어 본드로부터 멀리 와이어 홀딩 디바이스를 향하는 방향으로 와이어에 대하여 상승될 수 있다. 모세관의 사전 결정된 높이에서, 와이어 클램프는 와이어를 클램핑하도록 폐쇄되고, 그 후, 모세관과 와이어 클램프는 쐐기 와이어 본드로부터 와이어를 끊고 모세관으로부터 연장하는 바람직한 길이를 가진 와이어 테일을 형성하도록 쐐기 와이어 본드로부터 더욱 멀리 이동할 수 있다.

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