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    • C04B35/565C04B35/573C01B31/36
    • B05C9/12C04B35/573
    • 본원 발명은 탄소-함유 공작물들(1)을 실리콘화하기 위한 장치에 관한 것으로서, 상기 장치는: 유입구(110) 및 배출구(120)를 가지고, 내부 공간에 실리콘화 디바이스(130)가 위치되는 챔버(100); 및 상기 실리콘화 디바이스와 상기 배출구(120) 사이뿐만 아니라 상기 유입구(110)와 상기 실리콘화 디바이스(130) 사이에서 연장하는 고정형 홀딩 부분(210), 및 서로에 대해서 평행하게 이동할 수 있는 2개의 비임들(221 및 222)을 포함하는 이송 부분(220)을 가지는 컨베이어 디바이스(200)를 포함하고, 상기 홀딩 부분(210) 및 이송 부분(220) 모두는 각각의 슬롯들(210a, 220a)의 쌍들을 포함하고, 상기 각 쌍 중의 하나의 슬롯들(210a, 220a)이 운송 디바이스(200)의 길이방향 축(L)에 대해서 서로 대면하여 놓이고 그리고 로드(10) 또는 공작물을 수용하도록 직접적으로 디자인되고, 상기 운송 부분(220)은 상승, 전진 및 하강 이동을 포함하는 반복되는 이동들의 사이클로 구동될 수 있고, 그에 따라 상기 유입구(110)로부터 상기 실리콘화 디바이스(130)까지, 그리고 실리콘화 디바이스로부터 배출구(120)까지 길이방향 축(L)을 따라서 주기적인 방식으로 홀딩 부분(210) 상에 놓인 로드들(10)을 이동시킨다.