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1. 发明授权

KR100610908B1 전기작동식 일체형 마이크로밸브 有权
标题翻译：电动集成微型阀
公开(公告)号：KR100610908B1
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：KR1019997002655
申请日：1997-09-25
申请人： 에스엠씨 가부시키 가이샤
发明人： 해리스,제임스엠. , 코자드,브래드포드에이. , 홉킨스,딘얼라인쥬니어. , 피치,존에스.
IPC分类号： F15C5/00
CPC分类号： F16K99/0001 , F15C5/00 , F16K99/0005 , F16K99/0007 , F16K99/0034 , F16K99/0044 , F16K99/0061 , F16K2099/0069 , F16K2099/0074 , F16K2099/0078 , F16K2099/008 , F16K2099/0082 , F16K2099/0086
摘要： 일체(一體)로 된(integrated), 전기적으로 작동 가능한(electrically operable) 마이크로-밸브(micro-valve)는, 유체의 흐름(flow)과 압력(pressure) 등을 제어하기 위하여 형성된다. 이러한 밸브에 의하여, 휘기 쉬운 벽(200)( flexible wall)에 있는 밀봉 공동(空洞)(100)(sealed cavity)을 갖춘 에너지 변환 장치(120)(energy conversion device)를 통하여, 전기 에너지를 기계적 에너지로 변환한다. 밀봉 공동(空洞)(100)유체(130)를 가열하고 냉각시키면서 확장되고 수축되는 유체(130)를 포함함으로써, 휘기 쉬운 벽(200)의 이동은 야기(惹起)된다. 벽(200)(wall)이나 막(膜)(200)(membrane) 등의 움직임은 밸브 요소(300)를 이동시키는데 이용되고, 이러한 움직임에 의하여 미리 결정된 범위에서 밸브 포트(400)(valve port)의 열림과 닫힘 등을 동적으로 제어한다.
摘要翻译：形成集成的，电动操作的微阀以控制流体的流量和压力。通过这些阀门，电能通过具有柔性壁200中的密封腔100的能量转换装置120转换成机械能（未示出）它被转换为。密封腔100包含在加热和冷却流体130时膨胀和收缩的流体130引起柔韧壁200的移动。使用壁200或膜200等的移动通过该移动将阀元件300和阀口300的移动移动到预定范围内，如开门和关门。

2. 发明公开

KR1020000048700A 전기작동식 일체형 마이크로밸브 有权
标题翻译：集成电动操作微型阀
公开(公告)号：KR1020000048700A
公开(公告)日：2000-07-25
申请号：KR1019997002655
申请日：1997-09-25
申请人： 에스엠씨 가부시키 가이샤
发明人： 해리스,제임스엠. , 코자드,브래드포드에이. , 홉킨스,딘얼라인쥬니어. , 피치,존에스.
IPC分类号： F15C5/00
CPC分类号： F16K99/0001 , F15C5/00 , F16K99/0005 , F16K99/0007 , F16K99/0034 , F16K99/0044 , F16K99/0061 , F16K2099/0069 , F16K2099/0074 , F16K2099/0078 , F16K2099/008 , F16K2099/0082 , F16K2099/0086
摘要： PURPOSE: A closed valves for industrial and ultra clean applications. Semiconductor processing applications are examples of ultra clean applications CONSTITUTION: A genus of integrated valves having an integrated actuator with a thin, flexible membrane formed of silicon driven by pressure of a fluid trapped in a cavity formed by bonding a first and second die. The cavity has a resistor formed therein through which current is driven to cause the pressure to rise and the flexible membrane to flex. Movement of membrane is used to drive a valve element to a position where it unblocks a port to open the valve. This genus includes species such as ultra clean embodiments where a containment barrier keeps ultra clean processing gases confined to a wetted area having materials and bonding agents selected so as to be chemically compatible with the materials and conditions in the wetted area. Low leak species include a compliant material for a valve seat which is deformed by a ridge surrounding a port in the closed position. It is this port which is blocked and unblocked by movement of the valve element to close and open the valve.
摘要翻译：目的：用于工业和超清洁应用的封闭阀门。半导体处理应用是超清洁应用的示例构成：具有集成致动器的集成致动器的集成致动器，其具有由通过粘合第一和第二管芯形成的空腔中的流体压力驱动的由硅形成的薄的柔性膜。空腔具有形成在其中的电阻器，通过该电阻驱动电流以使压力升高并且柔性膜弯曲。膜的移动用于将阀元件驱动到其阻止端口以打开阀的位置。该属包括诸如超洁净实施例的物质，其中容纳屏障将超清洁处理气体限制在限定于湿润区域的物质和粘合剂中，所述材料和粘合剂选择为与化学兼容的润湿区域中的材料和条件。低泄漏物质包括用于阀座的柔性材料，其通过围绕封闭位置的端口的脊变形。这个端口被阀元件的移动阻塞和解锁，以关闭和打开阀门。

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