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1. 发明公开

KR1020130140497A 글래스 기판 증착장치 및 이를 이용하는 글래스 기판 증착방법 有权
标题翻译：化学气相沉积装置及其使用方法
公开(公告)号：KR1020130140497A
公开(公告)日：2013-12-24
申请号：KR1020120063947
申请日：2012-06-14
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 김현우 , 여다영 , 박상현 , 유상우 , 김도곤 , 한찬희
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： H01L31/18 , C03C17/22 , C03C2217/288 , C03C2218/11 , C23C18/1204 , C23C18/1245 , C23C18/1283 , C23C18/1287
摘要： The present invention relates to a glass substrate deposition apparatus, a glass substrate deposition apparatus of the present invention in an apparatus for depositing a glass substrate includes: a reaction bath for accommodating a mixed solution which an indium chloride (InCl3) solution and a processing solution are mixed to make the glass substrate contained; a stirring member for stirring the mixed solution in the reaction bath; a temperature measurement member for measuring the temperature of the mixed solution; a double boiling bath for accommodating a double boil solution to contain the reaction bath; a heating unit for heating the double boiling bath to make indium chloride be deposited on the glass substrate by increasing the temperature of the mixed solution in the reaction bath. Therefore, according to the present invention, a glass substrate deposition apparatus capable of easily depositing indium chloride on a substrate using a double boiling technique and a glass substrate deposition method using the same are provided. [Reference numerals] (130) Temperature measurement member;(160) Control unit
摘要翻译：本发明涉及一种玻璃基板沉积装置，本发明的玻璃基板沉积装置，用于沉积玻璃基板的装置包括：用于容纳氯化铟（InCl 3）溶液和处理溶液的混合溶液的反应槽混合以使玻璃基板包含; 用于搅拌反应槽中的混合溶液的搅拌构件; 用于测量混合溶液的温度的温度测量构件; 用于容纳双沸腾溶液以容纳反应浴的双沸浴; 用于加热双沸浴以通过增加反应浴中的混合溶液的温度使氯化铟沉积在玻璃基板上的加热单元。因此，根据本发明，提供一种能够使用双沸腾技术容易地在基板上沉积氯化铟的玻璃基板沉积设备和使用其的玻璃基板沉积方法。（附图标记）（130）温度测量部件;（160）控制单元

2. 发明授权

KR101388419B1 글래스 기판 증착장치 및 이를 이용하는 글래스 기판 증착방법 有权
标题翻译：化学气相沉积装置及其使用方法
公开(公告)号：KR101388419B1
公开(公告)日：2014-05-12
申请号：KR1020120063947
申请日：2012-06-14
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 김현우 , 여다영 , 박상현 , 유상우 , 김도곤 , 한찬희
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： H01L31/18 , C03C17/22 , C03C2217/288 , C03C2218/11 , C23C18/1204 , C23C18/1245 , C23C18/1283 , C23C18/1287
摘要： 본 발명은 글래스 기판 증착장치에 관한 것이며, 본 발명의 글래스 기판 증착장치는 글래스 기판을 증착하기 위한 장치에 있어서, 상기 글래스 기판이 담겨지도록 인듐클로라이드(InCl
3 ) 용액과 처리용액이 혼합되는 혼합액이 수용되는 반응조; 자력에 의하여 진동하여 상기 반응조 내부의 혼합액을 교반하는 교반부재; 상기 처리용액 또는 상기 혼합액의 온도를 측정하는 온도측정부재; 상기 반응조가 담겨지도록 내부에 중탕액을 수용하며, 상기 반응조가 간접적으로 가열되어 상기 처리용액과 상기 혼합액이 각각 제1온도 및 제2온도로 가열되도록 하는 중탕수조; 상기 반응조 내의 혼합액의 온도를 상승시켜 상기 글래스 기판 상에 황화인듐(In
2 S
3 )이 증착되도록 상기 중탕수조를 가열하는 가열부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 중탕방식을 이용하여 기판 상에 인듐클로라이드(InCl
3 )를 용이하게 증착할 수 있는 글래스 기판 증착장치 및 이를 이용하는 글래스 기판 증착방법이 제공된다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在玻璃基板上沉积的装置。本发明的玻璃基板沉积装置是一种用于在玻璃基板上沉积的装置，该装置包括用于容纳氯化铟（InCl 3）溶液和处理溶液的混合溶液以便容纳玻璃基板的反应器; 用于搅拌包含在反应器中的混合溶液的搅拌构件; 用于测量混合溶液的温度的温度测量构件; 用于在其中容纳洗澡水的洗澡水箱，使得反应器可以容纳在洗澡水箱中; 以及加热单元，用于加热洗涤水箱以提高反应器中的混合溶液的温度并将氯化铟沉积在玻璃基板上。因此，根据本发明，提供了能够容易地沉积使用洗浴法的氯化铟（InCl 3）和使用其的玻璃基板沉积方法的玻璃基板沉积装置。

3. 发明授权

KR101293018B1 태양전지용 광흡수층 박막 급속 열처리장치 有权
公开(公告)号：KR101293018B1
公开(公告)日：2013-08-16
申请号：KR1020110104959
申请日：2011-10-14
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 유상우 , 김주원 , 윤형석 , 박상현 , 김도곤
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/04
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 본 발명은 태양전지용 광흡수층 박막 급속 열처리장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 태양전지용 광흡수층 박막 급속 열처리장치는 태양전지용 광흡수층 박막 급속 열처리장치에 있어서, 개폐 가능한 밀폐공간을 제공하는 챔버;와, 상기 챔버의 내측에 배치되어 태양전지용 기판을 지지하는 서셉터;와, 상기 기판의 상부영역과 하부영역에 각각 배치되는 상부 가열부와 하부 가열부; 및, 상기 챔버의 밀폐공간에 배치되어 기판을 향해 냉각가스를 공급하는 냉각부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

4. 发明公开

KR1020130040302A 태양전지용 광흡수층 박막 급속 열처리장치 有权
标题翻译：太阳能电池中光吸收层的快速热处理装置
公开(公告)号：KR1020130040302A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：KR1020110104959
申请日：2011-10-14
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 유상우 , 김주원 , 윤형석 , 박상현 , 김도곤
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/04
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/04
摘要： PURPOSE: A rapid heat treatment apparatus of a light absorber layer in a solar cell is provided to minimize a gap between an upper heating part and a substrate in a thermal process, and to improve heat treatment efficiency, and to reduce a process time. CONSTITUTION: A chamber(110) has an enclosure space(111). A susceptor(140) is arranged in the chamber to support a solar cell substrate(G). A heating part(120) is prepared in the upper and lower inside of the chamber. A cooling part(160) supplies cooling gas to the substrate in the chamber. An elevating operation part(150) is prepared on the lower side of the chamber to elevate the susceptor. A support pin(130) supports the substrate transferred from a door(112) to the chamber.
摘要翻译：目的：提供一种太阳能电池中的光吸收层的快速热处理装置，以使热处理中的上加热部与基板间的间隙最小化，提高热处理效率，缩短处理时间。构成：室（110）具有封闭空间（111）。在所述室中布置有感受体（140）以支撑太阳能电池基板（G）。在室的上下内部准备加热部（120）。冷却部件（160）将冷却气体供应到腔室中的基板。在室的下侧准备升降操作部（150），以升高基座。支撑销（130）支撑从门（112）转移到室的衬底。

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