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2. 发明公开

KR1020170137160A 프로세싱될 기판들을 위한 캐리어 시스템 审中-实审
标题翻译：用于待处理基材的载体系统
公开(公告)号：KR1020170137160A
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：KR1020177032565
申请日：2015-04-09
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 디에게스-캠포,호세마누엘 , 요스트,게오르그 , 켈러,스테판 , 헬미히,안케 , 게벨레,토머스
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68771 , H01L21/68785
摘要： 프로세싱될기판을위한캐리어시스템이설명된다. 캐리어시스템은메인캐리어(100)에하나또는그 초과의서브-캐리어들(400; 800)을커플링시키기위한서브-캐리어커플링수단(201)을포함하는메인캐리어(100)를포함한다. 메인캐리어(100)는교차하는그리드바들(121)을갖는그리드의형상을갖는서브-캐리어지지부분(120)을포함하고, 여기에서, 서브-캐리어커플링수단(201)은그리드바들(121)에제공된다. 캐리어시스템은, 프로세싱될하나또는그 초과의기판들(500)을지지하기위한서브-캐리어(400; 800)를더 포함하고, 여기에서, 서브-캐리어(400; 800)는하나또는그 초과의개구들(422)을포함한다. 서브-캐리어(400; 800)는기판들(500)을커플링시키기위한기판커플링수단(430; 431)을더 포함하고, 여기에서, 기판커플링수단(430; 431)은서브-캐리어(400; 800)의개구들(422)과부분적으로중첩되는포지션에기판(500)을홀딩하도록구성된다.
摘要翻译：描述了用于待处理基板的载体系统。载体系统包括主载体100，主载体100包括用于将一个或多个副载体400,800耦合到主载体100的副载体耦合装置201。主载体100包括具有格栅形状的副载体支撑部分120，其具有交叉的格栅条121，其中副载体耦合装置201包括格栅条121，它提供了。载体系统包括用于保持待处理的一个或多个基底500的子载体400,800，其中子载体400,800具有一个或多个开口 422上。子载体400 800包括用于耦合衬底500的衬底耦合装置430 431，其中衬底耦合装置430 431包括子载体400 为了将衬底500保持在与衬底500的开口422部分重叠的位置（例如，

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