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1. 发明授权

KR101737502B1 칠러 장치 有权
标题翻译：冷水机组
公开(公告)号：KR101737502B1
公开(公告)日：2017-05-18
申请号：KR1020157031218
申请日：2015-02-10
申请人： 신와 콘트롤즈 가부시키가이샤
发明人： 세키아쓰시 , 아오키시게오 , 호소이후미유키
IPC分类号： F25B49/02 , F25B41/06
CPC分类号： F25B49/02 , F25B1/00 , F25B25/005 , F25B49/022 , F25B49/025 , F25B2600/021 , F25B2600/0253 , F25B2700/1933 , F25B2700/21151 , Y02B30/741
摘要： 설정온도와공작물온도와의온도차가작고, 또한냉동사이클(100)에서의증발기(101)의냉매흡입측과냉매토출측과의온도차가거의없는경우라도전동식압축기(102)에과부하를걸지않고안정적으로보온동작하는기능의칠러장치에서는, 회로기판(PCB2)(106)이설정온도와공작물온도와의온도차가적은보온설정시에, 냉매사이클(200)에서의가열장치(202)의냉매유입바로앞쪽의온도센서(T2)에의해검출되는냉매검출온도를 PID 연산하고, 회로기판(PCB1)(105)이그 결과에기초하여생성한인버터(107)에대한구동제어신호를시리얼통신하여압축기(102)의회전수를일정한범위에서공작물온도에따라제어하는외에, 회로기판(106)이온도센서(T1)에의해검출된공작물온도에대하여 PID 연산하고, 회로기판(105)이그 결과에기초하여생성한펄스신호에의해스테핑모터(SM1)를구동함으로써전자제어밸브(EV1)에서의개폐를제어하여냉매유량을제어한다.
摘要翻译：设置工件温度的温度，和制冷剂吸入侧和制冷剂之间的温度差小，当排放侧之间很少或没有温度差，即使没有过载的马达驱动式压缩机102是可靠的冷冻循环100 eseoui蒸发器101的绝缘操作在这个时的功能的电路板（PCB2）（106）的冷却器装置设定的设定温度和工件温度绝缘之间的温差小，制冷剂循环200 eseoui加热装置202，温度传感器（T2立即在冷却剂引入的前），由所述PID运算检测的制冷剂温度由所述电路板（PCB1），（105）通过用于压缩机102，的基础上的范围国会变速器的驱动控制信号的串行通信由反相器107生成执行结果检测除了按照电路板106离子PID计算工件温度来控制，并相对于由传感器（T1）检测出的工件温度，电路板105，检查结果的基础上产生由脉冲信号的步进电机 L 1; SM 1＆lt; 通过控制开启和关闭eseoui探针（EV1），以控制制冷剂流量。

2. 发明授权

KR102098574B1 냉각 수소 공급 스테이션 및 수소 냉각 장치 有权
公开(公告)号：KR102098574B1
公开(公告)日：2020-04-08
申请号：KR1020187023931
申请日：2017-01-19
申请人： 신와 콘트롤즈 가부시키가이샤
发明人： 세키아쓰시 , 사카이가쓰토시 , 이노우에히로후미
IPC分类号： F17C5/06 , F25B7/00 , F25B9/00 , F25B17/02 , F25B49/00

3. 发明授权

KR101866442B1 플라즈마 처리 장치용 칠러 장치 有权
公开(公告)号：KR101866442B1
公开(公告)日：2018-06-11
申请号：KR1020167033231
申请日：2016-06-09
申请人： 신와 콘트롤즈 가부시키가이샤
发明人： 세키아쓰시 , 사카이세이이치로
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/67 , C23C16/46 , F25B1/00
CPC分类号： F25B49/02 , C23C14/24 , C23C14/541 , C23C16/4411 , C23C16/463 , F25B1/00 , F25B39/00 , F25B39/024 , F25B2400/01 , F25B2600/0253 , F25B2700/21151 , F25B2700/21152 , F25B2700/2117 , H01J37/32522 , H01J37/32724 , H01J37/32935 , H01J37/3299 , H01J2237/2001 , H01J2237/3344 , H01L21/3065 , H01L21/67069 , H01L21/67109 , H01L21/67248
摘要： 본발명은, 공작물의플라즈마처리장치에서의타겟으로되는시료의표면적이크고, 시료대를겸하는하부전극이대형이라도양호한정밀도로보온제어할수 있고, 시료를요구되는정밀도로균일하게에칭할수 있는플라즈마처리장치용칠러장치를제공한다. 상기칠러장치에서는, 가열장치를포함한냉매사이클에접속되는플라즈마처리장치(400)를적용한구성에있어서, 시료(404)의표면적이큰 경우에대응하는대형시료대를겸하는하부전극(403)에냉매유로를분기할수 있도록부설되고, 냉매사이클과연결되도록접속된하부전극냉매관의하부전극(403)에대한보온부의냉매유로근방에설치한온도센서에서부터검출되는하부전극냉매관냉매검출온도에대하여, 제어장치가비례, 적분, 미분을포함하는 PlD 연산을행한결과에기초하여생성한가열조정제어신호를가열장치로송신하고, 하부전극냉매관냉매검출온도가설정온도로되도록피드백제어를행한다.

4. 发明公开

KR1020170013250A 플라즈마 처리 장치용 칠러 장치 审中-实审
标题翻译：用于血浆治疗装置的冷冻装置
公开(公告)号：KR1020170013250A
公开(公告)日：2017-02-06
申请号：KR1020167033231
申请日：2016-06-09
申请人： 신와 콘트롤즈 가부시키가이샤
发明人： 세키아쓰시 , 사카이세이이치로
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/67 , C23C16/46 , F25B1/00
CPC分类号： F25B49/02 , C23C14/24 , C23C14/541 , C23C16/4411 , C23C16/463 , F25B1/00 , F25B39/00 , F25B39/024 , F25B2400/01 , F25B2600/0253 , F25B2700/21151 , F25B2700/21152 , F25B2700/2117 , H01J37/32522 , H01J37/32724 , H01J37/32935 , H01J37/3299 , H01J2237/2001 , H01J2237/3344 , H01L21/3065 , H01L21/67069 , H01L21/67109 , H01L21/67248 , C23C16/46 , H01L21/67098
摘要： 본발명은, 공작물의플라즈마처리장치에서의타겟으로되는시료의표면적이크고, 시료대를겸하는하부전극이대형이라도양호한정밀도로보온제어할수 있고, 시료를요구되는정밀도로균일하게에칭할수 있는플라즈마처리장치용칠러장치를제공한다. 상기칠러장치에서는, 가열장치를포함한냉매사이클에접속되는플라즈마처리장치(400)를적용한구성에있어서, 시료(404)의표면적이큰 경우에대응하는대형시료대를겸하는하부전극(403)에냉매유로를분기할수 있도록부설되고, 냉매사이클과연결되도록접속된하부전극냉매관의하부전극(403)에대한보온부의냉매유로근방에설치한온도센서에서부터검출되는하부전극냉매관냉매검출온도에대하여, 제어장치가비례, 적분, 미분을포함하는 PlD 연산을행한결과에기초하여생성한가열조정제어신호를가열장치로송신하고, 하부전극냉매관냉매검출온도가설정온도로되도록피드백제어를행한다.
摘要翻译：本发明提供一种等离子体处理装置的制冷装置，即使在作为等离子体处理装置中的工件的目标的样品具有大的表面的情况下，制冷装置可以实现准确的温度保持控制，并且以所需的精度和均匀地进行样品的蚀刻区域和兼作样品基底的下电极具有较大的尺寸。在制冷装置中，在与设置有加热装置的制冷剂循环连接的等离子体处理装置400的构造中，温度传感器设置在用于下部电极403的保持单元的制冷剂流路下电极制冷剂管。保温单元附接到下电极403，下电极403可以作为用于处理具有大表面积的样品404的大尺寸样品基底，以便能够将制冷剂流动通道，下部电极制冷剂管被连接以连接到制冷剂循环。关于由温度传感器检测出的下部电极制冷剂管的制冷剂检测温度，控制装置将基于PID计算的结果生成的加热调节控制信号（包括比例，积分和微分）发送到加热装置，进行反馈控制，使得下部电极制冷剂管的制冷剂检测温度成为设定温度。

5. 发明公开

KR1020150136613A 칠러 장치 有权
标题翻译：冷冻设备
公开(公告)号：KR1020150136613A
公开(公告)日：2015-12-07
申请号：KR1020157031218
申请日：2015-02-10
申请人： 신와 콘트롤즈 가부시키가이샤
发明人： 세키아쓰시 , 아오키시게오 , 호소이후미유키
IPC分类号： F25B49/02 , F25B41/06
CPC分类号： F25B49/02 , F25B1/00 , F25B25/005 , F25B49/022 , F25B49/025 , F25B2600/021 , F25B2600/0253 , F25B2700/1933 , F25B2700/21151 , Y02B30/741
摘要： 설정온도와공작물온도와의온도차가작고, 또한냉동사이클(100)에서의증발기(101)의냉매흡입측과냉매토출측과의온도차가거의없는경우라도전동식압축기(102)에과부하를걸지않고안정적으로보온동작하는기능의칠러장치에서는, 회로기판(PCB2)(106)이설정온도와공작물온도와의온도차가적은보온설정시에, 냉매사이클(200)에서의가열장치(202)의냉매유입바로앞쪽의온도센서(T2)에의해검출되는냉매검출온도를 PID 연산하고, 회로기판(PCB1)(105)이그 결과에기초하여생성한인버터(107)에대한구동제어신호를시리얼통신하여압축기(102)의회전수를일정한범위에서공작물온도에따라제어하는외에, 회로기판(106)이온도센서(T1)에의해검출된공작물온도에대하여 PID 연산하고, 회로기판(105)이그 결과에기초하여생성한펄스신호에의해스테핑모터(SM1)를구동함으로써전자제어밸브(EV1)에서의개폐를제어하여냉매유량을제어한다.

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