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    • 4. 发明公开
    • 다성분을 가지는 글라스 기판용 미세가공 표면처리액
    • 다성분을가지는글라스기판용미세가공표면처리액
    • KR1020040039292A
    • 2004-05-10
    • KR1020047002328
    • 2002-08-26
    • 스텔라 케미파 코포레이션
    • 기쿠야마히로히사미야시타마사유키야부네다츠히로오미다다히로
    • C09K13/08
    • C03C15/00
    • 본 발명의 목적은 다성분을 가지는 예를 들어, 액정이나 유기 EL 등의 플래트패널 디스플레이용 글라스 기판 자체를 결정의 석출 및 표면 거칠어짐을 일으키지 않고 가공할 수 있는 다성분을 가지는 글라스 기판용 균일 조성을 가지는 미세가공 표면처리액을 제공하는데 있다.
      불화수소산 및 불화암모늄을 함유함과 동시에, 불화수소산보다도 산해리정수가 큰 산을 적어도 1종 이상 함유하는 것을 특징으로 한다. 불화수소산 및 불화암모늄을 함유함과 동시에, 불화수소산보다도 산해리정수가 큰 산을 적어도 1종 이상 함유하는 약액으로, 상기 불화수소산보다도 산해리정수가 큰 산의 함유량을 x로 하고, 글라스 기판을 에칭하는 액체 온도에서의 상기 약액의 열실리콘 산화막에 대한 에칭율을 f(x)[Å/min]으로 했을 때, 상기 약액은 x=x
      1 에서 극대치 f(x
      1 ), x=x
      2 (단, x
      1 <x
      2 )에서 극소치 f(x
      2 )를 가지고, x>x
      1 의 범위에서 상기 불화수소산보다도 산해리정수가 큰 산을 함유하는 것을 특징으로 한다.
    • 本发明的目的是提供一种表面处理液,其用于精细地处理含有多种成分的玻璃基板,作为用于构造液晶或有机电致发光的平板显示装置的玻璃基板,而不引起结晶沉淀和表面 粗糙度。 本发明的蚀刻溶液除了氢氟酸(HF)和氟化铵(NH 4 F)以外还含有至少一种其解离常数大于HF的酸。 如下调整溶液中酸的浓度。 如果将这种酸浓度为x的酸加入的蚀刻溶液施加到加热到适合于蚀刻的温度的氧化硅膜上,并且蚀刻速率为f(x)Ä ANGSTROM / minÜ 被绘制为溶液中酸浓度x的函数,并且发现当x = x1时f(x)取最大值f(x1),当x = x2(x1)时取最小值f(x2) < x2),将溶液中酸的浓度x调整为x> X1。 <图像>