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1. 发明公开

KR1020150119822A 유용층 이송방법 审中-实审
标题翻译：传输有用层的方法
公开(公告)号：KR1020150119822A
公开(公告)日：2015-10-26
申请号：KR1020150054032
申请日：2015-04-16
申请人： 소이텍 , 꼼미사리아 아 레네르지 아토미끄 에뜨 옥스 에너지스 앨터네이티브즈
发明人： 랑드뤼디디에 , 코논추크올레그 , 벤모하메드나디아 , 매시다미엔 , 마젠프레데릭 , 리에우토르드프랑수아
IPC分类号： H01L21/762
CPC分类号： H01L21/76254 , H01L21/6835 , H01L2221/68363 , H01L2221/68381
摘要： 다음의주요단계들을포함하는지지체(4)로유용층(useful layer, 3)을이송하는방법이개시된다. 본방법은, 광종(light species)을제1 기판(1) 내로주입시켜연약한평면(fragilization plane, 2)을형성함으로써, 연약한평면과제1 기판(1)의표면사이에유용층(3)을형성하는단계, 제1 기판(1)의표면상에지지체(4)를적용하여, 두개의노출면(S1, S2)을가지는, 균열될어셈블리(5)를형성하는단계, 균열될어셈블리(5)에열 깨짐처리(thermal fragilization treatment)를수행하는단계, 연약한평면(2)을따라제1 기판(1)에균열파(fracture wave)가개시(initiation)되고및 자가-지속전파(self-sustained propagation)되는단계를포함한다. 균열될어셈블리(5)의면들(S1, S2) 중적어도어느하나가, 컨택존(contact zone)에걸쳐서, 균열파가개시및/또는전파되는동안방출되는음향진동(acoustic vibration)을포집및 소멸시키는데적절한흡수요소(6a, 6b)와긴밀접촉된다.
摘要翻译：公开了一种用于由具有以下主要步骤的支撑体（4）转移有用层（3）的方法。本发明的方法包括以下步骤：通过将光物质注入到第一基底（1）中并形成脆性平面（1），在脆性平面和第一基底（1）的表面之间形成有用层（3） 2）; 通过将支撑体（4）施加到第一基板（1）的表面上，形成具有两个暴露表面（S1，S2）的要破裂的组件（5）; 对组件进行热脆化处理以破裂（5）; 并且沿着所述脆化平面（2）具有在所述第一基板（1）上的断裂波的起始和自持续传播。要破裂的组件（5）的一个或多个表面（S1，S2）紧密接触适当的吸收元件（6a，6b），用于收集和消除在破裂波的开始和/或传播时排出的声音振动在接触区进行。

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