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    • 2. 发明授权
    • 반도체 장치 및 그 제법
    • KR100231808B1
    • 1999-12-01
    • KR1019900020870
    • 1990-12-18
    • 소니 주식회사
    • 고미다까유끼나까무라미노루안모히로아끼오우찌노리까즈미와히로유끼가야누마아끼오고바야시고지
    • H01L29/70
    • H01L29/6625H01L21/8222H01L21/8224H01L29/735
    • 본 발명은 반도체 기판의 횡측 방향에 콜렉터 영역, 베이스 영역 및 에미터 영역을 가지는 래터럴형 바이폴라 트랜지스터에 있어서, 그 콜렉터 영역 및 에미터 영역의 불순물 농도 피크가 기판 중에 존재하도록 구성함으로써 표면 재결합을 방지하고, 전류 증폭율의 향상과 안정화를 꾀하도록 한 것이다.
      본 발명은 래터럴형 바이폴라 트랜지스터의 제법에 있어서, 제1 도전형의 베이스 영역이 되는 반도체 기판에, 한쌍의 개구를 갖는 제1 마스크를 개재하여 횡측 방향을 따라서 제2 도전형의 콜레터 영역 및 에미터 영역을 형성하는 공정과 제1 마스크의 개구 간격보다 넓은 개구 간격을 갖는 제2 마스크를 개재하여 각각 상기 콜렉터 영역 및 에미터 영역에 접속하는 제2 도전형의 고농도 영역을 형성하는 공정을 가짐으로써 베이스폭 W
      B 의 단소화를 가능하게 하고, 고 f
      T . 고 h
      FE 화를 꾀하도록 한 것이다.
      또한. 본 발명은 공통의 반도체 기판에 래터럴형 바이폴라 트랜지스터, 버티컬형 바이폴라 트랜지스터 및 가드 링을 가진 쇼트키 배리어 다이오드로 이루어지는 반도체 장치의 제법에 있서서, 공통의 마스크에 동시에 형성된 각 개구를 통하여 동일의 불순물을 도입하여 래터럴형 트랜지스터의 에미터 영역 및 콜렉터 영역, 쇼트키 배리어 다이오드의 가드 링 영역과 버틸컬형 트랜지스터의 링크 베이스 영역을 동시에 형성함으로써 성능을 나빠지게 함이 없이 공정수의 삭감을 도모한 것이다.