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1. 发明公开

KR1020150138879A 기판 처리 장치 审中-实审
标题翻译：用于处理基板的装置
公开(公告)号：KR1020150138879A
公开(公告)日：2015-12-11
申请号：KR1020140065588
申请日：2014-05-30
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 장석원 , 장윤옥 , 이형태
IPC分类号： G02F1/13 , B05C5/02
CPC分类号： B05C5/0279 , G02F1/1339
摘要： 본발명은기판처리장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른기판처리장치는베이스(B), 기판지지유닛(100), 갠트리(200), 헤드(300) 및헤드세정유닛(400) 등을포함한다. 헤드세정유닛(400)은석션노즐(420) 및기액분리부재(440)를포함한다. 기액분리부재(440)은그 내부에회전기류를형성하는회전날개(444) 및/또는기류발생부재(441a)를가짐으로써, 발생된회전기류의원심력을이용하여석션노즐(420)을통하여유입된캐미컬에서액체성분을효과적으로분리한다.
摘要翻译：本发明涉及一种基板处理装置。根据本发明的实施例，基板处理装置包括：基座（B）; 基板支撑单元（100）; 龙门架（200）; 头（300）; 头部清洁单元（400）; 等等。头部清洁单元（400）包括吸嘴（420）和气体和液体分离构件（440）。气体和液体分离构件（440）包括旋转翼（444）和/或气流发生构件（441a），其形成/形成旋转气流以有效地将液体组分与通过吸嘴（420）输入的化学物质分离使用产生的旋转气流的离心力。

2. 发明公开

KR1020130019931A 기판 가열 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于加热衬底的装置和方法
公开(公告)号：KR1020130019931A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：KR1020110082241
申请日：2011-08-18
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 장윤옥
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H01L21/0274 , G03F1/60 , G03F7/202
摘要： PURPOSE: An apparatus and a method for heating a substrate are provided to prevent fume from being resupplied to the substrate by arranging the substrate in the vertical direction. CONSTITUTION: A process chamber(100) has a space. A heating plate(200) is positioned in the process chamber. A heater is placed in the heating plate. A substrate chucking part(300) is separated from a heating surface. The substrate chucking part chucks the substrate to face the heating surface.
摘要翻译：目的：提供一种用于加热基底的装置和方法，以通过沿垂直方向布置基底来防止烟雾被重新供应到基底。构成：处理室（100）具有空间。加热板（200）位于处理室中。加热器放置在加热板中。基板夹持部（300）与加热面分离。基板夹持部将基板卡在与加热面对置的位置。

3. 发明授权

KR102256039B1 인쇄 장치 有权
公开(公告)号：KR102256039B1
公开(公告)日：2021-05-26
申请号：KR1020190080131
申请日：2019-07-03
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 이준석 , 장윤옥 , 강한림 , 이현민
IPC分类号： B41J2/18 , B41J2/165 , B41J2/175 , B82Y15/00 , B82Y20/00
摘要： 인쇄장치가제공된다. 인쇄장치는양자점잉크를수용하는잉크공급부와, 양자점잉크의순환경로를상기잉크공급부와형성하고, 상기잉크공급부로부터공급된양자점잉크를분사하는잉크젯헤드와, 상기순환경로상에존재하는양자점잉크를가압하여상기잉크젯헤드에구비된잉크분출구의압력을조절하는진공펌프, 및상기순환경로상에존재하는양자점잉크를가압하여상기순환경로를따라양자점잉크를순환시키는순환펌프를포함한다.

4. 发明公开

KR1020130138386A 자기 부상 이송 장치 审中-实审
标题翻译：磁力诱导传输装置
公开(公告)号：KR1020130138386A
公开(公告)日：2013-12-19
申请号：KR1020120061904
申请日：2012-06-11
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 구교욱 , 구세훈 , 장윤옥
IPC分类号： H01L21/677 , B65G54/02 , B60L13/10
CPC分类号： H01L21/67709 , B60L13/10 , B65G54/02 , F16H49/005
摘要： The present invention relates to a magnetic levitation transfer device for transferring a transfer body along a transfer path on which two or more chambers are successively arranged. The magnetic levitation transfer device includes a first levitation magnetic material included on the rear surface of the transfer body and a second levitation magnetic material included in a chamber to face the rear surface of the transfer body in order for the transfer body to float by being magnetically interacted with the first levitation magnetic material; a transfer propulsion unit applying a transfer propulsion force to the transfer body magnetically floating by the levitation magnetic material; a compensation magnetic material included on one surface of the transfer body and which is in the opposite side to the transfer body; and a section magnetic material included in a section between the chambers to face the compensation magnetic material and be magnetically reacted with the compensation magnetic material.
摘要翻译：磁悬浮转移装置技术领域本发明涉及一种用于沿传送路径传送转印体的磁悬浮转印装置，其中连续布置两个或更多个室。磁悬浮转移装置包括包含在转印体的后表面上的第一悬浮磁性材料和包含在室中的第二悬浮磁性材料，以面向转印体的后表面，以便转印体通过磁性浮动与第一悬浮磁性材料相互作用; 转移推进单元，其通过悬浮磁性材料磁性浮动的转印体施加转印推进力; 所述补偿磁性材料包括在所述转印体的一个表面上并且位于与所述转印体相反的一侧; 以及包括在所述室之间的区域中以与所述补偿磁性材料相对并且与所述补偿磁性材料磁性反应的截面磁性材料。

5. 发明授权

KR102160134B1 헤드 세정 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 有权
公开(公告)号：KR102160134B1
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：KR1020130165523
申请日：2013-12-27
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 장석원 , 장윤옥
IPC分类号： B41J2/165 , H01L21/67 , G02F1/13

6. 发明授权

KR101584362B1 약액 토출 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 有权
标题翻译：液体分配装置和底板处理装置，包括装置
公开(公告)号：KR101584362B1
公开(公告)日：2016-01-19
申请号：KR1020130138437
申请日：2013-11-14
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 장석원 , 장윤옥
IPC分类号： B41J2/055 , G02F1/13 , B05C5/02
摘要： 약액토출장치가개시된다. 약액토출장치는잉크젯방식으로기판으로약액을토출하는노즐들을갖는헤드; 내부에약액을저장하는레저버공간이형성되며, 상기헤드에약액을공급하는레저버; 및상기레저버공간의압력을제어하는압력제어유닛을포함하되, 상기압력제어유닛은압력제어기; 상기압력제어기와상기레저버를연결하는공압라인; 및상기공압라인상에제공되며, 상기공압라인내의유로보다큰 단면적을갖는버퍼공간이형성된버퍼박스를포함한다.

7. 发明公开

KR1020150076861A 헤드 세정 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 审中-实审
标题翻译：头部清洁单元和用于处理包括其的基板的装置
公开(公告)号：KR1020150076861A
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020130165523
申请日：2013-12-27
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 장석원 , 장윤옥
IPC分类号： H01L21/208 , H01L21/302
CPC分类号： B41J2/16552 , G02F1/1303 , H01L21/6715
摘要： 본발명은잉크젯방식으로액을토출하는헤드를세정하는헤드세정유닛및 이를포함하는기판처리장치에관한것이다. 본발명의일실시예에따라잉크젯방식으로액을토출하는노즐이형성된헤드를세정하는헤드세정유닛은, 그길이방향이제1 방향을따라제공된바디와, 상기바디를상기제1 방향을따라이동시키는구동기를포함하되, 상기바디에는, 그길이방향이상부에서바라볼때 상기제1 방향과상이한제2 방향으로제공된제1 슬릿과, 그길이방향이상부에서바라볼때 상기제1 방향과상이한제3 방향으로제공된제2 슬릿이형성되며, 상기제2 슬릿과상기제1 슬릿은상기제1 방향을따라이격되게배치된다.
摘要翻译：本发明涉及清洗以喷墨方法排出溶液的头部的头部清洁装置和包括该头部的基片处理装置。根据本发明的实施例的清洁包括喷射喷墨方法的喷嘴的喷头的喷头清洁单元包括沿着第一方向设置有纵向的主体和沿第一方向移动主体的马达，其中当从上部观察时，具有沿与第一方向不同的第二方向设置的纵向方向的第一狭缝和沿着与第一方向不同的沿第三方向设置的纵向的第二狭缝，当从上部观察时形成在所述主体上，并且所述第二狭缝和所述第一狭缝被布置成沿所述第一方向分离。

8. 发明公开

KR1020140141411A 약액 토출 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 有权
标题翻译：液体分配装置和底板处理装置，包括装置
公开(公告)号：KR1020140141411A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：KR1020130138437
申请日：2013-11-14
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 장석원 , 장윤옥
IPC分类号： B41J2/055 , G02F1/13 , B05C5/02
CPC分类号： G02F1/1313 , B05C5/0208 , B41J2/055
摘要： 약액 토출 장치가 개시된다. 약액 토출 장치는 잉크젯 방식으로 기판으로 약액을 토출하는 노즐들을 갖는 헤드; 내부에 약액을 저장하는 레저버 공간이 형성되며, 상기 헤드에 약액을 공급하는 레저버; 및 상기 레저버 공간의 압력을 제어하는 압력 제어 유닛을 포함하되, 상기 압력 제어 유닛은 압력 제어기; 상기 압력 제어기와 상기 레저버를 연결하는 공압 라인; 및 상기 공압 라인 상에 제공되며, 상기 공압 라인 내의 유로보다 큰 단면적을 갖는 버퍼 공간이 형성된 버퍼 박스를 포함한다.
摘要翻译：公开了一种排放化学药品的装置，包括：具有喷嘴的头部，以喷墨方式将化学物质排放到基底; 具有储存空间的储存器，用于将化学物质储存在内部以向头部供应化学品; 以及压力控制单元，用于控制储存空间的压力。压力控制单元包括：压力控制器; 将压力控制器与储存器连接的气动管路; 以及设置在所述气动管路上的缓冲箱，具有比所述气动管路内的流路大的截面积的缓冲空间。

9. 发明公开

KR1020100058007A 스크라이빙 장치 및 이를 이용한 스크라이빙 방법 无效
标题翻译：一种筛选装置和使用该方法进行筛选的方法
公开(公告)号：KR1020100058007A
公开(公告)日：2010-06-03
申请号：KR1020080116651
申请日：2008-11-24
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 김연철 , 장윤옥
IPC分类号： C03B33/10 , C03B33/02 , G02F1/13
摘要： PURPOSE: A scribing apparatus is provided to obtain uniform scribing results regardless of the distance of a wheel by varying the pressure which is applied to the wheel according to the state of the wheel and to reduce the failure rate of a unit substrate. CONSTITUTION: A scribing apparatus comprises: a scribing unit including a wheel which forms a scribing line on a substrate; a pressurizing unit applying pressure to the wheel to make the wheel contact deeply with the substrate; and a controller(700) varying the pressure applied to the wheel according to the state of the wheel. A method for cutting the substrate comprises the following steps: forming the scribing line on the substrate by increasing the pressure applied to the wheel; and stopping the substrate having the scribing line.
摘要翻译：目的：通过根据车轮的状态改变施加到车轮的压力，并且降低单元基板的故障率，提供划线装置以获得均匀的划线结果，而不管车轮的距离如何。构成：划线装置包括：划线单元，包括在基板上形成划线的车轮; 对所述车轮施加压力以使所述车轮与所述基底深深接触的加压单元; 以及控制器（700），其根据车轮的状态改变施加到车轮的压力。切割基板的方法包括以下步骤：通过增加施加到车轮的压力在基板上形成划线; 并停止具有划线的基板。

10. 发明授权

KR102042765B1 약액 토출 장치 및 약액 토출 방법 有权
公开(公告)号：KR102042765B1
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：KR1020180052988
申请日：2018-05-09
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 정재훈 , 장윤옥
IPC分类号： B05C5/02 , B05C11/10 , B05B1/20 , G02F1/13 , H01L51/56 , B41J2/165

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