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    • 1. 发明授权
    • 레이저 간섭계에 기반한 지진계 장치 및 지진 측정 방법
    • 基于激光干涉仪的地震仪装置及地震测量方法
    • KR101764482B1
    • 2017-08-03
    • KR1020150071980
    • 2015-05-22
    • 성균관대학교산학협력단
    • 유관호오은환이경현이우람최동선
    • G01V1/18G01V1/28G01V1/30G01H9/00G01B9/02
    • 본발명의실시예들에따른레이저간섭계에기반한지진계장치는하나의이동물체의이동거리를서로상보적으로측정하도록배치된제1 및제2 헤테로다인레이저간섭계들로부터기준신호강도및 측정신호강도를각각입력받고, 측정신호강도의 AC 성분과기준신호강도로부터, 위상차만의삼각함수로표현되는강도신호들을각각도출하는전처리부, 제1 및제2 헤테로다인레이저간섭계들의상보적인관계를이용하여, 제1 및제2 헤테로다인레이저간섭계들각각의강도신호들의오차를보정하고, 보정된강도신호들을생성하는오차보정부, 보정된강도신호들의주파수값의시간에따른변동을분석하여, 주파수값의시간에따른단기평균과장기평균의비율의변동을산출하는지진파주파수분석부및 시간에따른단기평균과장기평균의비율(STA/LTA)이소정임계값을상향돌파하는상향돌파시점들을결정하고, 상향돌파시점들의시간차이에따라진앙거리를산출하는진앙거리산출부를포함할수 있다.
    • 基于根据激光干涉仪与本发明的实施例中地震检波器装置,所述参考信号强度和从各布置成测量互补第一mitje第二外差激光干涉仪的彼此测量的信号强度,移动物体的移动距离, 接收,通过使用预处理单元的互补关系,即从AC分量导出与所测量的信号强度的参考信号强度,分别由三角函数表示仅相的强度信号,第一mitje第一mitje第二外差激光干涉仪 第二外差激光干涉仪在与校正各强度信号的错误,错误校正,以产生校正后的强度信号,通过与所述频率值的时间分析中的信号时间的校正强度,短期的频率值的变化 均值和地震剖面的频率分析的平均短期和长期平均速率和分手yisojeong阈向上中断期间计算的长期平均(STA / LTA)的变化率的时间 确定,并且上游断点yiettara震中距离计算的时间差来计算震中可包含部分的距离。
    • 4. 发明公开
    • 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치 및 그 방법
    • 用于异型激光干涉仪的补偿装置和方法
    • KR1020100081535A
    • 2010-07-15
    • KR1020090000822
    • 2009-01-06
    • 성균관대학교산학협력단
    • 유관호이우람허건행이상철
    • G01B9/02G01B9/00G01B7/02B82Y35/00
    • PURPOSE: A heterodyne laser interferometer correction completion apparatus and a method thereof are provided to reduce the error according to working environmental factors. CONSTITUTION: A heterodyne laser interferometer correction completion apparatus comprises a first heterodyne laser interferometer(100A), a second heterodyne laser interferometer(100B), a first distance measuring part(200A), second distance measuring part(200B) and a data fusion zone(300). The first distance measuring part measures the translation distance of object by using the signal which the first heterodyne laser interferometer measures. The second distance measuring part measures the translation distance of object by using the signal which the second heterodyne laser interferometer measures. The data fusion zone revises error by using data aggregate. The data aggregate comprises the translation distance of the object which the translation distance and the second distance measuring part of the object which the first distance measuring part measures measure the plurality of times.
    • 目的:提供外差激光干涉仪校正完成装置及其方法,以根据工作环境因素减少误差。 构成:外差激光干涉仪校正完成装置包括第一外差激光干涉仪(100A),第二外差激光干涉仪(100B),第一距离测量部分(200A),第二测距部分(200B)和数据融合区域 300)。 第一测距部通过使用第一外差激光干涉仪测量的信号来测量物体的平移距离。 第二距离测量部件通过使用第二外差激光干涉仪测量的信号来测量物体的平移距离。 数据融合区使用数据聚合修改错误。 数据集合包括第一距离测量部分测量多次的物体的平移距离和第二距离测量部分的对象的平移距离。
    • 5. 发明授权
    • 초정밀 위치 결정 시스템에 적용되는 슬라이딩 모드 제어기반의 최적 제어방법
    • 초정밀위치결정시스템에적용되는슬라이딩모드제어기반의최적제어방초
    • KR100932622B1
    • 2009-12-17
    • KR1020070084148
    • 2007-08-21
    • 성균관대학교산학협력단
    • 유관호최인성최승옥허건행이우람성욱진
    • G05D3/12
    • 본 발명은 초정밀 위치 결정 시스템에 적용되는 슬라이딩 모드 제어 기반의 최적 제어방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 슬라이딩 모드 제어 기반의 최적 제어방법은 (a) LQ(Linear Quadratic) 제어 알고리즘과 상태 관측 알고리즘을 반영하여 상기 초정밀 위치 결정 시스템에 대한 시스템 모델을 결정하는 단계와; (b) 상기 시스템 모델에서 외란 요소가 제거된 상태의 일반해를 산출하는 단계와; (c) 상기 일반해에 기초하여 상기 시스템 모델에 대해 슬라이딩 모드 제어 알고리즘에 따른 슬라이딩 면을 결정하는 단계와; (d) 상기 LQ(Linear Quadratic) 제어 알고리즘을 통해 상기 슬라이딩 면에 적용되는 피드백 게인을 산출하는 단계와; (e) 상기 슬라이딩 면 및 상기 피드백 게인을 상기 슬라이딩 모드 제어 알고리즘에 적용하여 슬라이딩 모드 제어기를 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 상승 시간이 최소화되고 목표 지점에서의 채터링(Chattering) 현상을 현저히 감소시키며, 외부 노이즈에 의한 비선형성에 강인한 슬라이딩 모드 제어 기반의 최적 제어방법이 제공된다.
    • 提供基于滑动模式控制的超精密定位系统的最优控制方法,以最大限度地缩短上升时间,显着减少目标位置的现象,并通过外部噪声非线性强。 通过反映LQ控制算法和状态观测算法来确定超精密定位系统的系统模型。 生成从系统模型中消除噪声元素的状态的一般解决方案。 根据基于通用解的系统模型的滑模控制算法确定滑动面。 产生通过LQ控制算法施加到滑动表面的反馈增益。 通过将滑动表面和反馈增益应用于滑动模式控制算法来设置滑动模式控制器。
    • 6. 发明公开
    • 헤테로다인 레이저 간섭계의 보정시스템 및 출력보정방법
    • 异位激光干涉仪的补偿系统和输出补偿方法
    • KR1020090021439A
    • 2009-03-04
    • KR1020070085933
    • 2007-08-27
    • 성균관대학교산학협력단
    • 유관호이우람허건행최인성성욱진최승옥
    • G01B9/02G01J1/44
    • A compensation system and an output compensation method of a heterodyne laser interferometer are provided to improve precision of the output of a heterodyne laser interferometer by compensating environmental error like noise by using a neuron circuit. A compensation system of a heterodyne laser interferometer comprises: a heterodyne laser interferometer(10) outputting a measured value; a capacitance sensor(20) outputting a basic signal value; a first compensation part(30) compensating the measured value into a first compensation value through a recursive least square; a second compensation part(60) which produces a neuron circuit by setting up the first compensation value and the basic signal value as an input value and a target value and produces a second compensation value by setting up the first compensation value as the input of the neuron circuit; and a compensation value output unit(70) producing a compensation measurement value about the measured value based on the second compensation value.
    • 提供外差激光干涉仪的补偿系统和输出补偿方法,以通过使用神经元电路补偿环境误差(如噪声)来提高外差激光干涉仪的输出精度。 外差激光干涉仪的补偿系统包括:输出测量值的外差激光干涉仪(10); 输出基本信号值的电容传感器(20) 第一补偿部件(30),通过递归最小二乘法将测量值补偿为第一补偿值; 第二补偿部分(60),其通过将第一补偿值和基本信号值设置为输入值和目标值产生神经元电路,并通过将第一补偿值设置为第二补偿值作为输入值, 神经元电路; 以及补偿值输出单元(70),基于第二补偿值产生关于测量值的补偿测量值。
    • 7. 发明公开
    • 확장형 칼만필터를 이용한 헤테로다인 레이저 간섭계 오차 보정 장치
    • 使用扩展卡尔曼滤波器的激光干涉仪补偿装置
    • KR1020110024399A
    • 2011-03-09
    • KR1020090082385
    • 2009-09-02
    • 성균관대학교산학협력단
    • 유관호이상철이우람
    • G01B9/02G01M11/00
    • PURPOSE: A laser interferometer compensating apparatus using an extended kalman filter is provided to enable high-precision measurement by removing frequency mixing and errors resulting from the frequency mixing in a heterodyne laser interferometer for nano-scale measurement. CONSTITUTION: A laser interferometer compensating apparatus comprises an Ir operation unit(210), an Im operation unit(220), a pre-preprocessing unit(230), a database(260), and an extended kalmam filter(240). The Ir operation unit creates a reference signal from the signal inputted from a heterodyne laser interferometer. The Im operation unit creates a measurement signal from the signal inputted from the heterodyne laser interferometer. The pre-processing unit receives the reference signal and the measurement signal and outputs a signal including phase information. The database stores noise dispersion information of the extended kalmam filter. The extended kalmam filter corrects an error using the noise dispersion information of the database and information on the moving speed of a target object in the heterodyne laser interferometer.
    • 目的:提供一种使用扩展卡尔曼滤波器的激光干涉仪补偿装置,通过去除频率混合和由外差激光干涉仪进行纳米级测量的频率混合导致的误差,实现高精度测量。 构成:激光干涉仪补偿装置包括Ir操作单元(210),Im操作单元(220),预预处理单元(230),数据库(260)和扩展卡尔姆姆过滤器(240)。 Ir操作单元根据从外差激光干涉仪输入的信号产生参考信号。 Im操作单元根据从外差激光干涉仪输入的信号产生测量信号。 预处理单元接收参考信号和测量信号,并输出包括相位信息的信号。 数据库存储扩展卡拉姆滤波器的噪声色散信息。 扩展卡尔曼滤波器使用数据库的噪声色散信息和外差激光干涉仪中目标对象的移动速度的信息来校正误差。
    • 9. 发明授权
    • 레이저 간섭계의 보정 시스템 및 그 방법
    • 레이저간섭계의보정시스템및그방법
    • KR100736231B1
    • 2007-07-06
    • KR1020060035645
    • 2006-04-20
    • 성균관대학교산학협력단
    • 유관호홍민석이우람박기헌전재욱
    • G01B9/02G01B11/00
    • A system for compensating laser interferometer and a method thereof are provided to estimate an optimal correction parameter using position information of a static capacity sensor and position information of a heterodyne laser interferometer. A system for compensating laser interferometer includes a measuring unit(10) to measure a displacement of a target, a preprocessing unit(20) to pre-process an output signal of the measuring unit, a correcting unit(30) to set a correction parameter to correct the measurement of the target processed by the preprocessing unit, and a mapper(40) to correct and output the measurement pre-processed by the preprocessing unit using the correction parameter set by the correcting unit. The correction value outputted by the mapper is outputted through an output unit(50). The measuring unit includes a heterodyne laser system(11) having two different frequencies and using two light sources orthogonally polarized with each other and a static sensor(12) to precisely measure a position with few nanometer unit precision. The heterodyne laser system has a performance of representing the position information of the target as an intensity of a signal.
    • 提供了一种用于补偿激光干涉仪的系统及其方法,以使用静态电容传感器的位置信息和外差激光干涉仪的位置信息来估计最佳校正参数。 用于补偿激光干涉仪的系统包括:测量单元(10),用于测量目标的位移;预处理单元(20),用于预处理测量单元的输出信号;校正单元(30),用于设置校正参数 以校正由预处理单元处理的目标的测量;以及映射器(40),使用由校正单元设置的校正参数校正并输出由预处理单元预处理的测量。 由映射器输出的校正值通过输出单元(50)输出。 测量单元包括具有两个不同频率并使用彼此正交偏振的两个光源的外差激光系统(11)和静态传感器(12)以精确测量具有几纳米单位精度的位置。 外差激光系统具有将目标的位置信息表示为信号强度的性能。