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1. 发明公开

KR1020150103153A 와핑된 실리콘 웨이퍼 흡착 장치 및 흡착 방법 无效
标题翻译：加热硅胶吸附装置及其吸附方法
公开(公告)号：KR1020150103153A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：KR1020157020394
申请日：2013-12-26
申请人： 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
发明人： 왕신신 , 장쉬추 , 쉬타오 , 주원징 , 쑨팡슝 , 쑨쥔
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/683 , G03F7/20 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/6838 , G03F7/707 , G03F7/70783 , H01L21/67288 , Y10T29/413 , Y10T279/11
摘要： 와핑(warped)된 실리콘 웨이퍼 흡착 장치 및 그 흡착 방법으로서, 상기 장치는, 실리콘 웨이퍼를 진공 흡착하기 위한 척(chuck; 100) 및 적어도 3개의 흡착 헤드 어셈블리(200)를 가지며, 척(100)은 적어도 3개의 개구(101)를 구비하고, 각 개구(101)는 하나의 흡착 헤드 어셈블리(200)에 대응되며, 여기서 각 흡착 헤드 어셈블리(200)는 척(100)에 고정 연결된 실린더(230), 및 실린더(230)에 활성 연결된 노즐(210)을 포함하고, 노즐(210)은 실린더(230)의 구동 하에 전부 개구(101) 내에 위치하거나 또는 적어도 일부분이 척(100)의 표면 상부에 위치한다. 척(100) 상에 적어도 3개의 흡착 헤드 어셈블리(200)를 증가하는 것을 통해, 와핑된 실리콘 웨이퍼(300)을 와핑된 실리콘 웨이퍼(300)의 하부 표면 및 척(100)의 상부 표면이 접합될 때까지 흡착 헤드 어셈블리(200)로 흡착하고 연장할 수 있어 와핑된 실리콘 웨이퍼(300)의 흡착이 완성된다.
摘要翻译：公开了一种用于吸附晶片的装置和方法。该设备包括用于真空吸附晶片的吸盘（100）和至少三个吸头组件（200）。卡盘（100）具有至少三个对应于吸头组件（200）的开口（101）。吸头组件（200）包括：与卡盘（100）固定连接的气缸（230）; 以及可移动地连接到气缸（210）的喷嘴（230）。喷嘴（230）完全位于相应的开口（101）内或至少部分地位于卡盘（100）的表面之上。通过在卡盘（100）中增加至少三个吸头组件（200），晶片（300）可被吸头组件（200）吸附和拉伸，直到晶片（300）的下表面附接到卡盘100的上表面，从而实现晶片（300）的吸附。

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