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热词
    • 5. 发明公开
    • 기판 세정 장치
    • 基板清洁装置
    • KR1020160131243A
    • 2016-11-16
    • KR1020150063157
    • 2015-05-06
    • 삼성전자주식회사
    • 이은석류창길송건영이재창최윤석홍진석
    • H01L21/02H01L21/67
    • H01L21/67046B05B1/20B05B13/0415B08B1/002B08B1/04B08B3/024B08B3/10H01L21/67051H01L21/67057
    • 기판세정장치는기판을수용하기위한세정공간을제공하는세정조, 상기세정조내에서상기기판을유지하기위한기판유지부, 상기세정조내에서상기기판과평행한평면내에서회전가능하도록설치되고내부에세정액의공급을위한유로를갖는한 쌍의노즐바들, 상기노즐바의연장방향을따라형성되고상기유로에연통되어상기기판에상기세정액을분사하기위한복수개의노즐들, 및상기기판의양측에이동가능하도록설치되고상기기판의양면에각각슬라이딩접촉하여상기기판을세정하기위한한 쌍의브러시들을포함한다.
    • 本发明提供一种基板清洗装置,其特征在于,包括:清洗槽,其配置为容纳具有第一表面和第二表面的基板; 衬底支撑件,其构造成支撑所述衬底; 设置在所述清洗槽中的第一和第二喷嘴杆可在与所述基板平行的平面中旋转,所述第一和第二喷嘴杆中的每一个包括通道; 多个喷嘴,其沿着所述第一喷嘴杆和所述第二喷嘴杆中的每一个的纵向方向设置并且构造成将所述清洁溶液从所述第一和第二喷嘴杆中的每一个的通道喷射到所述基板; 以及第一和第二刷,所述第一刷设置在所述基板的第一侧上,并且被配置为清洁设置在所述基板的第二侧上的所述第一表面和所述第二刷,并且构造成清洁所述基板的所述第二表面。
    • 7. 发明授权
    • 무선 통신기기 및 그 통신방법 및 이를 적용한 무선통신시스템
    • 无线通信装置,其方法和采用该无线通信装置的无线通信系统
    • KR100730601B1
    • 2007-06-21
    • KR1020010005289
    • 2001-02-03
    • 삼성전자주식회사
    • 홍진석
    • H04B7/00
    • H04W84/18H04W28/06H04W28/18H04W48/16H04W88/02
    • 무선 통신기기 및 그 통신방법 및 이를 적용한 무선 통신시스템이 개시된다. 무선통신기기는 무선으로 데이터를 송수신하는 무선통신기기에 있어서, 적어도 하나 이상의 주파수 채널을 통해 데이터를 송신하는 송신부; 및 통신하고자 하는 상대 무선통신기기의 통신가능한 채널수를 구하고, 상기 상대 무선통신기기의 통신가능한 채널수에 따라서 상기 송신부를 통해 데이터를 송신하도록 처리하는 컨트롤러;를 구비한다. 이러한 무선 통신기기 및 그 통신방법 및 이를 적용한 무선 통신시스템에 의하면, 다채널을 이용하여 데이터를 동시에 송수신하고 데이터 전송에 소요되는 시간을 줄일수 있다.
      블루투스, 주파수 채널
    • 无线通信装置及其方法以及采用该无线通信装置的无线通信系统。 用于无线发送和接收数据的无线通信装置包括用于通过至少一个频率信道发送数据的发送部分(21),以及用于获得对方无线通信装置的可发送信道数量的控制器(23),该无线通信装置的无线 通信装置(20)旨在根据所获得的可发送信道的数量与发送部分进行通信和处理以发送数据。 因此,可以通过多个信道同时发送和接收数据,并且可以大大减少用于数据发送和接收的时间消耗。
    • 8. 发明公开
    • 반도체 웨이퍼 보트
    • WAFER BOAT
    • KR1020060117398A
    • 2006-11-17
    • KR1020050038787
    • 2005-05-10
    • 삼성전자주식회사
    • 진태성김정주이희윤한은영홍진석
    • H01L21/68
    • H01L21/67309
    • A semiconductor wafer boat is provided to improve the yield by preventing the generation of particles at a node of a loading plate using a round corner of the node. A semiconductor wafer boat includes an upper member(20) for loading stably a plurality of semiconductor wafers(10), a lower member under the upper member and a support member(40) for connecting the upper member with the lower member. The semiconductor wafer boat further includes a plurality of ring type loading plates at one side of the support member and a node for contacting the wafer on the loading plate. The node of the loading plate has a round corner.
    • 提供半导体晶片舟以通过使用节点的圆角防止在装载板的节点处产生颗粒而提高产量。 半导体晶片舟包括用于稳定地加载多个半导体晶片(10)的上部构件(20),在上部构件下方的下部构件和用于将上部构件与下部构件连接的支撑构件(40)。 半导体晶片舟皿还包括在支撑构件的一侧上的多个环形加载板和用于接触装载板上的晶片的节点。 装载板的节点有一个圆角。