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    • 7. 发明授权
    • 유기절연막 박리액의 제조방법
    • 用于剥离有机电介质层的液体组合物的制备方法
    • KR101706987B1
    • 2017-02-15
    • KR1020090051254
    • 2009-06-10
    • 주식회사 동진쎄미켐
    • 김병욱윤석일정종현허순범신성건정세환장두영박선주권오환
    • G03F7/42H01L21/3105C11D1/72G03F7/004G03F7/32G03F7/11G03F7/075
    • 본발명은유기절연막박리액의제조방법에관한것으로, 특히 a) 환류장치가구비된가압조건의교반기내에서테트라메틸암모늄하이드록사이드(TMAH) 또는이의염, 글리콜에테르및 물을고온에서교반하는단계; b) 상기 a)단계의교반후 실온으로냉각된교반물에수용성아민을첨가하는단계;를포함하는것을특징으로하는유기절연막박리액의제조방법및 이에의하여제조된유기절연막박리액에관한것이다. 본발명에의하여제조된유기절연막박리액은유기절연막의하부에위치하고있는금속배선및 칼라레지스트는손상시키지않으면서유기절연막, 특히티에프티엘시디(TFT-LCD)용네가티브형유기절연막만을짧은시간내에용이하게제거할수 있다.
    • 目的:提供一种制备用于剥离有机介电层的液体组合物的方法,以防止位于有机介电层下部的金属布线和着色抗蚀剂的损坏,并除去用于TFT-LCD的负型有机介电层 很短的时间。 构成:制备液体组合物的方法包括以下步骤:搅拌3-15重量份的四甲基氢氧化铵或其盐,10-60重量份的乙二醇醚和9-45重量份的水,在90℃ -120℃2-72小时; 并向冷却至室温的混合物中加入20-40重量份的水溶性胺。 混合器内的压力保持在1.5-5atm。