专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR101892623B1 중성표면을 형성하기 위한 랜덤 공중합체 및 그 제조 및 사용 방법들 有权
公开(公告)号：KR101892623B1
公开(公告)日：2018-08-30
申请号：KR1020110040942
申请日：2011-04-29
申请人： 삼성디스플레이 주식회사 , 서강대학교산학협력단
发明人： 강민혁 , 이수미 , 곽은애 , 이문규 , 문봉진 , 김석호 , 김주희 , 주원태
IPC分类号： C08F212/08 , C08F212/12 , C08F220/10 , C08F226/06 , G03F7/00 , C08F293/00
CPC分类号： C08F212/08 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C08F293/005 , C08F2438/02 , G03F7/0002 , C08F220/14 , C08F212/14 , C08F2/38
摘要： 본발명은중성표면을형성하기위한랜덤공중합체및 그제조및 사용방법들에관한것이다. 상기랜덤공중합체(random copolymer)는아래화학식 1의구조를갖는것을특징으로한다. [화학식 1]여기서, R은포스포닉산(phosphonic acid)이고, Me는메틸기(methyl group)이고, x는스티렌의개수이고, y는메틸메타크릴레이트의개수이다.

2. 发明公开

KR1020120122655A 중성표면을 형성하기 위한 랜덤 공중합체 및 그 제조 및 사용 방법들 审中-实审
标题翻译：用于形成中性表面的随机共聚物及其制备和使用方法
公开(公告)号：KR1020120122655A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：KR1020110040942
申请日：2011-04-29
申请人： 삼성디스플레이 주식회사 , 서강대학교산학협력단
发明人： 강민혁 , 이수미 , 곽은애 , 이문규 , 문봉진 , 김석호 , 김주희 , 주원태
IPC分类号： C08F212/08 , C08F212/12 , C08F220/10 , C08F226/06 , G03F7/00 , C08F293/00
CPC分类号： C08F212/08 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C08F293/005 , C08F2438/02 , G03F7/0002 , C08F212/12 , C08F220/10 , C08F226/06 , C08F220/14 , C08F212/14 , C08F2/38
摘要： PURPOSE: A random copolymer is provided to remarkably improve productivity and processability of a nanopattern substrate by forming a neutral layer by quickly binding with a substrate or particles. CONSTITUTION: A random copolymer comprises a structure indicated in chemical formula 1. R is a phosphonic acid, Me is a methyl group, x is a number of styrenes, and y is a number of methylmethacrylate. The random copolymer has a number average molecular weight(Mn) of about 5,000-20,000, the weight average molecular weight(Mw) is about 5,000-20,000, and polydispersity index is about 1.0-2.0. the number ratio of the x and y is about 40-60 to 60-40.
摘要翻译：目的：提供无规共聚物，以通过与基底或颗粒快速结合形成中性层，显着提高纳米图案基底的生产率和加工性。构成：无规共聚物包含化学式1所示的结构.R是膦酸，Me是甲基，x是多个苯乙烯，y是数个甲基丙烯酸甲酯。无规共聚物的数均分子量（Mn）为约5,000-20,000，重均分子量（Mw）为约5,000-20,000，多分散指数为约1.0-2.0。 x和y的数比约为40-60-60-40。

3. 发明授权

KR101781517B1 블록 공중합체 및 이를 이용한 패턴 형성 방법 有权
标题翻译：嵌段共聚物及使用其的图案形成方法
公开(公告)号：KR101781517B1
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：KR1020100095176
申请日：2010-09-30
申请人： 삼성디스플레이 주식회사 , 고려대학교 산학협력단
发明人： 이수미 , 강민혁 , 곽은애 , 문봉진 , 방준하 , 이문규 , 정현중
IPC分类号： G03F7/004 , H01L21/027 , G02F1/1335
CPC分类号： B81C1/00031 , B81C2201/0149 , C08F293/005 , C08F2438/03 , C23F1/02 , G03F7/165
摘要： 본발명의한 실시예에따른패턴형성방법은케텐계열랜덤공중합체(ketene based random copolymer)와블록공중합체를이용한다.
摘要翻译：根据本发明实施方案的图案形成方法使用乙烯酮基无规共聚物和嵌段共聚物。

4. 发明公开

KR1020160113429A 와이어 그리드 편광자 및 이의 제조방법 审中-实审
标题翻译：电网极化器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160113429A
公开(公告)日：2016-09-29
申请号：KR1020150038600
申请日：2015-03-20
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 강민혁 , 장형규 , 곽은애 , 이문규
IPC分类号： G02B5/30 , G02F1/1335
CPC分类号： G02B5/3058 , H01L27/124 , G02F2001/133548
摘要： 와이어그리드편광자및 그제조방법이제공된다. 와이어그리드편광자의제조방법은기판상에금속층, 금속층상에비선택층, 비선택층상에소프트층을순차적으로형성하는단계, 소프트층을패턴닝하여소프트패턴층을형성하는단계, 소프트패턴층을마스크로이용하여비선택층을선택영역과비선택영역으로구획하는단계, 비선택영역과선택영역을갖는비선택층상에서로다른둘 이상의단량체를갖는공중합체를도포하는단계및 서로다른둘 이상의단량체를갖는공중합체를어닐링시켜서로다른두 가지단량체를정렬시켜제1, 2 단량체블록을갖는블록공중합체를형성하는단계를포함하되, 블록공중합체를형성하는단계는, 선택영역의표면에대해평행한방향으로정렬된제1 블록공중합체을형성하고, 비선택영역의표면에대해수직한방향으로정렬된제2 블록공중합체를형성하는하는단계를포함한다.
摘要翻译：提供一种线栅偏振器及其制造方法。线栅偏振器的制造方法包括以下步骤：在基板上依次形成金属层，在金属层上依次形成非选择层，在非选择层上形成软层; 通过图案化软层形成软图案层; 使用所述软图案层作为掩模将所述非选择层划分为选定区域和未选区域; 将具有两个或更多个不同单体的共聚物施加到具有未选区域和所选区域的非选择层上; 以及通过使具有两种或更多种不同单体的共聚物退火来排列两种不同单体，形成具有第一和第二单体的嵌段共聚物，其中形成嵌段共聚物的步骤包括形成沿平行于所述区域的表面和沿垂直于所述未选区域的表面的方向布置的第二嵌段共聚物。

5. 发明公开

KR1020160031613A 와이어 그리드 편광자 및 이의 제조방법 审中-实审
标题翻译：电网极化器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160031613A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：KR1020140121123
申请日：2014-09-12
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 곽은애 , 강민혁 , 이문규
IPC分类号： G02B5/30 , G02F1/1335 , G02B1/08
CPC分类号： G02B5/3058 , B81C1/00388 , B81C1/00404 , B81C2201/0149 , C09K13/00 , C23F4/00 , G02F2001/133548 , G03F7/0041 , H01L21/30604 , H01L21/3065 , H01L21/3081 , H01L21/3083 , H01L21/3086 , H01L21/3088
摘要： 본발명의와이어그리드편광자의제조방법은전도성와이어패턴층및 상기전도성와이어패턴층상에서트렌치를형성하는가이드패턴이순차적으로적층된기판을준비하는단계, 상기전도성와이어패턴층및 상기가이드패턴의표면을소수성처리하는단계, 상기트렌치의상기소수성처리된전도성와이어패턴층상에중성층을코팅하는단계, 상기트렌치의상기중성층상에식각률이상이한두 가지단량체의블록공중합체를채우는단계, 상기블록공중합체를정렬하는단계, 상기정렬된공중합체중 한가지단량체블록을선택적으로제거하는단계, 및잔존하는단량체블록및 상기가이드패턴을사용하여전도성와이어패턴층을패터닝하는단계를포함한다.
摘要翻译：根据本发明，线栅偏振器的制造方法包括以下步骤：准备衬底，其中在导线图案层上依次层叠有导线图案层和形成沟槽的引导图案; 处理导线图案层和引导图案的表面是疏水的; 在处理为疏水性的沟槽的导线图案层上涂覆中性层; 在沟槽的中性层上填充具有不同蚀刻比的两种单体的嵌段共聚物; 对齐嵌段共聚物; 选择性地除去对齐的共聚物的一个单体嵌段; 以及通过使用剩余的单体块和引导图案来图案化导线图案层。

6. 发明授权

KR102241758B1 패턴 형성 방법 및 이를 이용한 와이어 그리드 편광 소자의 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102241758B1
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：KR1020140122863
申请日：2014-09-16
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 강민혁 , 곽은애 , 시에레이 , 이문규 , 장형규
IPC分类号： G02B5/30
摘要： 본발명은, 더블패터닝(Double Patterning )기술을이용하여비 패턴영역을최소화한가이드패턴을형성하고, 상기가이드패턴의측면의표면특성과상기가이드패턴의사이에서노출된바닥판의표면특성이서로달라지도록각각을선택적으로표면처리한후, 블록공중합체의자기조립특성을활용하여가이드패턴사이에블록공중합체패턴을형성하는패턴형성방법및 이를이용한와이어그리드편광자의제조방법을제공한다.

7. 发明公开

KR1020160074764A 와이어 그리드 편광자 및 이의 제조방법 审中-实审
标题翻译：电网极化器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160074764A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：KR1020140182935
申请日：2014-12-18
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 곽은애 , 강민혁 , 장형규
IPC分类号： G02B5/30 , G02F1/1335
CPC分类号： G02B5/3058 , G02B1/18 , G02F2001/133548 , H01L27/124 , G02B5/30 , G02B5/3008 , G02F1/1335
摘要： 본발명은와이어그리드편광자및 그제조방법은제공한다. 와이어그리드편광자의제조방법은기판상에도전층, 도전층상에가이드층, 가이드층상에표면처리방지층을순차적으로형성하는단계, 표면처리방지층과, 가이드층을패턴닝하여도전층을부분적으로노출시키는제1 가이드패턴상에제1 표면처리방지패턴이형성된제1 패턴및 제2 가이드패턴상에제2 표면처리방지패턴이형성된제2 패턴을형성하는단계, 제1 패턴및 제2 패턴의폭을줄이는단계, 폭이준 상기제1, 2 패턴의측부면와상부면에표면처리막을형성하는단계, 표면처리막이형성된제1, 2 패턴상에제1, 2 표면처리방지패턴을제거하여제1, 2 가이드패턴의상부면을노출시키는단계및 도전층과상기제1, 2 가이드패턴에의해정의된공간내에식각률이상이한두 가지단량체의블록공중합체를제공하는단계를포함하되, 상기제1, 2 가이드패턴의상부면은상기두 가지단량체의블록공중합체에대해소수성인전사층이형성된다.
摘要翻译：本发明提供一种线栅偏振器及其制造方法。线栅偏振器的制造方法包括：依次在基板上形成导电层，导电层上的引导层和引导层上的表面处理防止层的工序; 在第一引导图案上形成具有第一表面处理预防图案的第一图案和第二表面处理预防图案的第二图案的步骤，以通过图案化表面处理预防层和指导层; 减小第一图案和第二图案的宽度的步骤; 在宽度减小的第一图案和第二图案的侧面和顶面上形成表面处理膜的工序; 通过去除形成表面处理膜的第一和第二图案上的第一和第二表面处理防止图案来暴露第一和第二引导图案的顶表面的步骤; 以及在由第一和第二图案限定的空间中提供具有不同蚀刻比的两种单体的嵌段共聚物的步骤。在第一和第二引导图案的顶表面上，形成与两个单体的嵌段共聚物疏水的转移层。

8. 发明公开

KR1020160070883A 와이어 그리드 편광자 및 이의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：电网极化器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160070883A
公开(公告)日：2016-06-21
申请号：KR1020140177433
申请日：2014-12-10
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 김태우 , 강민혁 , 곽은애 , 이문규 , 장형규
IPC分类号： G02B5/30
CPC分类号： G02B5/3058 , G02B5/30 , G02B5/3008 , G02B5/3016
摘要： 와이어그리드편광자의제조방법이제공된다. 일실시예에따른와이어그리드편광자의제조방법은, 기판상에전기전도층을형성하는단계; 상기전기전도층상에둘 이상의선 구조물들이상호이격배치된가이드패턴층을형성하는단계; 불소계가스플라즈마처리를통해서상기선 구조물들상에불소화탄소(fluorocarbon) 표면개질층을형성하는단계; 및상기전기전도층상에제1 반복단위와제2 반복단위를포함하는랜덤공중합체(random copolymer)층을형성하는단계;를포함한다.
摘要翻译：提供一种线栅偏振器的制造方法。根据实施例的线栅偏振器的制造方法包括以下步骤：在基板上形成导电层; 在所述导电层上形成引导图案层，其中所述引导图案层包括彼此分离的两个或更多个线性结构; 使用氟基气体等离子体处理在每个线性结构上形成氟碳表面改性层; 以及在所述导电层上形成无规共聚物层，其中所述无规共聚物层包括第一重复单元和第二重复单元。

9. 发明公开

KR1020120033583A 블록 공중합체 및 이를 이용한 패턴 형성 방법 有权
标题翻译：嵌段共聚物及其使用形成图案的方法
公开(公告)号：KR1020120033583A
公开(公告)日：2012-04-09
申请号：KR1020100095176
申请日：2010-09-30
申请人： 삼성디스플레이 주식회사 , 고려대학교 산학협력단
发明人： 이수미 , 강민혁 , 곽은애 , 문봉진 , 방준하 , 이문규 , 정현중
IPC分类号： G03F7/004 , H01L21/027 , G02F1/1335
CPC分类号： B81C1/00031 , B81C2201/0149 , C08F293/005 , C08F2438/03 , C23F1/02 , G03F7/165 , G02F1/1335 , G03F7/0045 , G03F7/0047 , H01L21/027
摘要： PURPOSE: Block copolymer and a pattern forming method using the same are provided to implement the vertical orientation of the block copolymer and pattern small sized areas based on chemical bonds to the surface of a substrate. CONSTITUTION: A pattern forming method is based on ketene-based random copolymer and block copolymer. The method includes the following: the ketene-based random copolymer is applied on a substrate; the ultraviolet ray treatment or thermal treatment is applied to the ketene-based random copolymer; block copolymer is applied on the ketene-based random copolymer; the ultraviolet ray treatment or thermal treatment is applied to the block copolymer; a part of the block copolymer is etched. The ketene-based random copolymer is represented by chemical formula 2.
摘要翻译：目的：提供嵌段共聚物和使用其的图案形成方法，以实现基于化学键的嵌段共聚物和图案小尺寸区域在基材表面上的垂直取向。构成：图案形成方法是基于基于乙烯酮的无规共聚物和嵌段共聚物。该方法包括：将基于乙烯酮的无规共聚物施加在基材上; 对乙烯酮系无规共聚物进行紫外线处理或热处理，嵌段共聚物应用于基于乙烯酮的无规共聚物; 对嵌段共聚物进行紫外线处理或热处理; 一部分嵌段共聚物被蚀刻。基于乙烯酮的无规共聚物由化学式2表示。

10. 发明授权

KR102226116B1 와이어 그리드 편광자 및 이의 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102226116B1
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：KR1020140121123
申请日：2014-09-12
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 곽은애 , 강민혁 , 이문규
IPC分类号： G02B5/30 , G02F1/1335 , G02B1/08
摘要： 본발명의와이어그리드편광자의제조방법은전도성와이어패턴층및 상기전도성와이어패턴층상에서트렌치를형성하는가이드패턴이순차적으로적층된기판을준비하는단계, 상기전도성와이어패턴층및 상기가이드패턴의표면을소수성처리하는단계, 상기트렌치의상기소수성처리된전도성와이어패턴층상에중성층을코팅하는단계, 상기트렌치의상기중성층상에식각률이상이한두 가지단량체의블록공중합체를채우는단계, 상기블록공중합체를정렬하는단계, 상기정렬된공중합체중 한가지단량체블록을선택적으로제거하는단계, 및잔존하는단량체블록및 상기가이드패턴을사용하여전도성와이어패턴층을패터닝하는단계를포함한다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式