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    • 1. 发明公开
    • 진공 밸브
    • 真空阀
    • KR1020150131371A
    • 2015-11-24
    • KR1020157029983
    • 2014-03-12
    • 배트 홀딩 아게
    • 쇤마티아스
    • F16K3/02F16K3/18F16K3/314F15B15/14F16J15/56F16K51/02
    • F16K31/122F16K3/188F16K51/02
    • 본발명은중간에놓이는제 1, 제 2 및중간폐쇄부재위치(C1, C2, C3) 사이에제 1 폐쇄부재(1a)를조정하기위한적어도하나의피스톤/실린더장치(3)를가지는진공밸브에관한것이다. 제 1 폐쇄부재(1a)에기계적으로결합되는피스톤/실린더장치(3)는실린더유닛(4) 및피스톤유닛(7)을가진다. 제 1 시일보디(10a; 11a) 및제 2 시일보디(10b; 11b)는실린더유닛(4) 및피스톤유닛(7)에대해축방향으로서로독립적으로변위될수 있다. 피스톤유닛(7)의실린더유닛(4) 및제 3 축방향스톱(16a)의제 1 축방향스톱(15a)은서로에대해배열되고그 결과중간폐쇄부재위치(C3)에서, 제 2 압력체임버(5b)의방향에서제 1 시일보디(10a; 11a)의축방향가동성은제 1 축방향스톱(15a) 및제 3 축방향스톱(16a)에의해함께제한된다. 피스톤유닛(7)의실린더유닛(4) 및제 4 축방향스톱(16b)의제 2 축방향스톱(15b)은서로에대해배열되고그 결과중간폐쇄부재위치(C3)에서, 제 1 압력체임버(5a)의방향에서제 2 시일보디(10b; 11b)의축방향가동성은제 2 축방향스톱(15b) 및제 4 축방향스톱(16b)에의해함께제한된다.
    • 本发明涉及一种具有至少一个活塞/汽缸装置(3)的真空阀,用于在第一,第二和中间关闭件位置(C1,C2)之间调节第一关闭件(1a) Lt。 机械联接到第一闭合构件1a的活塞/缸体装置3具有缸单元4和活塞单元7。 第一密封体(10A; 11A)mitje第二密封体(10B; 11B)可彼此独立地相对于所述气缸部4的轴方向,并且活塞单元中被移位(7)。 在缸单元4 mitje第三轴向止挡(16A)议程第一轴向止挡(15a)上它被布置在所产生的活塞单元(7),第二压力室的中间关闭构件位置(C3)一个eunseo(5B 第一密封体10a(11a)在第一轴向止动件(15a)和第三轴向止动件(16a)的方向上的轴向方向性受到限制。 在缸单元4 mitje四个轴向止动件(16b)的第二议程轴向止挡(15b)的布置在eunseo所得活塞单元7,第一压力室的中间关闭构件位置(C3)(图5a 第二密封体10b和11b在第二轴向止动件15b和第四轴向止动件16b的方向上的轴向方向性被一起限制。
    • 2. 发明公开
    • 진공 밸브
    • 真空阀
    • KR1020080008260A
    • 2008-01-23
    • KR1020070071193
    • 2007-07-16
    • 배트 홀딩 아게
    • 디디에앙리쇤마티아스
    • F16K51/02F16K25/02F16K25/00
    • F16K51/02F16K3/18
    • A vacuum valve is provided to detect whether a valve plate is located at a closed position or a middle position by recognizing the position of a transverse drive unit outside a vacuum region. A vacuum valve includes a valve plate, a valve rod(11), a transverse drive unit(12), a longitudinal drive unit(13), and a guide unit(18). The valve rod supports the valve plate. The transverse drive unit can regulate the valve plate from the opened position to a middle position in the transverse regulation direction and the middle position to the opened position in the reverse direction of the transverse regulation direction. The longitudinal drive unit can regulate the valve plate from the middle position to a closed position in the longitudinal regulation direction and from the closed position to the middle position in the reverse direction of the transverse regulation direction. The guide unit movably guides the transverse drive unit in parallel to the longitudinal regulation direction with respect to the valve body.
    • 提供真空阀,通过识别横向驱动单元在真空区域外部的位置来检测阀板是否位于关闭位置或中间位置。 真空阀包括阀板,阀杆(11),横向驱动单元(12),纵向驱动单元(13)和引导单元(18)。 阀杆支撑阀板。 横向驱动单元可以将阀板从横向调节方向上的打开位置到中间位置到中间位置到调节方向相反方向的打开位置。 纵向驱动单元可以将阀板从中间位置调节到纵向调节方向的关闭位置,并且在横向调节方向的相反方向上从关闭位置调节到中间位置。 导向单元可相对于阀体平行于纵向调节方向引导横向驱动单元。