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    • 3. 发明公开
    • 결정립계 공학의 알파-알루미나 코팅된 절삭 공구
    • 颗粒边界工程ALPHA-ALUMINA涂层切割工具
    • KR1020140068003A
    • 2014-06-05
    • KR1020147001229
    • 2012-09-17
    • 발터 악티엔게젤샤프트
    • 슈틴스디르크루피자카리
    • C23C16/40C23C16/52
    • C23C16/403C23C16/52C23C30/005Y10T428/24975
    • 본 발명은 절삭 공구 인서트에 관한 것으로, 초경합금, 서멧, 세라믹, 강 또는 입방정 질화 붕소 (CBN) 와 같은 초경질 재료의 기재, 및 5 ~ 40 ㎛ 의 전체 두께를 가지고, 하나 이상의 내화물 층으로 이루어지고, 하나 이상의 내화물 층 중 적어도 하나의 층이 1 ~ 20 ㎛ 의 두께를 가지는 α-Al
      2 O
      3 층인 코팅으로 구성되는 절삭 공구 인서트를 제공한다. 본 발명의 절삭 공구 인서트의 개선된 절삭 특성, 개선된 치핑 저항 및 개선된 크레이터 마모 저항을 제공하기 위하여, 적어도 하나의 α-Al
      2 O
      3 층에서의 ∑3-유형의 결정립계의 길이는, ∑3, ∑7, ∑11, ∑17, ∑19, ∑21, ∑23 및 ∑29-유형의 결정립계 (=∑3-29-유형의 결정립계) 의 결정립계 합의 전체 길이의 80% 초과이고, 결정립계 특성 분포는 EBSD 에 의해 측정된다. 본 발명의 절삭 공구는, 상기 적어도 하나의 α-Al
      2 O
      3 층은 화학 기상 증착 (CVD) 에 의해 증착되고, CVD 프로세스의 반응 가스는 H
      2 , CO
      2 , AlCl
      3 및 X 그리고 선택적으로 첨가되는 N
      2 및 Ar 을 포함하고, X 는 기체성의 H
      2 S, SO
      2 , HF, SF
      6 또는 이들의 조합이고, CVD 반응 챔버에서의 CO
      2 및 X 의 용적비는 2 2 /X