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1. 发明授权

KR101728765B1 성막 장치 및 성막 방법 有权
公开(公告)号：KR101728765B1
公开(公告)日：2017-04-20
申请号：KR1020157023028
申请日：2014-02-21
申请人： 미쯔이 죠센 가부시키가이샤
发明人： 모리야스나리 , 미야타케나오마사 , 핫토리노조무
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/54 , H01J37/32 , H05H1/46
CPC分类号： C23C16/45544 , C03C2218/153 , C23C16/45536 , C23C16/545 , H01J37/32091 , H01J37/32422 , H01J37/32761
摘要： 성막의효율이좋고간단한구성의성막장치는, 기판의반송기구, 플라즈마생성전극, 공간격벽, 인젝터를가진다. 플라즈마생성전극은, 상기기판의반송경로를향하도록설치되고, 급전(給電)에의해반응성가스를사용하여플라즈마를생성한다. 공간격벽은, 상기반송경로와상기플라즈마생성전극과의사이에설치된다. 이공간격벽에는, 상기플라즈마의일부또는상기플라즈마로부터생성되는래디컬또는이온이통과하는슬릿형의관통구멍이간극을두고복수개설치된다. 인젝터는, 상기공간격벽과상기반송경로와의사이에서, 상기관통구멍중 인접하는관통구멍에의해상기반송방향의양측으로부터협지되도록설치되어, 상기성막용가스를성막용가스공급구로부터상기기판을향해공급한다.

2. 发明公开

KR1020110131268A 원자층 퇴적 장치 有权
标题翻译：原子层沉积装置
公开(公告)号：KR1020110131268A
公开(公告)日：2011-12-06
申请号：KR1020117023446
申请日：2010-02-15
申请人： 미쯔이 죠센 가부시키가이샤
发明人： 타치바나히로유키 , 무라타카즈토시 , 미야타케나오마사 , 모리야스나리
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4409 , C23C16/4407 , C23C16/45544 , C23C16/4583 , C23C16/46 , C23C16/54
摘要： 기판 상에 박막을 형성하는 원자층 퇴적 장치이고, 제1 내부 공간을 형성하는 제1 용기와, 제1 용기의 내부에 설치되어, 제2 내부 공간을 형성하는 통형상(筒形狀)의 용기이며, 제2 내부 공간 내를 향하여, 기판 상에 박막을 형성하는 원료 가스가 흐르는 제1 개구(開口)를 통형상의 일단(一端)에 구비하는 제2 용기와, 원료 가스를, 제1 개구를 통하여 제2 내부 공간으로 공급하는 가스 공급구를 구비하고, 또한, 제2 용기의 통형상의 긴쪽 방향으로 제2 용기를 누르는 것에 의하여, 제1 내부 공간에 대하여 제2 내부 공간을 격리하는 누름 부재를 가진다.
摘要翻译： 1。一种用于在基板上形成薄膜的原子层沉积设备，包括：限定第一内部空间的第一容器;设置在所述第一容器内部以形成第二内部空间的圆柱形容器; 具有用于形成薄膜的原料气体朝向第二内部空间的内部流动的第一开口（开口）的第二容器以及具有第一开口以及气体供给口，用于通过第二内部空间将气体供给到第二内部空间，并且通过在第二容器的管状的纵向方向上挤压第二容器，有。

3. 发明公开

KR1020000056983A 폐기물 연소회분을 사용하는 용융부용 부재 失效
标题翻译：用于燃烧的ASH部分的熔融区成员
公开(公告)号：KR1020000056983A
公开(公告)日：2000-09-15
申请号：KR1019990041097
申请日：1999-09-22
申请人： 미쯔이 죠센 가부시키가이샤
发明人： 난바마사오 , 니시무라나오유키 , 마키노다카아키 , 오노쇼조 , 미야타케나오마사
IPC分类号： C04B35/42 , F23G5/027 , F23J1/00 , B09B3/00
CPC分类号： F23J1/00 , F23G5/027 , F23G5/16 , F23G5/44
摘要： PURPOSE: A member for a fusion zone of a fusion furnace of a waste treatment apparatus comprising a spinel type compound and ceramic fiber is provided which makes member life longer. CONSTITUTION: In the member for a fusion zone of the burned ash portion of waste which constitutes the surface in a furnace that forms molten slag by heating the ash portion that is generated by burning the combustion matter originated from waste. The member suppresses breakage of a member.
摘要翻译：目的：提供一种用于包括尖晶石型化合物和陶瓷纤维的废物处理设备的熔炉的熔融区的构件，其使构件寿命更长。构成：在构成通过燃烧由废物引起的燃烧物质而产生的灰分部分形成熔渣的熔炉中的构成炉表面的废弃物的燃烧灰分部分的熔融区的构件中。该成员禁止会员破损。

4. 发明公开

KR1020150103143A 성막 장치 및 인젝터 有权
标题翻译：成膜装置和注射器
公开(公告)号：KR1020150103143A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：KR1020157020362
申请日：2014-02-21
申请人： 미쯔이 죠센 가부시키가이샤
发明人： 핫토리노조무 , 미야타케나오마사 , 모리야스나리
IPC分类号： H01L21/314 , C23C16/455 , H01J37/32 , H05H1/46
CPC分类号： C23C16/45574 , C23C16/4412 , C23C16/45519 , C23C16/45536 , C23C16/45544 , C23C16/545 , H01J37/32091 , H01J37/3244 , H01J37/32761 , H01J2237/332
摘要： 성막 장치는, 성막 중의 기판을 반송하는 반송 기구, 성막용 가스를 상기 기판을 향해 공급하는 인젝터를 상기 기판의 반송 경로를 따라 복수개 설치한 인젝터 유닛, 반응 물질을 생성하는 반응 물질 공급 유닛을 포함한다. 상기 인적터 유닛은, 상기 인젝터 사이 각각의 간극으로부터 상기 반응 물질을 상기 성막 성분의 층에 공급한다. 상기 인젝터의 기판 대향면은, 상기 성막용 가스를 출력하는 성막용 가스 공급구, 상기 성막용 가스 공급구에 대하여 상기 기판의 반송 방향의 양측에 설치되억, 성막용 가스 등의 여분의 가스를 흡인하는 제1 가스 배기구, 및 상기 제1 가스 배기구의 각각에 대하여 상기 성막용 가스 공급구로부터 멀어지는 쪽에 설치되어, 불활성 가스를 공급하는 불활성 가스 공급구를 포함한다.

5. 发明授权

KR100338494B1 폐기물 연소회분을 사용하는 용융부용 부재 失效
标题翻译：用于熔化ASH的材料与废物焚烧相关
公开(公告)号：KR100338494B1
公开(公告)日：2002-05-30
申请号：KR1019990041097
申请日：1999-09-22
申请人： 미쯔이 죠센 가부시키가이샤
发明人： 난바마사오 , 니시무라나오유키 , 마키노다카아키 , 오노쇼조 , 미야타케나오마사
IPC分类号： C04B35/42 , F23G5/027 , F23J1/00 , B09B3/00
摘要： 본발명은폐기물처리장치등의용융로에서폐기물연소회분을용융슬래그로만드는용융로내면의용융부용부재에관한것으로, 스피넬(spinel)형화합물 MCrO(M은 Mg 또는 2가의 Fe) 내화재에세라믹섬유를첨가함으로써부재입자간의접합강도가크게높아지고, 열충격에대해미세균열의발생이방지된다. 스피넬형화합물내화재는열역학적으로안정하여회용융(灰溶融) 슬래그에고농도함유되는알칼리원소와의양립성이높으므로노벽의침식을억제할수 있다. 용융부용부재에있어서, 상기스피넬형화합물에지르코니아를첨가함으로써알칼리원소와의양립성이높을뿐 아니라소결성이향상되고고농도의알칼리원소를함유하는회용융슬래그에의한내화물의침식을억제할수 있다.

6. 发明授权

KR101669127B1 성막 장치 및 인젝터 有权
标题翻译：层成型装置和注射器
公开(公告)号：KR101669127B1
公开(公告)日：2016-10-25
申请号：KR1020157020362
申请日：2014-02-21
申请人： 미쯔이 죠센 가부시키가이샤
发明人： 핫토리노조무 , 미야타케나오마사 , 모리야스나리
IPC分类号： H01L21/314 , C23C16/455 , H01J37/32 , H05H1/46
CPC分类号： C23C16/45574 , C23C16/4412 , C23C16/45519 , C23C16/45536 , C23C16/45544 , C23C16/545 , H01J37/32091 , H01J37/3244 , H01J37/32761 , H01J2237/332
摘要： 성막장치는, 성막중의기판을반송하는반송기구, 성막용가스를상기기판을향해공급하는인젝터를상기기판의반송경로를따라복수개설치한인젝터유닛, 반응물질을생성하는반응물질공급유닛을포함한다. 상기인적터유닛은, 상기인젝터사이각각의간극으로부터상기반응물질을상기성막성분의층에공급한다. 상기인젝터의기판대향면은, 상기성막용가스를출력하는성막용가스공급구, 상기성막용가스공급구에대하여상기기판의반송방향의양측에설치되억, 성막용가스등의여분의가스를흡인하는제1 가스배기구, 및상기제1 가스배기구의각각에대하여상기성막용가스공급구로부터멀어지는쪽에설치되어, 불활성가스를공급하는불활성가스공급구를포함한다.

7. 发明公开

KR1020160047538A 성막 장치 및 성막 방법 无效
标题翻译：薄膜成型装置和薄膜成型方法
公开(公告)号：KR1020160047538A
公开(公告)日：2016-05-02
申请号：KR1020167007832
申请日：2014-03-13
申请人： 미쯔이 죠센 가부시키가이샤
发明人： 핫토리노조무 , 미야타케나오마사 , 모리야스나리 , 나카시마요시하루
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/509 , H01L21/02 , H01L21/28 , H05H1/46
CPC分类号： C23C16/45527 , C23C16/45536 , C23C16/50 , C23C16/5096 , H01L21/02178 , H01L21/02274 , H01L21/0228 , H05H2001/4682 , C23C16/455 , C23C16/509 , H01L21/28194 , H05H1/46
摘要： 원료가스와반응가스를사용하여원자층단위로막을형성하는때에, 기판이배치된성막공간에원료가스를공급하여상기기판에흡착시킨다. 또한, 상기성막공간에반응가스를공급한다. 상기성막공간에서, 상기성막공간에공급된상기반응가스를사용하여플라즈마원의전극판에서플라즈마를생성하고, 상기기판에흡착한원료가스의성분의일부와상기반응가스를반응시킨다. 이때, 상기플라즈마의생성계속시간이, 0.5m초~100m초의범위내이고, 형성하려는막의특성의고저의정도에따라설정된시간이며, 또한상기플라즈마원에투입하는전력의전력밀도가 0.05W/cm~10W/cm의범위내이다.

8. 发明授权

KR101305298B1 원자층 퇴적 장치 有权
标题翻译：原子层沉积装置
公开(公告)号：KR101305298B1
公开(公告)日：2013-09-06
申请号：KR1020117023446
申请日：2010-02-15
申请人： 미쯔이 죠센 가부시키가이샤
发明人： 타치바나히로유키 , 무라타카즈토시 , 미야타케나오마사 , 모리야스나리
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4409 , C23C16/4407 , C23C16/45544 , C23C16/4583 , C23C16/46 , C23C16/54
摘要： 기판 상에 박막을 형성하는 원자층 퇴적 장치이고, 제1 내부 공간을 형성하는 제1 용기와, 제1 용기의 내부에 설치되어, 제2 내부 공간을 형성하는 통형상(筒形狀)의 용기이며, 제2 내부 공간 내를 향하여, 기판 상에 박막을 형성하는 원료 가스가 흐르는 제1 개구(開口)를 통형상의 일단(一端)에 구비하는 제2 용기와, 원료 가스를, 제1 개구를 통하여 제2 내부 공간으로 공급하는 가스 공급구를 구비하고, 또한, 제2 용기의 통형상의 긴쪽 방향으로 제2 용기를 누르는 것에 의하여, 제1 내부 공간에 대하여 제2 내부 공간을 격리하는 누름 부재를 가진다.

9. 发明公开

KR1020150113065A 성막 장치 및 성막 방법 有权
标题翻译：胶片形成装置和胶片形成方法
公开(公告)号：KR1020150113065A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：KR1020157023028
申请日：2014-02-21
申请人： 미쯔이 죠센 가부시키가이샤
发明人： 모리야스나리 , 미야타케나오마사 , 핫토리노조무
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/54 , H01J37/32 , H05H1/46
CPC分类号： C23C16/45544 , C03C2218/153 , C23C16/45536 , C23C16/545 , H01J37/32091 , H01J37/32422 , H01J37/32761
摘要： 성막의효율이좋고간단한구성의성막장치는, 기판의반송기구, 플라즈마생성전극, 공간격벽, 인젝터를가진다. 플라즈마생성전극은, 상기기판의반송경로를향하도록설치되고, 급전(給電)에의해반응성가스를사용하여플라즈마를생성한다. 공간격벽은, 상기반송경로와상기플라즈마생성전극과의사이에설치된다. 이공간격벽에는, 상기플라즈마의일부또는상기플라즈마로부터생성되는래디컬또는이온이통과하는슬릿형의관통구멍이간극을두고복수개설치된다. 인젝터는, 상기공간격벽과상기반송경로와의사이에서, 상기관통구멍중 인접하는관통구멍에의해상기반송방향의양측으로부터협지되도록설치되어, 상기성막용가스를성막용가스공급구로부터상기기판을향해공급한다.

10. 发明授权

KR101076674B1 플라즈마 처리 장치 有权
标题翻译：等离子处理设备
公开(公告)号：KR101076674B1
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：KR1020097018413
申请日：2008-03-26
申请人： 미쯔이 죠센 가부시키가이샤
发明人： 모리야스나리 , 타치바나히로유키 , 미야타케나오마사 , 타키자와카즈키
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/455 , H01L21/3065 , H05H1/46
CPC分类号： H05H1/46 , C23C16/402 , C23C16/45519 , C23C16/505 , H01J37/3244 , H01J37/32495
摘要： 플라즈마처리장치는, 처리대상기판이배치되는기판스테이지와, 안테나어레이를이용하여플라즈마를생성하는플라즈마생성부와, 상기안테나어레이의상방(上方)에설치된복수의가스방사구를가지는가스방사판을구비하는가스방사부와, 상기가스방사판의복수의가스방사구의일부분으로부터상기기판스테이지의표면으로향하여방사하여상기안테나소자의표면을통하도록, 제1 원료가스를공급하는제1 가스공급부와, 상기가스방사판의복수의가스방사구의다른부분으로부터상기기판스테이지의표면으로향하여방사하여상기안테나소자의간극(間隙)을통하도록, 제2 원료가스를공급하는제2 가스공급부를가진다. 제1 원료가스는, 안테나소자에노출된경우, 부착물이생기지않거나, 또는제2 원료가스보다도부착량이적다. 이것에의하여, 성막(成膜) 속도를향상시키는것과함께, 파티클의발생을억제할수 있다.
摘要翻译：该等离子体处理装置具备：载置被处理基板的基板载置台，使用该天线阵列来生成等离子体的等离子体生成部，以及在该天线阵列的上方具有多个气体放出口的气体放射板第一气体供应部分，用于通过从所述气体辐射板的多个气体辐射工具的一部分朝向所述基板台的表面辐射来通过所述天线元件的表面供应第一源气体; 以及第二气体供给部，其供给第二原料气体，以从气体辐射板的多个气体喷出口的另一部分朝向基板载台的表面照射，以通过天线元件的间隙。当第一原料气体暴露于天线元件时，不形成沉积物，或沉积量小于第二原料气体的沉积量。因此，可以提高沉积速度并且可以抑制颗粒的发生。

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