专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR101738219B1 웨이퍼 수납용기 有权
公开(公告)号：KR101738219B1
公开(公告)日：2017-05-19
申请号：KR1020147011829
申请日：2011-11-08
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤 , 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 오야마다카하루 , 마츠토리치아키 , 나가시마츠요시 , 이노우에슈이치 , 시다히로유키 , 야마기시히로키 , 오누키가즈마사
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/38
CPC分类号： H01L21/67383 , H01L21/67386 , Y10S206/832
摘要： 용기본체(1) 내의좌우양측에배치된웨이퍼지지선반(10, 10)에각각, 반도체웨이퍼(W)의외연부가국부적으로재치되는웨이퍼지지볼록부(A, B1, B2)가, 반도체웨이퍼(W)의중심위치로부터안쪽에 1개소와앞쪽에 2개소씩마련되어있다. 그에의해서, 웨이퍼출입개구(2)에덮개체(3)가장착되지않은상태에서, 웨이퍼지지선반(10, 10)의복수개소의지지볼록부(A, B1, B2)상에재치된반도체웨이퍼(W)의휨량을, 최소한의지지볼록부수로, 로봇암에의한취출등에지장이발생하지않도록억제할수 있다.

2. 发明授权

KR102131473B1 기판 수납 용기 有权
公开(公告)号：KR102131473B1
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：KR1020157013568
申请日：2013-11-21
申请人： 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 , 미라이얼 가부시키가이샤
发明人： 오누키가즈마사 , 시다히로유키 , 야마기시히로키 , 나가시마즈요시 , 이노우에슈이치 , 마츠토리지아키 , 오야마다카하루
IPC分类号： H01L21/673

3. 发明公开

KR1020150088800A 기판 수납 용기 审中-实审
标题翻译：基座容器
公开(公告)号：KR1020150088800A
公开(公告)日：2015-08-03
申请号：KR1020157013568
申请日：2013-11-21
申请人： 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 , 미라이얼 가부시키가이샤
发明人： 오누키가즈마사 , 시다히로유키 , 야마기시히로키 , 나가시마즈요시 , 이노우에슈이치 , 마츠토리지아키 , 오야마다카하루
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67373 , B65D43/22 , H01L21/67376 , H01L21/67386 , Y10S206/832
摘要： 잠금기구의회전조작체가회전조작될때, 덮개체의커버플레이트와회전조작체가접촉하여손상되거나, 스쳐서티끌을발생시키는것을방지할수 있는기판수납용기를제공한다. 반도체웨이퍼를수납하는용기본체(1)와, 용기본체(1)의정면을개폐하는덮개체(10)와, 용기본체(1)의정면을폐쇄한덮개체(10)를잠그는잠금기구(30)를구비하고, 덮개체(10)를, 용기본체(1)의정면에끼워맞춰지는덮개본체(11)와, 덮개본체(11)의정면(12)을덮는투명한커버플레이트(19)로구성하고, 잠금기구(30)를, 덮개본체(11)에축 지지되어커버플레이트(19)의외부로부터회전조작되는회전조작체(31)와, 회전조작체(31)의회전에따라슬라이드하고, 덮개본체(11)의둘레벽으로부터출몰하여용기본체(1)의정면내주에접리하는복수의빗장바(36)로구성하고, 커버플레이트(19)와회전조작체(31) 중적어도커버플레이트(19)에회전조작체(31)용의복수의자세제어부재(60)를설치한다.
摘要翻译：基板储存容器包括：用于存储半导体晶片的容器主体; 用于打开和关闭容器主体前部的盖体; 以及用于锁定已经封闭容器主体前部的盖体的锁定机构。盖体由盖主体构成，该盖主体装配在容器主体的前部，盖体用于覆盖盖主体的前表面。锁定机构包括由盖主体枢转地支撑并从盖板的外部旋转操作的旋转操作部。在盖板和旋转操作部中至少设置有用于旋转操作部的多个姿势控制部件，至少盖板。

4. 发明公开

KR1020140074975A 웨이퍼 수납용기 有权
标题翻译： WAFER储物容器
公开(公告)号：KR1020140074975A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：KR1020147011829
申请日：2011-11-08
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤 , 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 오야마다카하루 , 마츠토리치아키 , 나가시마츠요시 , 이노우에슈이치 , 시다히로유키 , 야마기시히로키 , 오누키가즈마사
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/38
CPC分类号： H01L21/67383 , H01L21/67386 , Y10S206/832
摘要： 용기본체(1) 내의 좌우 양측에 배치된 웨이퍼 지지선반(10, 10)에 각각, 반도체 웨이퍼(W)의 외연부가 국부적으로 재치되는 웨이퍼 지지 볼록부(A, B1, B2)가, 반도체 웨이퍼(W)의 중심위치로부터 안쪽에 1개소와 앞쪽에 2개소씩 마련되어 있다. 그에 의해서, 웨이퍼 출입개구(2)에 덮개체(3)가 장착되지 않은 상태에서, 웨이퍼 지지선반(10, 10)의 복수 개소의 지지 볼록부(A, B1, B2)상에 재치된 반도체 웨이퍼(W)의 휨량을, 최소한의 지지 볼록부 수로, 로봇 암에 의한 취출 등에 지장이 발생하지 않도록 억제할 수 있다.

5. 发明授权

KR101594235B1 기판 수납 용기 有权
标题翻译：基材储存容器
公开(公告)号：KR101594235B1
公开(公告)日：2016-02-15
申请号：KR1020137034467
申请日：2012-07-03
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤 , 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 나가시마즈요시 , 이노우에슈이치 , 오야마다카하루 , 마츠토리지아키 , 오누키가즈마사 , 시다히로유키 , 야마기시히로키
IPC分类号： H01L21/673 , B65D43/02 , B65D85/86
CPC分类号： B65D43/02 , H01L21/67373
摘要： 기판, 덮개, 시정기구의손상등을배제하고, 시정기구의시정동작을안정시켜덮개의인입량을확보하고, 시정기구의조립의신속화를도모함과아울러, 회전조작체와시정바가풀리는것 등으로시정기구가해정되는것을막는기판수납용기를제공한다. 반도체웨이퍼수납용의용기본체와, 용기본체의정면에감합되는덮개(10)와, 덮개(10) 시정용의시정기구(40)를구비하고, 시정기구(40)를덮개(10)에지지되어커버플레이트(30)측으로부터조작되는회전조작체(41)와, 회전조작체(41)의회전으로상하방향으로슬라이드하여용기본체의시정구멍에선단부(65)를이접시키는시정바(64)로구성하고, 회전조작체(41)를제1, 제2의회전조작체(42, 42A)로분할하고, 제1, 제2의회전조작체(42, 42A)에캠을형성하는제1, 제2의캠부(51, 60)를형성하고, 제1, 제2의캠부(51, 60)에덮개(10)의두께방향으로요동하는시정바(64)의말단부를협지시킨다.
摘要翻译：的基底，一个盖，排除这样的损坏的纠正机制，以稳定的纠正机构将所述盖固定的切削深度的修正操作，并domoham加快纠正机构的组装，并在同一时间，解缠结杆，旋转操作体和所述校正提供衬底存储容器以防止锁定机构被拆卸。在容器主体的前表面安装有盖10和用于校正盖10的校正机构40，并且校正机构40设置在盖10的边缘上（64），其在旋转操作体（41）旋转之前沿竖直方向滑动并且与尖端（65）接触并且容器本体并且，旋转操作体41被分割成第一旋转操作体42和第二旋转操作体42A，并且第一旋转操作体42和第二旋转操作体42A设置有第一，形成第二凸轮部51和60，并且沿着盖10的厚度方向摆动的可动杆64的远端夹在第一和第二凸轮部51和60之间。

6. 发明公开

KR1020140041591A 기판 수납 용기 有权
标题翻译：基板存储容器
公开(公告)号：KR1020140041591A
公开(公告)日：2014-04-04
申请号：KR1020137034467
申请日：2012-07-03
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤 , 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 나가시마즈요시 , 이노우에슈이치 , 오야마다카하루 , 마츠토리지아키 , 오누키가즈마사 , 시다히로유키 , 야마기시히로키
IPC分类号： H01L21/673 , B65D43/02 , B65D85/86
CPC分类号： B65D43/02 , H01L21/67373
摘要： 기판, 덮개, 시정 기구의 손상 등을 배제하고, 시정 기구의 시정 동작을 안정시켜 덮개의 인입량을 확보하고, 시정 기구의 조립의 신속화를 도모함과 아울러, 회전 조작체와 시정 바가 풀리는 것 등으로 시정 기구가 해정되는 것을 막는 기판 수납 용기를 제공한다. 반도체 웨이퍼 수납용의 용기 본체와, 용기 본체의 정면에 감합되는 덮개(10)와, 덮개(10) 시정용의 시정 기구(40)를 구비하고, 시정 기구(40)를 덮개(10)에 지지되어 커버 플레이트(30)측으로부터 조작되는 회전 조작체(41)와, 회전 조작체(41)의 회전으로 상하 방향으로 슬라이드하여 용기 본체의 시정 구멍에 선단부(65)를 이접시키는 시정 바(64)로 구성하고, 회전 조작체(41)를 제1, 제2의 회전 조작체(42, 42A)로 분할하고, 제1, 제2의 회전 조작체(42, 42A)에 캠을 형성하는 제1, 제2의 캠부(51, 60)를 형성하고, 제1, 제2의 캠부(51, 60)에 덮개(10)의 두께 방향으로 요동하는 시정 바(64)의 말단부를 협지시킨다.

7. 发明公开

KR1020160054461A 기판수납용기 审中-实审
标题翻译：基板存储容器
公开(公告)号：KR1020160054461A
公开(公告)日：2016-05-16
申请号：KR1020167002590
申请日：2013-09-11
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤
发明人： 오야마다카하루 , 나가시마쓰요시
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/38 , B65D81/02
CPC分类号： H01L21/67369 , B65D2585/86 , H01L21/67379
摘要： 반도체웨이퍼로이루어지는기판을수납하는기판수납용기는, 일단부에용기본체개구부가형성되고타단부가속벽, 상벽, 하벽및 한쌍의측벽에의하여폐쇄된통모양의벽부를구비하고, 상벽의내면, 하벽의내면, 측벽의내면및 속벽의내면에의하여복수의기판을수납가능하게용기본체개구부와통하게되는기판수납공간이형성된용기본체와, 용기본체개구부에대하여착탈가능하고, 용기본체개구부를폐쇄가능한뚜껑과, 상벽의중앙부에배치되고, 용기본체를들어올릴수 있는인상부재에결합되는피결합부를구비하고, 피결합부는, 상벽과하면이대향하는판모양의플랜지부(41)와, 플랜지부의하면, 및/또는플랜지부(41)의주연부에설치된탄성변형가능한탄성부재(42)를구비하고, 피결합부는, 플랜지부(41)와인상부재와의사이에탄성부재(42)를협지한상태에서인상부재에결합된다.

8. 发明授权

KR102113139B1 기판수납용기 有权
公开(公告)号：KR102113139B1
公开(公告)日：2020-05-20
申请号：KR1020167002590
申请日：2013-09-11
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤
发明人： 오야마다카하루 , 나가시마쓰요시
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/38 , B65D81/02

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式