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1. 发明授权

KR102098722B1 기판수납용기 有权
公开(公告)号：KR102098722B1
公开(公告)日：2020-04-09
申请号：KR1020157032142
申请日：2013-05-29
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤 , 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 카나모리유타
IPC分类号： H01L21/673 , H01L23/04 , H01L23/13 , H01L23/32

2. 发明公开

KR1020160021136A 기판수납용기 审中-实审
标题翻译：基材储存容器
公开(公告)号：KR1020160021136A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：KR1020157036100
申请日：2013-06-19
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤 , 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 카나모리유타
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67383
摘要： 기판수납용기는용기본체, 덮개체, 및측방기판지지부를구비한다. 측방기판지지부는, 평행한위치관계를가지고복수의기판의연부를지지하는복수의판부, 및판부를지지하며측벽에고정되는판부지지부(52)를가지며, 판부지지부(52)는, 복수의판부와교차하는방향으로복수의판부전체에걸쳐직선형상으로연장되는홈(521A)이형성된홈 형성부(521), 홈(521A) 내에형성되며홈(521A)의연장방향과직교하는방향에서의홈(521A)의폭을좁히도록돌출되는돌기(522), 및홈(521A)의연장방향에서의홈(521A)의중앙부에형성된피위치결정부(523)를갖는다. 또한, 측벽의내면에는홈(521A)에감합가능한직선형상으로연출되는홈 감합리브부가존재하며, 홈감합리브부의연출방향에서의홈 감합리브부의중앙부에는피위치결정부를계지가능한위치결정부가존재한다.
摘要翻译：基板收纳容器具有容器主体，盖体以及侧面基板支承部。侧基板支撑件，具有平行的位置关系，以支持多个板部，以及用于支撑多个基板的边缘部分的板，并且具有固定于侧壁，板陆部52中，多个基板陆部52 的多个凹槽（521A），形成在一个方向上横过所述板的直线相交的板延伸部521的释放槽，在（521A）形成的凹槽的方向垂直于所述槽（521A）章坚决方向的具有凹槽（521A）避免定位部分形成在突起522，mithom的中央部523（521A）坚决eseoui投射以便缩小uipok纵向凹槽（521A）。此外，侧壁的内表面，和附加凹槽接合有被引导到装配到凹槽（521A）的可能直线肋，该中心槽嵌合肋部导向eseoui凹槽嵌合肋部分方向，存在的附加结晶部接合位置来确定要定位。

3. 发明授权

KR102098790B1 기판수납용기 有权
公开(公告)号：KR102098790B1
公开(公告)日：2020-04-08
申请号：KR1020157036100
申请日：2013-06-19
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤 , 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 카나모리유타
IPC分类号： H01L21/673

4. 发明授权

KR102091426B1 기판 수납 용기 有权
公开(公告)号：KR102091426B1
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：KR1020157034217
申请日：2013-06-03
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤 , 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 카나모리유타
IPC分类号： H01L21/673

5. 发明公开

KR1020160013889A 기판 수납 용기 审中-实审
标题翻译：基座储存容器
公开(公告)号：KR1020160013889A
公开(公告)日：2016-02-05
申请号：KR1020157034217
申请日：2013-06-03
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤 , 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 카나모리유타
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67383 , H01L21/67369 , H01L21/67379
摘要： 기판수납용기는용기본체, 뚜껑체, 바닥판(6) 및홈 부재(7)를구비한다. 바닥판(6)은판 형상을가지며, 하벽(24)의외면과대향하여배치되고, 계지부(612)를갖는다. 홈부재(7)는, 하방을향해개구되는홈(701)이형성된홈 형성부(71), 홈형성부(71)에접속되며홈 형성부(71)의주위를주회하도록배치된주회벽부(72), 및주회벽부(72)에접속되며, 탄성변형가능하고, 탄성변형함으로써바닥판(6)의계지부에계지되는피계지부(73)를가지며, 하벽(24) 및바닥판(6)에지지되어고정된다.

6. 发明公开

KR1020170063564A 기판수납용기 审中-实审
标题翻译：基材储存容器
公开(公告)号：KR1020170063564A
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：KR1020177006732
申请日：2015-02-27
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤
发明人： 카나모리유타 , 마츠토리치아키 , 토미타미노루 , 오자와카주노리
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67326 , H01L21/67366 , H01L21/67383 , H01L21/6732 , H01L21/67248 , H01L21/67346 , H01L21/67379
摘要： 기판수납용기는용기본체; 덮개체; 및측방기판지지부(5);를구비한다. 기판수납용기의측방기판지지부(5)는기판의가장자리부를지지하고있을때 기판에접촉하는기판접촉부(53, 54) 및기판접촉부(53, 54)를지지하는접촉부지지부(521, 523)를갖는다. 기판접촉부(53, 54)는기판접촉부(53, 54)에접촉하는기판의온도에대한내열성을갖는재료로구성된다. 접촉부지지부(521, 523)는기판접촉부(53, 54)보다내열성이낮으면서기판접촉부(53, 54)보다흡습률이낮은재료로구성된다.
摘要翻译：基板收纳容器包括容器主体，盖体; 和侧基板支撑部分（5）。基板收纳容器的横向基板支撑部5具有支撑基板抵接部53,54的抵接支撑部521,523，以及支撑基板的边缘部并与基板接触的基板抵接部53,54。基板接触部分53和54由对与基板接触部分53和54接触的基板的温度具有耐热性的材料制成。接触部分支撑部分521和523由耐热性低于基板接触部分53和54的材料制成，并且吸湿率低于基板接触部分53和54。

7. 发明公开

KR1020160013018A 기판수납용기 审中-实审
标题翻译：基板存储容器
公开(公告)号：KR1020160013018A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：KR1020157032142
申请日：2013-05-29
申请人： 미라이얼 가부시키가이샤 , 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 카나모리유타
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L23/04 , H01L21/67379 , H01L23/13 , H01L23/32 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 측벽(25)은, 측벽(25)의외면으로부터이간하는방향으로측벽(25)으로부터돌출되어분리위치로부터장착위치로접근함에따라돌출량이커지도록구성된반원형의반원형철부(251)와, 핸들링부재(8)를장착위치와분리위치의사이에서이동가능하게안내하는안내부재(252, 252A)와, 한쌍의측벽(25)의안측에형성된안측결합부(253)를갖는다. 핸들링부재(8)는한 쌍의측벽(25)의각각을따라배치되는대략판 모양의핸들링부재본체(81)와, 핸들링부재(8)의두께방향으로핸들링부재본체(81)를관통하도록형성되고, 반원형철부(251)가결합가능한원형의위치규제관통구멍(84)과, 안내부재(252, 252A)에결합하여안내부재(252, 252A)에의해장착위치와분리위치의사이에서이동이안내되는핸들링부재측피안내부(86)와, 분리위치로부터장착위치로의핸들링부재(8)의이동에의해, 안측결합부(253)에결합가능한안측피결합부(87)를갖는다.
摘要翻译：处理构件包括：分别沿着一对侧壁布置的基本上板状的处理构件主体; 圆形位置限制通孔，其形成为沿着处理构件的厚度方向延伸穿过处理构件主体并且半圆形凸部可以与其接合; 处理构件侧引导部，其与所述引导构件接合，并且通过所述引导构件在所述安装位置和所述分离位置之间引导移动; 以及后侧引导部，其能够通过所述操作部件从所述拆卸位置向所述安装位置的移动而与所述后侧卡合部卡合。

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