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1. 发明授权

KR101500307B1 각속도 측정 방법 및 각속도의 진동 마이크로기계적 센서 有权
标题翻译：一种角速度测量方法和角速度振动微机械传感器
公开(公告)号：KR101500307B1
公开(公告)日：2015-03-09
申请号：KR1020097025290
申请日：2008-05-29
申请人： 무라타 일렉트로닉스 오와이
发明人： 블롬크비스트,안시
IPC分类号： G01P15/08 , G01C19/56 , B81B3/00 , B81B7/02
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5726
摘要： 본 발명은 각속도를 측정하는데 사용되는 측정 디바이스, 보다 정확하게는, 각속도의 진동 마이크로기계적 센서들에 관한 것이다. 본 발명에 따른 각속도의 센서에 대한 해결책에서, 매스는 비-직교적인 제 1 및 제 2 축들을 갖는 스프링 구조들에 의해 지탱되어, 제 1 움직임과 동위상의 시험 활성화가 검출 공진기에서 유도되고, 측정되는 각속도는 제 1 움직임 및 상기 제 2 움직임간의 위상차로부터 상기 위상 검출기에 의해 검출된다. 본 발명에 따른 각속도의 센서의 구조는 좋은 성능을 갖고, 구체적으로 각속도의 센서에 대해 소규모 진동 마이크로기계적 해결책들로 신뢰성 있는 측정을 가능하게 한다.
각속도의 센서, 진동 마이크로기계적 센서, 위상 검출기, 위상 이동기, 스프링 서스펜션

2. 发明公开

KR1020100017610A 각속도 측정 방법 및 각속도의 진동 마이크로기계적 센서 有权
标题翻译：用于测量角速度的方法和角速度的振动微机械传感器
公开(公告)号：KR1020100017610A
公开(公告)日：2010-02-16
申请号：KR1020097025290
申请日：2008-05-29
申请人： 무라타 일렉트로닉스 오와이
发明人： 블롬크비스트,안시
IPC分类号： G01P15/08 , G01C19/56 , B81B3/00 , B81B7/02
CPC分类号： G01C19/5762 , G01C19/5726
摘要： The invention relates to measuring devices used in measuring angular velocity, and, more precisely, to vibrating micromechanical sensors of angular velocity. In the solution for a sensor of angular velocity according to the invention, a mass is suspended by means of spring structures having non-orthogonal primary and secondary axes such, that a test activation in phase with the primary motion is induced in a detection resonator, and the angular velocity to be measured is, by means of a phase detector, detected from the phase difference between the primary motion and the secondary motion. The structure of the sensor of angular velocity according to the invention enables reliable measuring with good performance, particularly in small vibrating micromechanical solutions for a sensor of angular velocity.
摘要翻译：本发明涉及用于测量角速度的测量装置，更确切地说，涉及角速度的振动微机械传感器。在根据本发明的用于角速度传感器的解决方案中，通过具有非正交主轴和次轴的弹簧结构悬挂质量，使得在检测谐振器中感应与主运动相位的测试激活，并且要测量的角速度通过相位检测器从主运动和次运动之间的相位差中检测出。根据本发明的角速度传感器的结构能够以良好的性能进行可靠的测量，特别是在角速度传感器的小型振动微机械解决方案中。

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