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1. 发明授权

KR101876587B1 자기 센서 및 그 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101876587B1
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：KR1020130025230
申请日：2013-03-08
申请人： 매그나칩 반도체 유한회사
发明人： 김관수 , 김동준 , 류승한 , 안희백 , 정종열 , 김경수 , 신강섭
IPC分类号： G01R33/07 , G01D5/12
CPC分类号： H01L43/04 , G01R33/0011 , G01R33/0052 , G01R33/07 , H01L43/065 , H01L43/14
摘要： 본발명은복수의홀 소자와자기수속판을구비하여자기장의방향을검출할수 있는자기센서및 그제조방법에관한것으로, 복수의홀 소자가설치된반도체기판; 상기반도체기판상에형성된보호층; 상기보호층상에형성된기초층; 및상기기초층상에형성된자기수속판을구비하되, 상기기초층은, 그표면상에굴곡면을갖는것을특징으로하는것으로서, 굴곡형태를갖는자기수속판을구비함으로써제조공정을간편하게하며, 홀소자의스트레스를일정한균일도로낮추어센서특성을향상시킬수 있다.

2. 发明授权

KR101768254B1 반도체 기반의 자기 센서 및 그 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101768254B1
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：KR1020130066892
申请日：2013-06-12
申请人： 매그나칩 반도체 유한회사
发明人： 류승한 , 정종열 , 김관수
IPC分类号： G01C17/28 , G01R33/07 , H01L43/06
CPC分类号： H01L43/04 , G01R33/0011 , G01R33/0052 , G01R33/07 , G01R33/072 , H01L27/22 , H01L43/14
摘要： 자기센서및 그제조방법이개시된다. 개시된본 발명은기초층의면적을자기수속판의면적보다넓게함으로써홀소자의스트레스를낮추어자기센서특성을향상시키도록한다. 이를위하여본 발명은복수의홀소자가배치된기판; 상기기판상에형성된보호층; 상기보호층상에형성된기초층; 및상기기초층상에형성되고, 그표면상에굴곡면을갖는자기수속판을구비하되, 상기기초층의면적은상기자기수속판의면적보다넓은것을특징으로한다.

3. 发明公开

KR1020140145227A 반도체 기반의 자기 센서 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：基于半导体的磁性传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020140145227A
公开(公告)日：2014-12-23
申请号：KR1020130066892
申请日：2013-06-12
申请人： 매그나칩 반도체 유한회사
发明人： 류승한 , 정종열 , 김관수
IPC分类号： G01C17/28 , G01R33/07 , H01L43/06
CPC分类号： H01L43/04 , G01R33/0011 , G01R33/0052 , G01R33/07 , G01R33/072 , H01L27/22 , H01L43/14
摘要： 자기 센서 및 그 제조 방법이 개시된다. 개시된 본 발명은 기초층의 면적을 자기 수속판의 면적보다 넓게 함으로써 홀소자의 스트레스를 낮추어 자기 센서 특성을 향상시키도록 한다. 이를 위하여 본 발명은 복수의 홀소자가 배치된 기판; 상기 기판상에 형성된 보호층; 상기 보호층 상에 형성된 기초층; 및 상기 기초층 상에 형성되고, 그 표면상에 굴곡면을 갖는 자기 수속판을 구비하되, 상기 기초층의 면적은 상기 자기 수속판의 면적보다 넓은 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明公开了一种磁传感器及其制造方法。为了改善其特性，磁传感器通过扩大基底层的面积而不是集成磁集中器（IMC）的面积来减小霍尔元件的应力。磁传感器包括：放置多个霍尔元件的基板; 形成在基板上的保护层; 形成在保护层上的基层; 以及形成在基底层上并具有弯曲表面的IMC。此外，基层的面积大于IMC的面积。

4. 发明公开

KR1020140111193A 자기 센서 및 그 제조 방법 审中-实审
标题翻译：磁传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020140111193A
公开(公告)日：2014-09-18
申请号：KR1020130025230
申请日：2013-03-08
申请人： 매그나칩 반도체 유한회사
发明人： 김관수 , 김동준 , 류승한 , 안희백 , 정종열 , 김경수 , 신강섭
IPC分类号： G01R33/07 , G01D5/12
CPC分类号： H01L43/04 , G01R33/0011 , G01R33/0052 , G01R33/07 , H01L43/065 , H01L43/14
摘要： The present invention relates to a magnetic sensor and a manufacturing method thereof, capable of detecting the direction of a magnetic field by having a plurality of hole elements and a magnetic procedure plate. The present invention comprises: a semiconductor substrate installed with the hole elements; a protective layer formed on the semiconductor substrate; a base layer formed on the protective layer; and the magnetic procedure plate formed on the base layer, wherein the base layer has a bent plane on the surface. The present invention can simplify a manufacturing process by providing the magnetic procedure plate having a bent form and can improve sensor characteristics by lowering the stress of the hole element to a certain uniformity.
摘要翻译：磁传感器及其制造方法技术领域本发明涉及一种能够通过具有多个孔元件和磁性程序板来检测磁场方向的磁传感器及其制造方法。本发明包括：安装有孔元件的半导体衬底; 形成在半导体衬底上的保护层; 形成在保护层上的基层; 以及形成在所述基底层上的所述磁性过程板，其中所述基底层在所述表面上具有弯曲平面。本发明可以通过提供具有弯曲形状的磁性过程板来简化制造过程，并且可以通过将孔元件的应力降低到一定的均匀性来提高传感器特性。

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