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1. 发明公开

KR1020160016676A 미세 기계 센서 및 미세 기계 센서를 제조하기 위한 방법 审中-实审
标题翻译：微机电传感器及制造微机电传感器的方法
公开(公告)号：KR1020160016676A
公开(公告)日：2016-02-15
申请号：KR1020150108309
申请日：2015-07-30
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 라인무트요헨 , 마울로베르트
IPC分类号： B81B7/00 , B81B3/00 , B81C1/00 , G01P15/125 , G01P15/14 , G01C19/5733
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5621 , G01C19/5656 , G01C19/5733 , G01C19/5769 , G01P15/125
摘要： 본발명은, 주연장평면을가진기판및 이기판에대해상대운동을할 수있는질량요소를구비한미세기계센서에관한것으로, 상기가동질량요소는스프링구조물을통해기판과연결되고, 상기스프링구조물은제1 및제2 스프링요소를가지며, 상기제1 스프링요소와제2 스프링요소는구간별로서로에대해실질적으로평행하게그리고상호인접해서연결되며, 이경우스프링구조물은구적(quadrature)을보상하기위한제1 및제2 보상요소를포함하며, 상기제1 보상요소는제1 스프링요소에연결되고제2 보상요소는제2 스프링요소에연결되며, 제1 스프링요소는횡방향을따라연장되는제1 스프링구조물폭을가지고제2 스프링요소는횡방향을따라연장되는제2 스프링구조물폭을가지며, 제1 보상요소는제1 부분영역에서횡방향에대해평행하게제1 폭을따라연장되고, 제1 스프링구조물폭과제1 폭은상이하며, 제2 보상요소는제2 부분영역에서횡방향에대해평행하게제2 폭을따라연장되고, 제2 스프링구조물폭과제2 폭은상이하다.
摘要翻译：微机械传感器技术领域本发明涉及一种微机械传感器，其包括具有主延伸面的基板和能够在基板上相对运动的加权元件。可移动重量元件通过弹簧结构连接到基板，弹簧结构具有第一弹簧元件和第二弹簧元件。第一弹簧元件和第二弹簧元件彼此相邻连接并且通过每个部分彼此平行。在这种情况下，弹簧结构包括第一补偿元件和补偿正交的第二补偿元件。第一补偿元件连接到第一弹簧元件，第二补偿元件连接到第二弹簧元件。第一弹簧元件具有在水平方向上延伸的第一弹簧结构宽度，并且第二弹簧元件具有在水平方向上延伸的第二弹簧结构宽度。第一补偿元件沿着第一宽度延伸，以在第一区域上在水平方向上平行。第一弹簧结构宽度和第一宽度不同，并且第二补偿元件沿第二宽度延伸以在第二区域上在水平方向上平行。第二弹簧结构宽度和第二宽度不同。

2. 发明授权

KR102223333B1 압력 센서 장치용 마이크로기계 부품 有权
公开(公告)号：KR102223333B1
公开(公告)日：2021-03-08
申请号：KR1020187034162
申请日：2017-05-10
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 라인무트요헨
IPC分类号： G01L9/00 , G01L9/12 , G01P15/125
摘要： 본발명은, 외부압력(p)으로부터기준압력(pr)을격리시키는멤브레인(16)과; 하나이상의제1 스테이터전극(28a)과; 하나이상의제2 스테이터전극(28b)과; 하나이상의제1 액추에이터전극(24a) 및하나이상의제2 액추에이터전극(24b)을구비하고회전축(20)을중심으로경동될수 있는로커구조물(22);을포함하는, 압력센서장치용마이크로기계부품에관한것이며, 상기로커구조물(22)은, 외부압력(p)과기준압력(pr) 간이등압인경우로커구조물(22) 및그의액추에이터전극들(24a, 24b)이이들의출발위치에있는방식으로, 멤브레인(16)과연결되어있고, 이때로커구조물(22) 및그의액추에이터전극들(24a, 24b)이이들의출발위치에있는경우, 하나이상의제1 액추에이터전극(24a)과하나이상의제1 스테이터전극(28a) 간의제1 정전용량은하나이상의제2 액추에이터전극(24b)과하나이상의제2 스테이터전극(28b) 간의제2 정전용량과상이하다.

3. 发明公开

KR1020160124178A 밀봉형 마이크로기계 부품의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：密封微生物组分的生产方法
公开(公告)号：KR1020160124178A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：KR1020167025596
申请日：2014-12-22
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 곤스카율리안 , 라인무트요헨 , 아메토보블라마불리
IPC分类号： B81C1/00 , B81B7/02
CPC分类号： B81C1/00119 , B81B1/004 , B81B7/02 , B81B2203/0315 , B81C1/00293 , B81C2201/112 , B81C2201/115 , B81C2203/0109 , B81C2203/0145 , B81C2203/019
摘要： 본발명은마이크로기계부품(100)을제조하기위한방법에관한것으로, 상기방법은, 부품(100)의 MEMS 요소(5) 내에, 또는캡 요소(6) 내에접근개구부(7)를형성하는단계와, MEMS 요소(5)와캡 요소(6) 사이에하나이상의공동(8a, 8b)을형성하면서상기캡 요소(6)와 MEMS 요소(5)를연결하는단계와, 규정된분위기에서레이저(9)를이용하여하나이상의공동(8a, 8b)으로의접근개구부(7)를밀폐하는단계를포함한다.
摘要翻译：一种用于制造微机械部件的方法，包括在所述部件的MEMS元件或盖元件中形成进入开口; 将所述MEMS元件连接到所述盖元件，在所述MEMS元件和所述盖元件之间形成至少一个空腔; 并且使用激光在限定的气氛下关闭所述至少一个空腔的进入开口。

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