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1. 发明授权

KR102228432B1 레이저 리플로우 장치의 레이저 가압 헤드 모듈 有权
公开(公告)号：KR102228432B1
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020190041386
申请日：2019-04-09
申请人： 레이저쎌 주식회사
发明人： 최재준 , 김병록 , 김재구 , 진기철
IPC分类号： H01L21/67 , B23K26/06 , B23K1/005 , B23K26/20
摘要： 본발명의레이저리플로우장치의레이저가압헤드모듈은, 기판상에배열된복수의전자부품을투광성가압부재로가압함과동시에상기가압부재를통해레이저빔을조사함으로써전자부품을기판에본딩하는레이저리플로우장치의레이저가압헤드모듈에있어서, 상기투광성가압부재를교체가능하게장착하기위한홀더유닛; 및상기홀더유닛의상방에구비되어홀더유닛에장착된가압부재의평탄도를검사하기위한탐침유닛을포함하는것을특징으로한다.

2. 发明公开

KR1020200129437A 레이저 리플로우 장치의 레이저 리플로우 방법 有权
公开(公告)号：KR1020200129437A
公开(公告)日：2020-11-18
申请号：KR1020190053832
申请日：2019-05-08
申请人： 레이저쎌 주식회사
发明人： 최재준 , 김병록 , 김재구 , 진기철
IPC分类号： B23K26/06 , B23K1/005 , B23K101/42
摘要： 본발명의레이저리플로우장치의레이저리플로우방법은, 장방형의기판상에복수의전자부품이배치된본딩대상물을투광성가압부재로눌러가압함과함께상기가압부재를통해레이저빔을조사함으로써전자부품을기판에본딩하는레이저리플로우장치의레이저리플로우방법에있어서, (a) 상기투광성가압부재가본딩대상물을누르기전 비전카메라가기판상에배열된전자부품의배치형상을촬영하는단계; (b) 상기촬영된전자부품의배치형상이투광성가압부재의가압면정중앙에위치하는지판별하는단계; (c) 상기촬영된전자부품의배치형상이투광성가압부재의가압면정중앙에위치하지않는다면전자부품의배치형상이투광성가압부재의가압면정중앙에위치하도록상기투광성가압부재의위치를조정하는단계; (d) 상기투광성가압부재를눌러본딩대상물을가압함과함께투광성가압부재를통해본딩대상물에레이저빔을조사하는단계; 및 (e) 상기투광성가압부재의가압및 레이저빔의조사를종료하는단계를포함하는것을특징으로한다.

3. 发明授权

KR102228434B1 레이저 리플로우 장치의 레이저 리플로우 방법 有权
公开(公告)号：KR102228434B1
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020190053832
申请日：2019-05-08
申请人： 레이저쎌 주식회사
发明人： 최재준 , 김병록 , 김재구 , 진기철
IPC分类号： B23K26/06 , B23K1/005 , B23K101/42
摘要： 본발명의레이저리플로우장치의레이저리플로우방법은, 장방형의기판상에복수의전자부품이배치된본딩대상물을투광성가압부재로눌러가압함과함께상기가압부재를통해레이저빔을조사함으로써전자부품을기판에본딩하는레이저리플로우장치의레이저리플로우방법에있어서, (a) 상기투광성가압부재가본딩대상물을누르기전 비전카메라가기판상에배열된전자부품의배치형상을촬영하는단계; (b) 상기촬영된전자부품의배치형상이투광성가압부재의가압면정중앙에위치하는지판별하는단계; (c) 상기촬영된전자부품의배치형상이투광성가압부재의가압면정중앙에위치하지않는다면전자부품의배치형상이투광성가압부재의가압면정중앙에위치하도록상기투광성가압부재의위치를조정하는단계; (d) 상기투광성가압부재를눌러본딩대상물을가압함과함께투광성가압부재를통해본딩대상물에레이저빔을조사하는단계; 및 (e) 상기투광성가압부재의가압및 레이저빔의조사를종료하는단계를포함하는것을특징으로한다.

4. 发明公开

KR20210020286A 플립 칩 본딩장치의 가압 헤드 및 그를 포함하는 가압 어셈블리 有权
公开(公告)号：KR20210020286A
公开(公告)日：2021-02-24
申请号：KR20190099345
申请日：2019-08-14
申请人： 레이저쎌 주식회사
发明人： 최재준 , 김병록 , 김재구 , 진기철
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 본발명의가압헤드는레이저빔을투과시키는모재로구현되는흡착모듈의바닥면에흡입홀과연결되는흡입라인을폴리싱(Polishing) 가공처리하여형성함으로써, 흡입홀과흡입라인을통해플립칩을안정적으로흡착하고가압하면서도광 투과율을높여플립칩 본딩에필요한레이저빔의손실을줄이면서균질화된면 광원을얻을수 있고, 상부고정브라켓과흡착모듈브라켓과하부고정브라켓이결합부재에의해순차적으로탈, 부착가능하게결합하도록구현됨으로써, 결합부재의해체만으로하부고정브라켓과흡착모듈과흡착모듈브라켓을순차적으로해체할수 있어부품의교체시간을줄여전체플립칩 본딩작업시간과플립칩 본딩작업량을늘릴수 있다.

5. 发明授权

KR102248159B1 플립 칩 본딩장치의 가압 헤드 및 그를 포함하는 가압 어셈블리 有权
公开(公告)号：KR102248159B1
公开(公告)日：2021-05-13
申请号：KR1020190099345
申请日：2019-08-14
申请人： 레이저쎌 주식회사
发明人： 최재준 , 김병록 , 김재구 , 진기철
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 본발명의가압헤드는레이저빔을투과시키는모재로구현되는흡착모듈의바닥면에흡입홀과연결되는흡입라인을폴리싱(Polishing) 가공처리하여형성함으로써, 흡입홀과흡입라인을통해플립칩을안정적으로흡착하고가압하면서도광 투과율을높여플립칩 본딩에필요한레이저빔의손실을줄이면서균질화된면 광원을얻을수 있고, 상부고정브라켓과흡착모듈브라켓과하부고정브라켓이결합부재에의해순차적으로탈, 부착가능하게결합하도록구현됨으로써, 결합부재의해체만으로하부고정브라켓과흡착모듈과흡착모듈브라켓을순차적으로해체할수 있어부품의교체시간을줄여전체플립칩 본딩작업시간과플립칩 본딩작업량을늘릴수 있다.

6. 发明公开

KR1020200129436A 레이저 리플로우 장치의 레이저 가압 헤드 모듈 有权
公开(公告)号：KR1020200129436A
公开(公告)日：2020-11-18
申请号：KR1020190053830
申请日：2019-05-08
申请人： 레이저쎌 주식회사
发明人： 최재준 , 김병록 , 김재구 , 진기철
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/03 , B23K101/42
摘要： 본발명의레이저리플로우장치의레이저가압헤드모듈은, 기판상에배열된복수의전자부품을포함하는본딩대상물을투광성가압부재로눌러가압함과동시에상기가압부재를통해레이저빔을조사함으로써전자부품을기판에본딩하는레이저리플로우장치의레이저가압헤드모듈에있어서, 서로분할배치된상태로상기본딩대상물에복수의레이저빔을중첩조사하는멀티레이저모듈; 및상기멀티레이저모듈의사이영역에구비되어투광성가압부재를통해빔을조사함으로써본딩대상물의다수지점의온도를감지하는온도감지센서를포함하는것을특징으로한다.

7. 发明授权

KR102228433B1 레이저 리플로우 장치의 레이저 가압 헤드 모듈 有权
公开(公告)号：KR102228433B1
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020190053830
申请日：2019-05-08
申请人： 레이저쎌 주식회사
发明人： 최재준 , 김병록 , 김재구 , 진기철
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/03 , B23K101/42
摘要： 본발명의레이저리플로우장치의레이저가압헤드모듈은, 기판상에배열된복수의전자부품을포함하는본딩대상물을투광성가압부재로눌러가압함과동시에상기가압부재를통해레이저빔을조사함으로써전자부품을기판에본딩하는레이저리플로우장치의레이저가압헤드모듈에있어서, 서로분할배치된상태로상기본딩대상물에복수의레이저빔을중첩조사하는멀티레이저모듈; 및상기멀티레이저모듈의사이영역에구비되어투광성가압부재를통해빔을조사함으로써본딩대상물의다수지점의온도를감지하는온도감지센서를포함하는것을특징으로한다.

8. 发明授权

KR102199450B1 레이저 리플로우 장치의 레이저 가압 헤드 모듈 有权
公开(公告)号：KR102199450B1
公开(公告)日：2021-01-06
申请号：KR1020190041388
申请日：2019-04-09
申请人： 레이저쎌 주식회사
发明人： 최재준 , 김병록 , 김재구 , 진기철
IPC分类号： H01L21/67 , B23K26/20 , H01L21/52
摘要： 본발명의레이저리플로우장치의레이저가압헤드모듈은, 기판상에배열된복수의전자부품을투광성가압부재로가압함과동시에상기가압부재를통해레이저빔을조사함으로써전자부품을기판에본딩하는레이저리플로우장치의레이저가압헤드모듈에있어서, 상기투광성가압부재를교체가능하게장착하기위한장방형의홀더유닛; 상기홀더유닛의각 모서리하단을지지하면서홀더유닛과투광성가압부재의자중만큼반대방향으로압력을부가함으로써홀더유닛과투광성가압부재의자중을영점으로초기화시키는압력밸런서; 및상기홀더유닛의각 모서리상방에비접촉된상태로구비되어홀더유닛의각 모서리를각각설정된압력만큼독립적으로눌러가압하는프레스유닛을포함하는것을특징으로한다.

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