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1. 发明公开

KR1020160002395A 구성가능한 액체 프리커서 기화기 审中-实审
标题翻译：可配置液体前驱体蒸气
公开(公告)号：KR1020160002395A
公开(公告)日：2016-01-07
申请号：KR1020150092114
申请日：2015-06-29
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 스미스콜린에프. , 테니얀휘스해럴드 , 로럴리제프리이. , 성에드워드 , 마드리갈케빈 , 해밀턴숀엠. , 스초프아란엠.
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67
CPC分类号： F22B1/28
摘要： 액체프리커서를기화하기위한개선된기화기가제공된다. 기화기는상대적으로큰 벽-면적-대-단면-플로우-면적비를갖는하나이상의채널들을포함할수도있고프리커서의기화온도이상으로채널들을가열하도록구성된하나이상의히터엘리먼트들을구비할수도있다. 채널들중 적어도일부는기화온도이상, 그러나프리커서의 leidenfrost 온도이하로가열될수도있다. 일부구현예들에서, 캐리어가스는, 프리커서를액적들로기계적으로전단 (shear) 하기위해프리커서플로우에대해일반적으로가로지르는방향으로고속으로도입될수도있다. 필요하다면, 완전한기화를달성하기위해복수의기화기들이일렬로함께한 조가될 수도있다 (ganged). 기화기들은세정및 유지보수를위해쉽게분해가능할수도있다.
摘要翻译：公开了一种用于蒸发液体前体的改进的蒸发器。蒸发器可以包括一个或多个具有相对大的壁面积与横截面积面积比的通道，并且可以配备一个或多个加热器元件，该加热器元件构造成将通道加热到高于前体蒸发温度的位置。至少一些通道可以被加热到高于蒸发温度但低于前体的雷顿呋斯温度。在一些实施方案中，载气可以以大体上横向于前体流的方向以高速引入，以将前体机械地剪切成液滴。如果需要，多个蒸发器可以串连在一起以实现完全蒸发。蒸发器可以轻松拆卸清洗和维护。

2. 发明公开

KR1020160041828A 액체 전구체 또는 고체 전구체를 가진, 디펙트 감소를 위한 내부적으로 가열된 다공성 필터 审中-实审
标题翻译：内部加热多孔过滤器，用于液体或固体前驱体的减少
公开(公告)号：KR1020160041828A
公开(公告)日：2016-04-18
申请号：KR1020150141727
申请日：2015-10-08
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 스미스콜린에프. , 성에드워드 , 마드리갈케빈 , 해밀턴숀
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/67 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/4402 , B01D46/4263 , H01J37/3244 , Y10S55/05 , Y10S55/10 , Y10S55/30
摘要： 기판프로세싱시스템에공급된가스를가열하기위한가열된필터어셈블리는, 캐비티, 내부면및 외부면을규정하는하우징을포함한다. 필터엘리먼트는하우징의내부면에대해이격된관계로하우징의외부면을가진하우징의캐비티내부에배열된다. 열전달엘리먼트는필터엘리먼트의내부에배열되고외부면및 내부캐비티를포함한다. 복수의돌출부들은필터엘리먼트의내부면과직접적으로물리적접촉하는열 전달엘리먼트의외부면상에배열된다. 복수의부분들은열 전달엘리먼트의외부면상에배열되고, 필터엘리먼트의내부면으로부터이격되고, 그리고복수의돌출부들사이에위치된다.
摘要翻译：用于加热供应到基板处理系统的气体的加热过滤器组件包括限定空腔，内表面和外表面的壳体。过滤器元件布置在壳体的空腔内部，其外表面相对于壳体的内表面间隔开。传热元件布置在过滤元件的内部，并且包括外表面和内腔。多个投影单元布置在传热元件的外表面上，与过滤元件的内表面直接物理接触。多个部分布置在传热元件的外表面上，与过滤元件的内表面间隔开并且放置在多个投影单元之间。根据本发明，加热过滤器能够实时控制过滤元件的温度。

3. 发明公开

KR1020160138911A 과도현상 방지 샤워헤드 审中-实审
标题翻译：抗瞬态淋浴
公开(公告)号：KR1020160138911A
公开(公告)日：2016-12-06
申请号：KR1020160063881
申请日：2016-05-25
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 성에드워드 , 스미스콜린에프. , 해밀턴숀엠.
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67
CPC分类号： C23C16/45574 , C23C16/45565 , H01L21/02263 , H01L21/67011 , H01L21/67161 , H01L21/6719
摘要： 샤워헤드내의가스플로우과도현상들에기인하는웨이퍼의표면에걸친불균일한가스전달을최소화하거나제거하도록설계된다양한피처들을포함하는, 반도체프로세싱장비를위한샤워헤드들이개시된다.
摘要翻译：公开了用于半导体加工设备的喷头，其包括设计成由于喷淋头内的气流瞬变而最小化或消除跨越晶片表面的不均匀气体输送的各种特征。

4. 发明公开

KR1020160094316A 모듈형 기화기 审中-实审
标题翻译：模块化蒸发器
公开(公告)号：KR1020160094316A
公开(公告)日：2016-08-09
申请号：KR1020160010641
申请日：2016-01-28
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 숍아란엠. , 스미스콜린에프. , 성에드워드
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/324 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/4481 , F22B1/282
摘要： 프로세스유체를기화하기위한개선된기화기가제공된다. 기화기는스택된플레이트들로부터어셈블될수도있고, 상대적으로큰 벽-면적-대-단면-플로우-면적비를갖는하나이상의플레넘들을포함할수도있다. 기화기는전구체의기화온도보다높은온도로플레넘들을가열하도록구성된하나이상의가열엘리먼트들을구비할수도있다. 플레넘들중 적어도일부는전구체의기화온도보다높은온도로가열될수도있지만, 전구체의 Leidenfrost 온도미만일수도있다. 복수의스택된플레이트장치는필요하다면, 완전한기화를달성하기위해직렬로함께동시에작동할 (ganged) 수도있다. 기화기들은세정및 유지보수를위해용이하게디스어셈블가능할수도있다 (disassembleable).
摘要翻译：提供一种用于蒸发工艺流体的改进的蒸发器。蒸发器可以从堆叠的板组装，并且可以包括一个或多个具有相对大的壁面积与截面积的面积比的斑点。蒸发器还可以具有一个或多个加热元件，其被配置为在高于前体的蒸发温度的温度下加热斑点。可以在高于前体蒸发温度的温度下加热至少一部分斑块，并且还可以在前体的莱顿弗罗斯特温度下加热。为了实现完全蒸发，可以同时串联多个堆叠的板装置。蒸发器也可以轻松拆卸清洁和维修。

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