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2. 发明公开

KR1020140089536A 온도 제어 시스템, 반도체 제조 장치 및 온도 제어 방법 审中-实审
标题翻译：温度控制系统，半导体制造装置和温度控制方法
公开(公告)号：KR1020140089536A
公开(公告)日：2014-07-15
申请号：KR1020147012408
申请日：2012-11-13
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 고바야시아츠시 , 다부치아츠히코 , 와카이히데키 , 이토가즈토시 , 히로세야스히사 , 니시카와게이이치 , 미나타니다카히로
IPC分类号： G05D23/19
CPC分类号： H01L21/67103 , G05D23/1934 , H01L21/67109 , H01L21/67248
摘要： 제1 온도의 액체를 저장하는 제1 온도 조절 유닛, 제1 온도보다 높은 제2 온도의 액체를 저장하는 제2 온도 조절 유닛, 제1 온도 조절 유닛으로부터의 유체를 흘리는 저온 유로(76), 제2 온도 조절 유닛으로부터의 유체를 흘리는 고온 유로(77), 유체를 순환시키는 바이패스 유로(73), 합류부(PA)에서 저온 유로, 고온 유로 및 바이패스 유로의 3유로로부터 합류한 유체를 흘리는 결합 유로(71), 결합 유로로부터 유체를 흘리고, 반도체 제조 장치(100)에 이용되는 부재를 냉각 또는 가열하는 조온부(70), 합류부의 상류측에서 상기 3유로에 부착된 가변 밸브(79)의 밸브 개방도를 제어하여, 상기 3유로의 유량 분배 비율을 조정하는 제어 장치(90)를 갖는 온도 제어 시스템(1)이 제공된다.

3. 发明授权

KR102049798B1 스풀 밸브 有权
公开(公告)号：KR102049798B1
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：KR1020130004956
申请日：2013-01-16
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 이토오가즈토시 , 히로세야스히사 , 미나타니다카히로 , 니시카와게이이치
IPC分类号： F16K11/07 , F16K27/04 , F16K3/24 , F16K3/314

4. 发明公开

KR1020130088056A 스풀 밸브 审中-实审
标题翻译：阀门
公开(公告)号：KR1020130088056A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：KR1020130004956
申请日：2013-01-16
申请人： 시케이디 가부시키가이샤
发明人： 이토오가즈토시 , 히로세야스히사 , 미나타니다카히로 , 니시카와게이이치
IPC分类号： F16K11/07 , F16K27/00
摘要： PURPOSE: A spool valve is provided to restrain the difference occurrence of precise flow control which is generated when an opening area of a port which becomes smaller. CONSTITUTION: A spool valve (11) comprises multiple ports, a valve chamber (24), and a spool (21). Fluid pass through the multiple ports. The valve chamber is connected to the multiple ports. The spool is installed to be movably slid inside the valve chamber. A closing unit which uses the outer circumferential surface to close the ports and an opening unit (43) which uses the outer circumferential surface to be recessed to open the port are contiguously in an axial direction. The spool has a bundle of opened ports which are opened by the opening unit and which are movable to an opening position connected by a connection path (38) in between the outer circumferential surface of the opening unit, and at least one port which is connected by the connection path and which is movable to the inner circumferential surface of the valve chamber. The grade of the second slope to the outer circumferential surface of the closing unit is larger than the grade of the first slope to the outer circumferential surface of the closing unit.
摘要翻译：目的：提供滑阀，以限制当端口的开口面积变小时产生的精确流量控制的差异发生。构成：滑阀（11）包括多个端口，阀室（24）和阀芯（21）。流体通过多个端口。阀室连接到多个端口。阀芯安装成可在阀室内移动滑动。使用外周面封闭端口的封闭单元和使凹部外周面开口的开口单元（43）在轴向上是连续的。阀芯具有一组打开的开口，其由开口单元打开并且可移动到通过开口单元的外周表面之间的连接路径（38）连接的打开位置，以及至少一个连接的端口通过连接路径可移动到阀室的内周面。关闭单元的外周面的第二斜坡的坡度大于关闭单元的第一倾斜度与外周面的坡度。

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