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1. 发明授权

KR102245859B1 지지체 분리 장치, 및 지지체 분리 방법 有权
公开(公告)号：KR102245859B1
公开(公告)日：2021-04-28
申请号：KR1020170069122
申请日：2017-06-02
申请人： 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
发明人： 이시다신고
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/78 , B65H41/00 , B32B43/00
摘要： (과제) 적층체로부터지지체를분리하기위해서필요로하는시간을단축시키고, 장치의점유면적을작게한다. (해결수단) 지지체분리장치 (100) 는, 적층체 (5) 에있어서의지지체 (52) 와는반대측의면을고정시키는스테이지 (1) 와, 지지체 (51) 를개재하여분리층 (52) 에광을조사하는레이저조사부 (7) 와, 지지체 (51) 를유지하는유지부 (6) 를구비하고있고, 유지부 (6) 는, 스테이지 (1) 와레이저조사부 (7) 사이에배치되어있고, 레이저조사부 (6) 가조사하는광이통과하는광 통과부 (63) 를가지고있다.

2. 发明公开

KR1020170038683A 기판 케이스, 수납부, 및 기판 반송기 审中-实审
标题翻译：基板壳体，存储部分和基板传送装置
公开(公告)号：KR1020170038683A
公开(公告)日：2017-04-07
申请号：KR1020160122902
申请日：2016-09-26
申请人： 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
发明人： 이시다신고 , 도리고에노리오
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677
摘要： (과제) 기판의상면에흠집이생기는것을방지할수 있고, 기판을반송하기위한형태를작게할 수있는수납부를구비한, 신규기판케이스를제공한다. (해결수단) 기판을수납하기위한수납부를복수갖는기판케이스 (30) 는, 트레이 (10) 를복수갖고있고, 1 개의트레이 (10) 의표면부에있어서의계지부 (11a ∼ 11d) 의내측에있어서기판 (20) 을지지하고, 당해트레이 (10) 의위에위치하는다른트레이 (10) 의이면부에있어서의계지볼록부 (13b, 13d, 13f 및 13h) 에의해기판 (20) 의단부를걸어고정시킴으로써, 기판 (20) 을유지한다.
摘要翻译：发明内容为了提供一种新颖的基板壳体，其具有能够防止基板的上表面上的划伤并且减小用于输送基板的形状的壳体部分。具有用于容纳基板的多个容纳部分的基板壳体30具有多个托盘10并且设置在一个托盘10的台面上的接合部分11a至11d内部基板20的边缘由位于托盘10的位置处的另一个托盘10的后表面上的保持突起13b，13d，13f和13h保持，由此将衬底20保持在其上。

3. 发明授权

KR101959151B1 첩부 방법 및 첩부 장치 有权
公开(公告)号：KR101959151B1
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：KR1020177010321
申请日：2013-01-23
申请人： 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
发明人： 미야나리아츠시 , 이나오요시히로 , 가토시게루 , 세타카다카히로 , 이시다신고
IPC分类号： C09J5/06 , H01L21/67 , B32B37/12 , B32B37/06 , B32B37/10

4. 发明公开

KR1020170141595A 중첩 장치, 첩부 장치, 중첩 방법 및 첩부 방법 审中-实审
标题翻译：叠加装置，粘贴装置，叠加方法和粘贴方法
公开(公告)号：KR1020170141595A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：KR1020170069120
申请日：2017-06-02
申请人： 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
发明人： 이와타야스마사 , 도사키히토시 , 이시다신고
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67 , H01L21/683
摘要： (과제) 기판과지지체를중첩하는중첩실내에있어서, 서로의평면부를평행하게하여근접시킨기판및 지지체에있어서의위치어긋남을바람직하게검지할수 있는중첩장치, 첩부장치, 중첩방법및 첩부방법을제공하는것. (해결수단) 중첩실 (6a) 내에있어서, 서로의평면부 (41b, 42b) 를평행하게하여근접시킨기판 (42) 및지지체 (41) 중적어도일방의외주단부의위치를검지하는위치검지부 (27 ∼ 29) 가, 중첩실 (6a) 내에있어서, 당해외주단부를비추는내부검지부 (27) 와, 중첩실 (6a) 의외부에서, 내부검지부 (27) 가비춘당해외주단부를검지하는외부검지부 (28, 29) 를구비하고있다.
摘要翻译：（任务）在重叠的内部重叠在基板和支持，提供的重叠装置，贴片装置，叠加方法和补丁方法，其可以优选地检测基片的位移和支撑接近各平面的平行部 haneungeot。 [解决问题的手段]，嵌套腔内（6a）中，每个平面部分的位置（41B，42B）的并联式，其中衬底42和支撑件41甚至普遍检测一个外周缘部检测单元的位置（ 27-29）是在重叠密封件（6a）中，用于检测照明领域的外周缘的内部检测单元（27），在意外部重叠螺纹（6a）中，检测单元27千兆chundang国际周缘部内的外部检测部（内 28和29。

5. 发明公开

KR1020160137386A 적층체의 제조 방법 및 지지체 분리 방법 审中-实审
标题翻译：制备层压板的方法和分离支撑方法
公开(公告)号：KR1020160137386A
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：KR1020160060228
申请日：2016-05-17
申请人： 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
发明人： 이시다신고 , 요시오카다카히로
IPC分类号： B32B37/12 , B32B7/06 , B32B37/00 , B32B43/00 , B32B38/00
CPC分类号： B32B38/10 , B32B2310/0806 , H01L21/6835 , H01L2221/68318 , H01L2221/68327 , H01L2221/68381
摘要： (과제) 기판과지지체를분리할때 기판이파손되는것을방지할수 있는적층체의제조방법및 지지체분리방법을제공한다. (해결수단) 기판 (1) 과, 서포트플레이트 (2) 를갖고, 적외선이조사되면변질되는분리층 (4) 이형성되어있는적층체 (10) 의제조방법으로서, 기판 (1) 또는서포트플레이트 (2) 중일방의주연부분에만, 분리층 (4) 을형성하는분리층형성공정과, 기판 (1) 및서포트플레이트 (2) 를, 분리층 (4) 과제 1 접착층 (3) 을개재하여적층하는적층공정을포함한다.
摘要翻译：一种层叠体的制备方法，其中层压体具有基板和支撑板，并且设置有能够通过红外线照射而改变的剥离层，所述方法包括仅在其周围形成剥离层基板和支撑板; 并且通过所述剥离层和所述第一粘合剂层层叠所述基板和所述支撑板。

6. 发明公开

KR1020140133456A 몰드재의 처리 방법 및 구조체의 제조 방법 有权
标题翻译：加工模具材料的方法和制造结构体的方法
公开(公告)号：KR1020140133456A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：KR1020140054311
申请日：2014-05-07
申请人： 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
发明人： 후지이야스시 , 나카무라아키히코 , 이와타야스마사 , 이시다신고
IPC分类号： B29C71/02 , H01L21/56
CPC分类号： H01L21/6835 , H01L21/568 , H01L24/96 , H01L2221/68318 , H01L2221/68327 , H01L2221/68381 , H01L2924/12042 , H01L2924/3511 , H01L2924/00
摘要： 본 발명에 관련된 몰드재의 처리 방법은, 몰드재로 이루어지는 몰드재층을 가열하여, 당해 몰드재층을 구성하는 몰드재로부터 기체를 방출시키는 가열 공정을 포함한다.
摘要翻译：与本发明有关的加工模具材料的方法包括加热由模具材料构成的模具材料层以从构成模具材料层的模具材料排出气体的加热过程。根据本发明，通过具有像装置和二极管这样的物体来附着用于加工的支撑体的模具材料提供了降低在粘附期间产生气体所引起的负面影响的效果。

7. 发明授权

KR101755762B1 몰드재의 처리 방법 및 구조체의 제조 방법 有权
标题翻译：处理模具材料的方法和制造结构的方法
公开(公告)号：KR101755762B1
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：KR1020140054311
申请日：2014-05-07
申请人： 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
发明人： 후지이야스시 , 나카무라아키히코 , 이와타야스마사 , 이시다신고
IPC分类号： B29C71/02 , H01L21/56
CPC分类号： H01L21/6835 , H01L21/568 , H01L24/96 , H01L2221/68318 , H01L2221/68327 , H01L2221/68381 , H01L2924/12042 , H01L2924/3511 , H01L2924/00
摘要： 본발명에관련된몰드재의처리방법은, 몰드재로이루어지는몰드재층을가열하여, 당해몰드재층을구성하는몰드재로부터기체를방출시키는가열공정을포함한다.
摘要翻译：根据本发明的用于处理模具材料的方法包括：加热步骤，加热由模具材料制成的模具材料层以从构成模具材料层的模具材料释放气体。

8. 发明公开

KR1020170044216A 첩부 방법 및 첩부 장치 审中-实审
标题翻译：附件方法和装置
公开(公告)号：KR1020170044216A
公开(公告)日：2017-04-24
申请号：KR1020177010321
申请日：2013-01-23
申请人： 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
发明人： 미야나리아츠시 , 이나오요시히로 , 가토시게루 , 세타카다카히로 , 이시다신고
IPC分类号： C09J5/06 , H01L21/67 , B32B37/12 , B32B37/06 , B32B37/10
CPC分类号： B32B37/06 , B32B37/04 , B32B37/10 , B32B2398/20 , H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L2924/0002 , H05K3/0058
摘要： 기판 (1) 또는서포트플레이트 (2) 에열가소성의접착제를도포하여접착제층 (3) 을형성하는접착제층형성공정과, 기판 (1) 또는서포트플레이트 (2) 에형성된접착제층 (3) 을가열하는가열공정과, 가열된접착제층 (3) 을개재하여기판 (1) 과서포트플레이트 (2) 를서로가압하여, 기판 (1) 과서포트플레이트 (2) 를첩부하는첩부공정을포함하고있다.
摘要翻译：粘合剂层形成步骤，将热塑性粘合剂施加到基板1或支撑板2上以形成粘合剂层3并加热形成在基板1或支撑板2上的粘合剂层3 以及通过经由加热的粘合剂层3将罐形板2压靠在基板1上而将罐形板2粘附到基板1的粘合步骤。

9. 发明公开

KR1020150122068A 접착제 조성물, 적층체 및 박리 방법 审中-实审
标题翻译：胶粘组合物，层压和剥离方法
公开(公告)号：KR1020150122068A
公开(公告)日：2015-10-30
申请号：KR1020150054289
申请日：2015-04-17
申请人： 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
发明人： 요시오카다카히로 , 다무라고키 , 이마이히로후미 , 구보아츠시 , 이와타야스마사 , 이시다신고
IPC分类号： C09J125/04 , C09J11/06 , B32B7/12
CPC分类号： H01L21/6836 , B32B7/06 , B32B7/12 , B32B9/005 , B32B9/045 , B32B27/16 , B32B27/20 , B32B27/22 , B32B27/281 , B32B27/283 , B32B27/302 , B32B27/308 , B32B38/10 , B32B2255/20 , B32B2307/306 , B32B2307/714 , B32B2310/08 , B32B2457/14 , C09J11/08 , C09J125/06 , C09J145/00 , C09J153/025 , H01L21/6835 , H01L2221/68318 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834 , H01L2221/68381
摘要： 접착제조성물은, 기판 (1) 과, 당해기판 (1) 을지지하는서포트플레이트 (2) 를일시적으로첩부하기위한접착제조성물로서, 열가소성수지와이형제를함유하고있다.
摘要翻译：粘合剂组合物包括热塑性树脂和脱模剂，作为用于临时粘合基材（1）的粘合剂组合物和用于支撑本发明的基材（1）的支撑板（2）。根据本发明，在不形成分离层的情况下，提供能够形成层叠体的新颖的粘合剂组合物，使得载体容易从基材分层。

10. 发明公开

KR1020140135179A 첩부 방법 및 첩부 장치 无效
标题翻译：接合方法和接合装置
公开(公告)号：KR1020140135179A
公开(公告)日：2014-11-25
申请号：KR1020147024763
申请日：2013-01-23
申请人： 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
发明人： 미야나리아츠시 , 이나오요시히로 , 가토시게루 , 세타카다카히로 , 이시다신고
IPC分类号： H01L21/603 , H01L21/02
CPC分类号： B32B37/06 , B32B37/04 , B32B37/10 , B32B2398/20 , H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L2924/0002 , H05K3/0058
摘要： 기판 (1) 또는 서포트 플레이트 (2) 에 열가소성의 접착제를 도포하여 접착제층 (3) 을 형성하는 접착제층 형성 공정과, 기판 (1) 또는 서포트 플레이트 (2) 에 형성된 접착제층 (3) 을 가열하는 가열 공정과, 가열된 접착제층 (3) 을 개재하여 기판 (1) 과 서포트 플레이트 (2) 를 서로 가압하여, 기판 (1) 과 서포트 플레이트 (2) 를 첩부하는 첩부 공정을 포함하고 있다.

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