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1. 发明授权

KR100881681B1 기화기 및 이를 이용한 각종 장치와 기화 방법 有权
标题翻译： CARBURETOR，各种使用碳酸氢机的设备类型和蒸发方法
公开(公告)号：KR100881681B1
公开(公告)日：2009-02-06
申请号：KR1020037009560
申请日：2002-01-18
申请人： 도다 마사유키 , 가부시키가이샤 와타나베 쇼코
发明人： 도다마사유키 , 구스하라마사키 , 우메다마사루 , 후카가와미츠루
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： H01L27/11502 , B01B1/005 , B01D3/346 , B01F3/04021 , B01F5/0646 , B01F5/0653 , B01F5/0656 , B01F5/0671 , B01F5/0676 , C23C16/40 , C23C16/409 , C23C16/4486 , H01L21/31691 , H01L27/11507 , H01L28/55 , Y10S261/65
摘要： 본 발명은 필터의 막힘 등이 일어나지 않고 장기사용이 가능하며, 반응부로의 안정적인 원료공급이 가능한 기화기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
분산부 본체(1)의 내부에 형성된 가스 통로(2)와, 가스 통로(2)에 가압된 캐리어 가스(3)를 도입하는 가스 도입구(4)와, 가스 통로(2)를 통과하는 캐리어 가스에 원료용액(5)을 공급하기 위한 수단(6)과, 분산된 원료용액(5)을 포함하는 캐리어 가스를 기화부(22)에 보내기 위한 가스출구(7)와, 가스 통로(2)내를 흐르는 것을 냉각하는 수단(18)을 가지는 분산부(8)와, 장치의 반응부와 분산부(8)의 가스출구(7)에 접속된 기화관(20)과, 기화관(20)을 가열하는 히터(21)를 가지고, 원료용액이 분산된 캐리어 가스를 가열·기화시키는 기화부(22)를 가지고, 가스출구(7)의 외측에 미세한 홀(101)을 가지는 복사방지부(102)를 만들고 있다.
기화기

2. 发明公开

KR1020030091968A 기화기 및 이를 이용한 각종 장치와 기화 방법 有权
标题翻译：蒸发器和使用它的各种装置和汽化方法
公开(公告)号：KR1020030091968A
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：KR1020037009560
申请日：2002-01-18
申请人： 도다 마사유키 , 가부시키가이샤 와타나베 쇼코
发明人： 도다마사유키 , 구스하라마사키 , 우메다마사루 , 후카가와미츠루
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： H01L27/11502 , B01B1/005 , B01D3/346 , B01F3/04021 , B01F5/0646 , B01F5/0653 , B01F5/0656 , B01F5/0671 , B01F5/0676 , C23C16/40 , C23C16/409 , C23C16/4486 , H01L21/31691 , H01L27/11507 , H01L28/55 , Y10S261/65
摘要： 본 발명은 필터의 막힘 등이 일어나지 않고 장기사용이 가능하며, 반응부로의 안정적인 원료공급이 가능한 기화기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
분산부 본체(1)의 내부에 형성된 가스 통로(2)와, 가스 통로(2)에 가압된 캐리어 가스(3)를 도입하는 가스 도입구(4)와, 가스 통로(2)를 통과하는 캐리어 가스에 원료용액(5)을 공급하기 위한 수단(6)과, 분산된 원료용액(5)을 포함하는 캐리어 가스를 기화부(22)에 보내기 위한 가스출구(7)와, 가스 통로(2)내를 흐르는 것을 냉각하는 수단(18)을 가지는 분산부(8)와, 장치의 반응부와 분산부(8)의 가스출구(7)에 접속된 기화관(20)과, 기화관(20)을 가열하는 히터(21)를 가지고, 원료용액이 분산된 캐리어 가스를 가열·기화시키는 기화부(22)를 가지고, 가스출구(7)의 외측에 미세한 홀(101)을 가지는 복사방지부(102)를 만들고 있다.

3. 发明授权

KR101302818B1 부상 반송 장치 및 부상 반송 방법 有权
标题翻译：引进运输设备和运输方式
公开(公告)号：KR101302818B1
公开(公告)日：2013-09-02
申请号：KR1020067027599
申请日：2005-06-22
申请人： 가부시키가이샤 와타나베 쇼코 , 도다 마사유키
发明人： 도다마사유키 , 우메다마사루
IPC分类号： H01L21/68 , B65G47/28 , B65G49/07 , B65G51/03
CPC分类号： B65G51/03 , B65G47/24 , H01L21/67784
摘要： 피반송체가 반송 중심으로부터 어긋난 경우의 조정을 실시할 수 있는 부상 반송 장치를 제공한다. 피반송체의 반송 경로를 형성하는 반송로와, 피반송체를 상기 반송로를 따라 부상 반송하는 복수의 분사 노즐과, 상기 반송로 중에 있어서의 피반송체의 반송 방향을 검출하는 하나 이상의 검출부와, 그 검출부의 검출 결과에 기초하여 상기 복수의 분사 노즐을 독립적으로 제어하는 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

4. 发明公开

KR1020070038468A 부상 반송 장치 및 부상 반송 방법 有权
标题翻译：引进运输设备和运输方式
公开(公告)号：KR1020070038468A
公开(公告)日：2007-04-10
申请号：KR1020067027599
申请日：2005-06-22
申请人： 가부시키가이샤 와타나베 쇼코 , 도다 마사유키
发明人： 도다마사유키 , 우메다마사루
IPC分类号： H01L21/68 , B65G47/28 , B65G49/07 , B65G51/03
CPC分类号： B65G51/03 , B65G47/24 , H01L21/67784
摘要： 피반송체가 반송 중심으로부터 어긋난 경우의 조정을 실시할 수 있는 부상 반송 장치를 제공한다. 피반송체의 반송 경로를 형성하는 반송로와, 피반송체를 상기 반송로를 따라 부상 반송하는 복수의 분사 노즐과, 상기 반송로 중에 있어서의 피반송체의 반송 방향을 검출하는 하나 이상의 검출부와, 그 검출부의 검출 결과에 기초하여 상기 복수의 분사 노즐을 독립적으로 제어하는 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

5. 发明公开

KR1020040007439A 강유전체 박막, 금속 박막 또는 산화물 박막 및 그제조방법, 제조장치 그리고 상기 박막을 사용한전자·전기 디바이스 无效
标题翻译：铁电薄膜，金属薄膜或氧化物薄膜，其制造方法，制造设备以及使用该薄膜的电子/电器件
公开(公告)号：KR1020040007439A
公开(公告)日：2004-01-24
申请号：KR1020037009561
申请日：2002-01-18
申请人： 도다 마사유키 , 가부시키가이샤 와타나베 쇼코
发明人： 도다마사유키 , 야모토히사요시 , 구스하라마사키 , 우메다마사루 , 후카가와미츠루
IPC分类号： H01L27/105
CPC分类号： H01L27/11502 , C23C16/40 , C23C16/4486 , H01L21/31691 , H01L27/11507 , H01L28/55
摘要： 본 발명의 목적은 양호한 잔류분극 특성을 얻을 수 있는 적절한 조성범위를 가지는 동시에, 신뢰성 높은 비스무트계 층형상 결정구조를 가지는 강유전체 박막을 제공하는데 있다.
본 발명의 강유전체 박막은 카본과 스트론튬(Sr)과 비스무트(Bi)와 탄탈(Ta) 및 니오븀(Nb) 중의 적어도 탄탈과 산소(O)를 포함하는 층형상 결정구조이며, 조성식을 SrBi
y Ta
2 O
9±d 혹은 Sr
x Bi
y (Ta,Nb)
2 O
9±d (단, 0.90≤x＜1.00, 1.70＜y≤3.20, 0≤d≤1.00), 카본 함유량을 5%이하로 하는 것을 특징으로 한다.

6. 发明公开

KR1020000076275A 기체 부상 장치 失效
标题翻译：气浮装置
公开(公告)号：KR1020000076275A
公开(公告)日：2000-12-26
申请号：KR1019997008371
申请日：1998-03-13
申请人： 도다 마사유키 , 가부시키가이샤 와타나베 쇼코
发明人： 도다마사유키 , 우메다마사루 , 칸노요이치 , 오오미,다다히로
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/6838
摘要： 본발명은, 기체를부상시켰을때, 회전축과면이동이작고안정된부상상태를얻을수 있는기체부상장치로, 기체표면의청정도를유지한상태에서막형성이가능하고기체표면의온도분포와기체상에박막을형성하기위해이용하는원료의농도분포가광범위하며균일한막 두께분포를가지는막형성이가능한기체부상형가열장치및 제막장치를제공하는것을목적으로한다. 기체부상장치는, 원반형기체안쪽면에기류를분출시켜서이 기체를부상시키면서회전시키는기체부상장치가기체를부상시키는부상용세공군, 기체를장치중앙에서고정하는센터링용세공군, 이기체를장치중앙에서회전시키는회전용세공군, 이기체의고속회전시의이동을억제하는보조세공군으로구성되는부상유닛을가지는것을특징으로한다. 또, 기체부상형가열장치및 제막장치는상기의부상유닛을갖춘것이특징이다.
摘要翻译：本发明中，当气体sikyeoteul损伤，与所述旋转轴和基座部分，该表面移动小而获得稳定的浮动状态，温度分布是可能的，并且基片表面以保留在衬底表面状态的清洁度作为基板上的薄膜，以形成膜本发明提供一种成膜装置，其能够形成膜厚分布均匀且成膜时使用的原料的浓度分布宽的膜。气损伤装置，旋转所述定心yongse空气的话，当浮动sikyeoseoyi气体喷射流确保损伤yongse空气，气体浮动基板在单元在单元的中心到内表面的圆盘状的气体的中心而旋转的气体漂浮装置的构件并且提升单元由辅助副空气组构成，用于在高速旋转时限制主体的运动。气体冲洗式加热装置和成膜装置的特征在于具有上述浮动单元。

7. 发明授权

KR101881617B1 기화기 有权
公开(公告)号：KR101881617B1
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：KR1020137017445
申请日：2011-12-21
申请人： 가부시키가이샤 와타나베 쇼코 , 구스하라 마사키 , 우메다 마사루 , 도다 마사유키
发明人： 구스하라마사키 , 우메다마사루 , 후카가와미츠루 , 도다마사유키
IPC分类号： H01L21/205 , B05D1/26 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/4481 , B01D1/00
摘要： 막에있어서의, 파문, 파티클, 카본량을감소시킬수 있고, 게다가원하는조성을갖는막을형성할수 있는원료공급가능한기화기를제공한다. 또, 필요이상의가열을필요로하지않고기화를충분히실시하는것이가능하고, 게다가, 온도관리를용이하게할 수있는기화기를얻는다. 성막용액체재료가분산되어있는캐리어가스가도입되는기화기본체 (3) 와, 그기화기본체 (3) 의내부에배치된히터본체 (4) 를구비하고있는것을특징으로하는기화기로서, 상기히터본체의도입부의형상이, 원추형상인것을특징으로하는기화기로한다.

8. 发明公开

KR1020140034123A 기화기 无效
公开(公告)号：KR1020140034123A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：KR1020137017445
申请日：2011-12-21
申请人： 가부시키가이샤 와타나베 쇼코 , 구스하라 마사키 , 우메다 마사루 , 도다 마사유키
发明人： 구스하라마사키 , 우메다마사루 , 후카가와미츠루 , 도다마사유키
IPC分类号： H01L21/205 , B05D1/26 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/4481 , B01D1/00
摘要： 막에 있어서의, 파문, 파티클, 카본량을 감소시킬 수 있고, 게다가 원하는 조성을 갖는 막을 형성할 수 있는 원료 공급 가능한 기화기를 제공한다. 또, 필요 이상의 가열을 필요로 하지 않고 기화를 충분히 실시하는 것이 가능하고, 게다가, 온도 관리를 용이하게 할 수 있는 기화기를 얻는다. 성막용 액체 재료가 분산되어 있는 캐리어 가스가 도입되는 기화기 본체 (3) 와, 그 기화기 본체 (3) 의 내부에 배치된 히터 본체 (4) 를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기화기로서, 상기 히터 본체의 도입부의 형상이, 원추 형상인 것을 특징으로 하는 기화기로 한다.

9. 发明授权

KR100563245B1 기체 부상 장치 失效
标题翻译：基板浮动装置
公开(公告)号：KR100563245B1
公开(公告)日：2006-03-27
申请号：KR1019997008371
申请日：1998-03-13
申请人： 도다 마사유키 , 가부시키가이샤 와타나베 쇼코
发明人： 도다마사유키 , 우메다마사루 , 칸노요이치 , 오오미,다다히로
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/6838
摘要： 본 발명은, 기체를 부상시켰을때, 회전축과 면이동이 작고 안정된 부상상태를 얻을 수 있는 기체 부상장치로, 기체 표면의 청정도를 유지한 상태에서 막형성이 가능하고 기체표면의 온도분포와 기체상에 박막을 형성하기 위해 이용하는 원료의 농도분포가 광범위하며 균일한 막 두께 분포를 가지는 막형성이 가능한 기체 부상형 가열장치 및 제막장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
기체 부상 장치는, 원반형 기체 안쪽면에 기류를 분출시켜서 이 기체를 부상시키면서 회전시키는 기체 부상장치가 기체를 부상시키는 부상용 세공군, 기체를 장치 중앙에서 고정하는 센터링용 세공군, 이 기체를 장치 중앙에서 회전시키는 회전용 세공군, 이 기체의 고속회전시의 이동을 억제하는 보조 세공군으로 구성되는 부상 유닛을 가지는 것을 특징으로 한다. 또, 기체 부상형 가열장치 및 제막장치는 상기의 부상유닛을 갖춘 것이 특징이다.

10. 发明公开

KR1020050113549A 기화기 및 이를 사용한 각종 장치 그리고 기화방법 无效
标题翻译：蒸发器，包括它们的各种装置和蒸发方法
公开(公告)号：KR1020050113549A
公开(公告)日：2005-12-02
申请号：KR1020047019138
申请日：2003-05-29
申请人： 가부시키가이샤 와타나베 쇼코 , 도다 마사유키
发明人： 도다마사유키 , 우메다마사루
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C16/40 , C23C16/4481 , C23C16/4486 , H01L21/6708
摘要： A vaporizer that does not cause clogging or other failure, permits long-term use and enables stable supply of raw materials to a reaction section. In particular, a vaporizer which not only enables continuous and stable supply of raw materials adjusted to stoichiometric ratios but also exerts an effect of reducing the amount of carbon residue in a formed film; and a relevant disperser, film formation unit, method of vaporization, method of dispersion and method of film formation. The vaporizer may be one comprising vaporizing a raw material solution contained in a carrier gas characterized in that means for causing the carrier gas before containing the raw material solution to contain the solvent of the raw material solution is disposed therein.
摘要翻译：不引起堵塞或其他故障的蒸发器，可长期使用，能够稳定地供应原料至反应段。特别是一种蒸发器，其不仅能够连续稳定地供给调整为化学计量比的原料，而且还发挥降低成膜的碳残留量的效果; 和相关的分散器，成膜单元，蒸发方法，分散方法和成膜方法。蒸发器可以是包含蒸发载气中所含的原料溶液的蒸发器，其特征在于，在其中设置用于在容纳原料溶液以容纳原料溶液的溶剂之前引起载气的装置。

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