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1. 发明公开

KR1020070003824A 진공 단열 밸브 失效
标题翻译：真空热绝缘阀
公开(公告)号：KR1020070003824A
公开(公告)日：2007-01-05
申请号：KR1020067014501
申请日：2005-01-13
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 미나미유키오 , 츠보타켄지 , 시노하라쯔토무 , 야마지미치오 , 이케다노부카주 , 모리모토아키히로 , 카와다코지 , 나리아이토시로
IPC分类号： F16K51/00 , F16K51/02 , F16K27/00
CPC分类号： F16K51/02 , Y10T137/6606 , Y10T137/7043 , Y10T137/7062
摘要： A vacuum heat insulation valve that can be used in high-temperature conditions in a gas supply system and gas discharge system and that can be drastically reduced in size and made compact because of excellent heat insulating performance of the valve. A vacuum heat insulation valve constructed from a valve that has a valve body and an actuator and from a vacuum insulation box that receives the valve. The vacuum heat insulation box (S) is constructed from a rectangular lower vacuum jacket (S5) that has on its side face a tubular vacuum insulation piping receiving section (J) and whose upper face is opened, and from a rectangular upper vacuum jacket (S4) that is air-tightly fitted to the lower vacuum jacket (S5) from the above and whose lower face is opened. ® KIPO & WIPO 2007
摘要翻译：一种真空隔热阀，可在气体供应系统和气体放电系统的高温条件下使用，由于阀的绝热性能优异，可大大减小尺寸，并且紧凑。一种真空隔热阀，由具有阀体和致动器的阀构成，并由接纳该阀的真空绝热箱构成。真空保温箱（S）由矩形的下部真空套（S5）构成，其中，它的侧面是管状的真空绝热管道接收部分（J），其上表面打开，并且由矩形上部真空套 S4），其从上方气密地配合到下真空套（S5）并且其下表面打开。 ®KIPO＆WIPO 2007

2. 发明授权

KR100619154B1 수분발생용 반응로의 백금 코팅 촉매층의 형성방법 失效
标题翻译：用于生成水气的反应炉中形成铂涂层催化剂层的方法
公开(公告)号：KR100619154B1
公开(公告)日：2006-08-31
申请号：KR1020047012636
申请日：2003-10-14
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 이케다노부카주 , 모리모토아키히로 , 키타노마사후미 , 미나미유키오 , 카와다코지
IPC分类号： B01J37/02 , B01J23/56
CPC分类号： B01J12/007 , B01J21/04 , B01J23/42 , B01J37/0225 , B01J37/0226 , B01J37/08 , C01B5/00
摘要： 본 발명은 수분발생용 반응로의 반응용 공간의 내벽면에, 균일한 두께이며 모재에 대한 고착력이 높고, 또한, 백금 피막의 보호기능이 높은 장벽 피막을 값싸고 또한 간단히 형성할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 수소와 산소를 고온연소를 시키지 않고 반응시켜 수분을 발생시키는 수분발생용 반응로에 있어서 수분발생용 반응로를 알루미늄함유 합금을 이용하여 형성하고, 상기 수분발생용 반응로의 내벽면에 알루미늄의 선택산화처리를 실시하여 산화알루미늄(Al
2 O
3 )을 주체로 하는 장벽 피막을 형성하고, 그 후 상기 장벽 피막의 상부에 백금 피막을 적층 고착하여 백금 코팅 촉매층을 형성한다.

3. 发明公开

KR1020040089635A 수분발생용 반응로의 백금 코팅 촉매층의 형성방법 失效
标题翻译：用于在反应器中形成用于产生水分的涂铂催化剂层的方法
公开(公告)号：KR1020040089635A
公开(公告)日：2004-10-21
申请号：KR1020047012636
申请日：2003-10-14
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 이케다노부카주 , 모리모토아키히로 , 키타노마사후미 , 미나미유키오 , 카와다코지
IPC分类号： B01J37/02 , B01J23/56
CPC分类号： B01J12/007 , B01J21/04 , B01J23/42 , B01J37/0225 , B01J37/0226 , B01J37/08 , C01B5/00
摘要： 본 발명은 수분발생용 반응로의 반응용 공간의 내벽면에, 균일한 두께이며 모재에 대한 고착력이 높고, 또한, 백금 피막의 보호기능이 높은 장벽 피막을 값싸고 또한 간단히 형성할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 수소와 산소를 고온연소를 시키지 않고 반응시켜 수분을 발생시키는 수분발생용 반응로에 있어서 수분발생용 반응로를 알루미늄함유 합금을 이용하여 형성하고, 상기 수분발생용 반응로의 내벽면에 알루미늄의 선택산화처리를 실시하여 산화알루미늄(Al
2 O
3 )을 주체로 하는 장벽 피막을 형성하고, 그 후 상기 장벽 피막의 상부에 백금 피막을 적층 고착하여 백금 코팅 촉매층을 형성한다.

4. 发明公开

KR1020040089117A 회전식 실리콘웨이퍼 세정장치 失效
标题翻译：旋转硅片清洁器
公开(公告)号：KR1020040089117A
公开(公告)日：2004-10-20
申请号：KR1020047011263
申请日：2003-09-11
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 가부시키가이샤 프레테크
发明人： 시라이야수유키 , 후지타타쿠미 , 미나미유키오 , 이케다노부카즈 , 모리모토아키히로 , 카와다코지 , 오미다다히로
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67034 , H01L21/02052
摘要： 약품이나 순수에 의해 세정처리를 한 실리콘웨이퍼의 수소종단을 보다 완전한 것으로 함으로써, 실리콘웨이퍼의 안정성을 한층 향상시킬 수 있도록 한 회전식 실리콘웨이퍼 세정장치를 제공하는 것이다.
그것을 위해, 본원 발명에서는, 케이스본체내에 실리콘웨이퍼의 지지·회전 구동장치를 구비하고, 약품세정후의 실리콘웨이퍼를 순수에 의해 세정하도록 한 회전식 실리콘웨이퍼 세정장치에 있어서, 케이스본체에 부설되고, 0.05Vol%이상의 수소가스를 함유하는 수소가스와 불활성 가스의 혼합가스를 공급하는 가스공급패널과, 일단이 상기 가스공급패널의 가스혼합기에 연결된 혼합가스 공급관과, 상기 혼합가스 공급관내의 혼합가스를 가열하는 혼합가스 가열장치와, 상기 혼합가스 가열장치에 의해 가열된 고온 혼합가스와의 가스접촉부분에 수소 라디칼을 형성하는 백금 코팅피막을 구비한 수소 라디칼 생성장치로 이루어지는 실리콘웨이퍼 건조장치를 설치하고, 상기 수소 라디칼 생성장치에 의해 생성된 수소 라디칼을 함유하는 혼합가스를 세정 후의 회전하는 실리콘웨이퍼상에 분출함으로써, 실리콘웨이퍼의 외표면의 건조와 수소 종단처리를 행하도록 하고 있다.

5. 发明授权

KR100815458B1 진공 단열 밸브 失效
标题翻译：真空热绝缘阀
公开(公告)号：KR100815458B1
公开(公告)日：2008-03-20
申请号：KR1020067014501
申请日：2005-01-13
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 미나미유키오 , 츠보타켄지 , 시노하라쯔토무 , 야마지미치오 , 이케다노부카주 , 모리모토아키히로 , 카와다코지 , 나리아이토시로
IPC分类号： F16K51/00 , F16K51/02 , F16K27/00
CPC分类号： F16K51/02 , Y10T137/6606 , Y10T137/7043 , Y10T137/7062
摘要： 본 발명은, 가스의 공급계나 가스의 배기계 안에서 고온상태에서 사용할 수 있고, 또한 우수한 단열 성능에 의해 대폭적인 소형, 콤팩트화를 가능하게 한 진공 단열 밸브를 제공하는 것이다. 밸브 본체와 액추에이터를 구비한 밸브와, 그 밸브를 격납하는 진공 단열 상자로 형성한 진공 단열 밸브에 있어서, 상기 진공 단열 상자(S)를, 측면에 통형상의 진공 단열 배관 수용부(J)를 구비하고 또한 상면을 개방한 각이 진 형태의 하부 진공 재킷(S
5 )과, 그 하부 진공 재킷(S
5 )에 상방으로부터 기밀하게 끼워 맞춰지고 또한 하면을 개방한 각이 진 형태의 상부 진공 재킷(S
4 )으로 형성한다.

6. 发明公开

KR1020020034980A 가스검출센서 失效
公开(公告)号：KR1020020034980A
公开(公告)日：2002-05-09
申请号：KR1020017004842
申请日：2000-06-05
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 카와다코지 , 이케다노부카즈 , 모리모토아키히로 , 미나미유키오 , 코메하나카츠노리 , 혼이덴테루오
IPC分类号： G01N27/16
摘要： 본 발명은 가스검출센서의 구조를 간소화함과 아울러 H
2 O나 O
2 의 존재하에 있어서 피검출가스 내의 가연성 가스의 농도나 가연성 가스를 함유한 피검출가스 내의 산소가스의 농도를 고정밀도로 검출할 수 있도록 하는 것을 주된 목적으로 하는 것이다. 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 가연성 가스의 접촉반응에 의한 센서의 발열에 의해 가연성 가스의 검출신호를 발신하도록 한 가스검출센서에 있어서, 피검출가스가 접촉하는 가스접촉면에 백금코팅피막을 보유하는 다이어프램과, 상기 다이어프램의 가스비접촉면에 2가지의 이종금속의 일단측을 각각 근접시켜서 고착한 열전대로 이루어지고, 가연성 가스의 접촉반응에 의해 가열되는 제1검출센서와, 피검출가스가 접촉하는 가스접촉면을 갖는 다이어프램과, 상기 다이어프램의 가스비접촉면에 2가지의 이종금속의 일단측을 각각 근접시켜서 고착한 열전대로 이루어지고, 피검출가스의 온도를 검출하는 제2검출센서로 구성된다.

7. 发明授权

KR100705344B1 회전식 실리콘웨이퍼 세정장치 失效
标题翻译：旋转式硅水清洗装置
公开(公告)号：KR100705344B1
公开(公告)日：2007-04-10
申请号：KR1020047011263
申请日：2003-09-11
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로 , 가부시키가이샤 프레테크
发明人： 시라이야수유키 , 후지타타쿠미 , 미나미유키오 , 이케다노부카즈 , 모리모토아키히로 , 카와다코지 , 오미다다히로
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67034 , H01L21/02052
摘要： 약품이나 순수에 의해 세정처리를 한 실리콘웨이퍼의 수소종단을 보다 완전한 것으로 함으로써, 실리콘웨이퍼의 안정성을 한층 향상시킬 수 있도록 한 회전식 실리콘웨이퍼 세정장치를 제공하는 것이다.
그것을 위해, 본원 발명에서는, 케이스본체내에 실리콘웨이퍼의 지지·회전 구동장치를 구비하고, 약품세정후의 실리콘웨이퍼를 순수에 의해 세정하도록 한 회전식 실리콘웨이퍼 세정장치에 있어서, 케이스본체에 부설되고, 0.05Vol%이상의 수소가스를 함유하는 수소가스와 불활성 가스의 혼합가스를 공급하는 가스공급패널과, 일단이 상기 가스공급패널의 가스혼합기에 연결된 혼합가스 공급관과, 상기 혼합가스 공급관내의 혼합가스를 가열하는 혼합가스 가열장치와, 상기 혼합가스 가열장치에 의해 가열된 고온 혼합가스와의 가스접촉부분에 수소 라디칼을 형성하는 백금 코팅피막을 구비한 수소 라디칼 생성장치로 이루어지는 실리콘웨이퍼 건조장치를 설치하고, 상기 수소 라디칼 생성장치에 의해 생성된 수소 라디칼을 함유하는 혼합가스를 세정후의 회전하는 실리콘웨이퍼상에 분출함으로써, 실리콘웨이퍼의 외표면의 건조와 수소 종단처리를 행하도록 하고 있다.

8. 发明授权

KR100425577B1 가스검출센서 失效
标题翻译：气体检测传感器
公开(公告)号：KR100425577B1
公开(公告)日：2004-04-01
申请号：KR1020017004842
申请日：2000-06-05
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 카와다코지 , 이케다노부카즈 , 모리모토아키히로 , 미나미유키오 , 코메하나카츠노리 , 혼이덴테루오
IPC分类号： G01N27/16
摘要： 본 발명은 가스검출센서의 구조를 간소화함과 아울러 H
2 O나 O
2 의 존재하에 있어서 피검출가스 내의 가연성 가스의 농도나 가연성 가스를 함유한 피검출가스 내의 산소가스의 농도를 고정밀도로 검출할 수 있도록 하는 것을 주된 목적으로 하는 것이다. 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 가연성 가스의 접촉반응에 의한 센서의 발열에 의해 가연성 가스의 검출신호를 발신하도록 한 가스검출센서에 있어서, 피검출가스가 접촉하는 가스접촉면에 백금코팅피막을 보유하는 다이어프램과, 상기 다이어프램의 가스비접촉면에 2가지의 이종금속의 일단측을 각각 근접시켜서 고착한 열전대로 이루어지고, 가연성 가스의 접촉반응에 의해 가열되는 제1검출센서와, 피검출가스가 접촉하는 가스접촉면을 갖는 다이어프램과, 상기 다이어프램의 가스비접촉면에 2가지의 이종금속의 일단측을 각각 근접시켜서 고착한 열전대로 이루어지고, 피검출가스의 온도를 검출하는 제2검출센서로 구성된다.

9. 发明授权

KR101366027B1 수분 발생용 반응로 失效
标题翻译：水分生成反应炉
公开(公告)号：KR101366027B1
公开(公告)日：2014-02-21
申请号：KR1020117018629
申请日：2010-04-22
申请人： 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 오미타다히로 , 카와다코지 , 이케다노부카즈 , 모리모토아키히로 , 미나미유키오 , 히라오케이지 , 사카모토노부하루 , 키타노마사후미
IPC分类号： C01B5/00 , B01J19/24 , B01J12/00 , B01J23/63
CPC分类号： B01J23/63 , B01J12/007 , B01J23/42 , B01J35/023 , B01J37/0225 , B01J37/0244 , C01B5/00
摘要： 백금 촉매층을 갖는 반응로내에 수소 가스와 산소 가스를 공급하고, 촉매 반응시킴으로써 연소시키지 않고, 수소 가스와 산소 가스의 착화점보다 낮은 촉매 반응 온도에서 고순도의 수분을 발생시키는 수분 발생용 반응로에 있어서, 모재와 백금 촉매층 사이에 형성한 배리어층에 대하여, 백금 촉매층의 높은 부착력을 장기간 유지할 수 있는 수분 발생용 반응로를 제공한다.
가스 입구 및 수분 출구가 형성된 반응로 본체와, 상기 반응로 본체의 내벽면의 적어도 일부에 성막된 Y
2 O
3 배리어층과 상기 Y
2 O
3 배리어층상의 적어도 일부에 성막된 백금 촉매층을 갖는 것으로 했다. 상기 Y
2 O
3 배리어층의 막두께는 바람직하게는 50nm∼5㎛이다.

10. 发明公开

KR1020090003195A 배관로의 누설 검사 방법 및 누설 검사 장치 无效
标题翻译：泄漏检测方法和泄漏检测装置管道管线
公开(公告)号：KR1020090003195A
公开(公告)日：2009-01-09
申请号：KR1020087021273
申请日：2007-03-02
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 에스.이.에스 카부시키가이샤
发明人： 코우노기스케 , 혼이덴테루오 , 모리모토아키히로 , 야스모토나오후미 , 카와다코지 , 우에지유타카 , 이케다노부카즈 , 하타노마사유키 , 쿠라모치미치오 , 킨다이요시유키 , 나가노카즈히로 , 와다토시아키
IPC分类号： G01M3/26 , G01M3/00
CPC分类号： G01M3/2815
摘要： Enabled is to detect the content volume and leakage amount of a pipeline to be inspected, simply and promptly with a remarkably small inspecting device so that the propriety of the inspection result of the pipeline may be precisely judged with the leakage amount related to the content volume of the pipeline. In a leakage inspecting method for a pipe line, an inspecting gas is fed at a predetermined flow rate inward from one end opening of the inspected pipe line in a closed state, while the flow rate being detected by a flow meter and the pressure being detected by a pressure detector, and the temperature of the pipe line or the inspecting gas fed to the pipe line is detected by a temperature detector. The detected pressure value, the detected flow rate value and the detected temperature value are inputted to a processor so that the content volume VL of the inspected pipe line is calculated as VL = Feed Flow Rate Q x Pressure Time Period t / Pressure Rise P2, from the pressure time period t till the pressure rise P2 in the inspected pipe line becomes a set value and from the feed flow rate Q of the inspecting gas. Next, the leakage amount QL from the inspected pipe line is calculated as QL = Pressure Drop P2' x Pipe Line Content Volume VL / Pressure Drop Time t', from the pressure drop P2' after lapse of the predetermined pressure drop time t' after the inside of the inspected pipeline was pressurized to a predetermined value, and from the pipeline content volume VL calculated.
摘要翻译：启用是检查管道的内容量和泄漏量，简单快速地检查设备，使得管道检查结果的合适性可以用与内容相关的泄漏量精确判断的管道。在管线的泄漏检查方法中，以关闭状态从被检查管路的一个端部开口向内侧以规定的流量供给检查气体，同时由流量计检测流量并检测压力通过压力检测器，通过温度检测器检测供给到管路的管路或检查气体的温度。将检测到的压力值，检测流量值和检测到的温度值输入到处理器，使得被检查管路的内容积VL被计算为VL =进料流量Q x压力时间段t /压力上升P2，从加压时间t到检查管路中的压力上升P2成为设定值，并且从检查气体的供给流量Q开始。接下来，从经过预定管线的泄漏量QL计算出经过预定压力下降时间t'之后的压降P2'的QL =压降P2'×管线内容量VL /压降时间t' 被检查管道的内部被加压到预定值，并且从管道内容物体积VL计算。

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