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1. 发明公开

KR1020090075816A 차압식 매스 플로우 컨트롤러에 있어서 진단 기구 无效
标题翻译：差压式流量控制器诊断机理
公开(公告)号：KR1020090075816A
公开(公告)日：2009-07-09
申请号：KR1020097006922
申请日：2007-10-29
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 야스다다다히로 , 마츠우라가즈히로 , 나가이겐타로 , 머드다니엘
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00 , G01F1/78
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/50 , G01F1/88 , G01F25/0007 , G05B23/0221
摘要： A diagnostic mechanism of a differential pressure type mass flow controller (A) comprising a diagnostic parameter calculating section (2f) for determining by integration operation a mass flow rate integration value from the lowering pressure value of an inlet side sensor (4) out of the inlet side sensor (4) and an outlet side sensor (5) provided, to allow respective communication, on the inlet (31) side and the outlet (32) side of a resistor (3) generating a differential pressure between the inlet and the outlet by bringing a flow control valve (2Va) provided on the channel for allowing fluid to flow from a flow rate control state to a close state, and then determining a diagnostic volume value from the mass flow rate integration value thus determined, and a section (2h) for comparing the diagnostic volume value determined at the diagnostic parameter calculating section (2f) with a specified volume value, whereby troubles such as clogging of the resistor can be found suitably and existence of abnormality can be diagnosed precisely.
摘要翻译：一种差压式质量流量控制器（A）的诊断机构，包括：诊断参数计算部（2f），用于通过积分运算从入口侧传感器（4）的降压值除以外的质量流量积分值入口侧传感器（4）和出口侧传感器（5），其设置成允许在电阻器（3）的入口（31）侧和出口（32）侧相互连通，从而在入口和出口侧之间产生压差通过使设置在通道上的流量控制阀（2Va）使流体从流量控制状态流动到关闭状态，然后从由此确定的质量流量积分值确定诊断体积值，（2h），用于将诊断参数计算部（2f）所求出的诊断体积值与规定的体积值进行比较，从而可以适当地发现电阻器堵塞等问题，存在可以精确诊断异常情况。

2. 发明公开

KR1020140105623A 차압식 매스 플로우 컨트롤러에 있어서 진단 기구 有权
标题翻译：差压式流量控制器诊断机理
公开(公告)号：KR1020140105623A
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：KR1020147023033
申请日：2007-10-29
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 야스다다다히로 , 마츠우라가즈히로 , 나가이겐타로 , 머드다니엘
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/50 , G01F1/88 , G01F25/0007 , G05B23/0221 , G05D7/06
摘要： 유체가 흐르는 유로상에 마련한 유량 제어 밸브(2Va)를 유량 제어 상태로부터 폐쇄 상태로 함으로써, 도입출구 사이에 차압을 발생시키는 저항체(3)의 도입구(31)측 및 도출구(32)측에 각각 연락하여 마련한 입구측 센서(4) 및 출구측 센서(5) 중, 입구측 센서(4)가 하강하는 압력값으로부터 질량 유량 적분값을 적분 연산에 의해 구하고, 또한 구한 질량 유량 적분값으로부터 진단용의 체적값을 구하는 진단용 파라미터 산출부(2f)와, 진단용 파라미터 산출부(2f)에서 구한 진단용의 체적값과, 규정의 체적값을 비교하는 비교부(2h)를 구비하여 이루어지도록 한 저항체의 막힘 등의 문제를 적절히 발견할 수 있어, 정밀도 좋게 이상 유무의 진단을 행할 수 있다고 하는 차압식 매스 플로우 컨트롤러(A)의 진단 기구를 제공한다.

3. 发明授权

KR101572407B1 차압식 매스 플로우 컨트롤러에 있어서 진단 기구 有权
标题翻译：差压式流量控制器诊断机理
公开(公告)号：KR101572407B1
公开(公告)日：2015-11-26
申请号：KR1020147023033
申请日：2007-10-29
申请人： 가부시키가이샤 호리바 에스텍
发明人： 야스다다다히로 , 마츠우라가즈히로 , 나가이겐타로 , 머드다니엘
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/50 , G01F1/88 , G01F25/0007 , G05B23/0221
摘要： 유체가흐르는유로상에마련한유량제어밸브(2Va)를유량제어상태로부터폐쇄상태로함으로써, 도입출구사이에차압을발생시키는저항체(3)의도입구(31)측및 도출구(32)측에각각연락하여마련한입구측센서(4) 및출구측센서(5) 중, 입구측센서(4)가하강하는압력값으로부터질량유량적분값을적분연산에의해구하고, 또한구한질량유량적분값으로부터진단용의체적값을구하는진단용파라미터산출부(2f)와, 진단용파라미터산출부(2f)에서구한진단용의체적값과, 규정의체적값을비교하는비교부(2h)를구비하여이루어지도록한 저항체의막힘등의문제를적절히발견할수 있어, 정밀도좋게이상유무의진단을행할수 있다고하는차압식매스플로우컨트롤러(A)의진단기구를제공한다.

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