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1. 发明授权

KR100777177B1 부상 반송 장치 失效
标题翻译：浮动转移装置
公开(公告)号：KR100777177B1
公开(公告)日：2007-11-19
申请号：KR1020000036146
申请日：2000-06-28
申请人： 가부시키가이샤 와타나베 쇼코 , 가부시키가이샤 와코무 덴소
发明人： 야가이,미치오 , 쯔지무라,마사유키 , 토다,마사유키 , 쿠즈하라,마사키
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： B65G49/065 , B65G49/061
摘要： 본 발명은 판상 기체의 형상과 중량의 영향을 제거하고, 판상 기체에 대해 신속하게 조심할 수 있는 부상 반송 장치를 제공한다.
판상 반송면(상면 1
1 )을 구비하고, 이 반송면을 따라 판상 기체를 보내기 위한 기부(1)와 반송면에서 기체를 분출하는 것에 의해 판상기체를 반송면에서 부상시킴과 동시에 부상한 판상 기체를 반송면을 따라 이동시키는 제 1 분출 수단과 제 1 분출 수단에 의해 부상한 판상 기체를 반송면의 중심위치(I
2 )로 유지하기 위해 기체를 분출하는 제 2 분출수단(2F
1 ∼2H
1 , 2F
2 ∼2H
2 )을 구비했다.

2. 发明公开

KR1020000052377A 판상 기체의 수납유닛 및 수납장치 失效
标题翻译：接收单元和用于相位气体的装置
公开(公告)号：KR1020000052377A
公开(公告)日：2000-08-25
申请号：KR1019990052773
申请日：1999-11-25
申请人： 가부시키가이샤 와코무 덴소 , 가부시키가이샤 와타나베 쇼코
发明人： 야가이,미치오 , 우메다,마사루 , 쯔지무라,마사유키 , 토다,마사유키 , 쿠스하라,마사키
IPC分类号： B65D85/48
CPC分类号： B65G49/062 , B65G49/068 , B65G49/069
摘要： PURPOSE: A receipt unit and a receipt apparatus for sheet phase gas are provided to accomplish improvement enabling the sheet phase gas to be transported to a processing device without being formed with a defect or damaged while eliminating the necessity of robot arm for taking the sheet phase gas. CONSTITUTION: A receipt unit comprises a main body portion(10) having a retaining surface for retaining a sheet phase gas, wall portions(11B, 11C, 11D) arranged at an end of the retaining surface of the main body(10) and at both ends of the end and which prevent the sheet phase gas from being moved to the three ends, an injection portion for injecting a supplied gas onto the retaining surface of the main body portion(10) so as to allow the sheet phase gas at the retaining surface of the main body portion(10) to float from the retaining surface, and an outlet portion for pushing the sheet phase gas floated by the injection portion toward the other end of the retaining surface.
摘要翻译：目的：提供一种用于片状相气体的收据单元和收据装置，以实现将片状相气体输送到处理装置的改进，而不会形成缺陷或损坏，同时消除机器人手臂采取片状相的必要性加油站。构成：收据单元包括具有用于保持片状相气体的保持表面的主体部分（10），布置在主体（10）的保持表面的端部处的壁部分（11B，11C，11D）端部的两端，并且防止片状相气体移动到三个端部;注入部分，用于将供应的气体注入到主体部分（10）的保持表面上，以便允许片状相气体在主体部分（10）的保持表面从保持表面浮起;以及出口部分，用于将由注射部分浮起的片状相气体推向保持表面的另一端。

3. 发明公开

KR1020010066884A 부상 반송 장치 失效
标题翻译：浮动载体装置
公开(公告)号：KR1020010066884A
公开(公告)日：2001-07-11
申请号：KR1020000036146
申请日：2000-06-28
申请人： 가부시키가이샤 와타나베 쇼코 , 가부시키가이샤 와코무 덴소
发明人： 야가이,미치오 , 쯔지무라,마사유키 , 토다,마사유키 , 쿠즈하라,마사키
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： B65G49/065 , B65G49/061
摘要： PURPOSE: To provide a floating carrier device capable of eliminating influence of the shape and weight of a planar substrate and quickly center aligning the planar substrate. CONSTITUTION: This device is provided with a planar carrier surface (upper surface). The device is provided with a base part for delivering a planar substrate along this carrier surface, a first jetting means floating the planar substrate from the carrier surface and moving the floated planar substrate along the carrier surface and a second jetting means (2F1 to 2H1, 2F2 to 2H2) jetting gas to keep the planar substrate floated by the first jetting means at a center position I2 of the carrier surface.
摘要翻译：目的：提供一种浮动载体装置，能够消除平面基板的形状和重量的影响，并快速对准平面基板。构成：该装置具有平面载体表面（上表面）。该装置设置有用于沿着该载体表面传送平面基板的基座部分，将第一喷射装置从载体表面上浮起平面基板并沿着载体表面移动浮动的平面基板;以及第二喷射装置（2F1至2H1， 2F2至2H2）喷射气体，以将平面基板保持在载体表面的中心位置I2处由第一喷射装置浮起。

4. 发明授权

KR100716025B1 판상 기체의 수납유닛 및 수납장치 失效
标题翻译：板式基板的存储单元和存储装置
公开(公告)号：KR100716025B1
公开(公告)日：2007-05-08
申请号：KR1019990052773
申请日：1999-11-25
申请人： 가부시키가이샤 와코무 덴소 , 가부시키가이샤 와타나베 쇼코
发明人： 야가이,미치오 , 우메다,마사루 , 쯔지무라,마사유키 , 토다,마사유키 , 쿠스하라,마사키
IPC分类号： B65D85/48
CPC分类号： B65G49/062 , B65G49/068 , B65G49/069
摘要： 본 발명은 판상기체의 수납유닛 및 수납장치에 관한 것으로서, 판상기체를 두기 위한 유지면을 구비한 본체부와, 상기 유지면의 일단 및 이 일단의 양측단에 설치됨과 동시에 판상기체가 상기 3개의 단으로 이동하는 것을 막는 벽부와, 상기 유지면에 놓여져 있는 판상기체를 상기 유지면으로 부상시키기 위해 공급된 기체를 상기 유지면에서 분출하는 부상용 분출부와, 상기 부상용 분출부에 의해 부상되어 있는 판상기체를 상기 유지면의 타단을 향해서 밀어내는 배출부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

5. 发明授权

KR100630895B1 기류반송장치 失效
标题翻译： AIR STREAM TRANSFER APPARATUS
公开(公告)号：KR100630895B1
公开(公告)日：2006-10-02
申请号：KR1019997009880
申请日：1998-04-24
申请人： 가부시키가이샤 와타나베 쇼코 , 가부시키 가이샤 토무코
发明人： 야가이,미치오 , 도다,마사유키 , 우메다,마사루
IPC分类号： B65G49/07
摘要： 본 발명은 반송로내의 파티클이 피처리물에 부착되는 것을 방지할 수 있고, 파티클 집진 제거를 할 수 있는 기류반송장치를 제공하는 것이다.
반송로를 형성하는 오염물 제거 대상면인 반송면 및 반송로격벽을 표면에 얇은 절연층을 생성시킨 도전성 재료로 만들고, 피처리물과 대면하는 위치에 면상(狀)의 집진전극을 설치하며, 기류를 분사하면서 집진전극과 오염물 제거 대상면을 근접시키기 위한 수단을 설치하며, 그리고 반송면과 집진전극 사이 및 반송로격벽과 집진전극 사이에 전압을 인가하기 위한 수단을 설치하는 것을 특징으로 한다. 또 다른 기류 반송장치에 있어서는, 반송로를 형성하는 오염물 제거 대상면인 반송면 및 반송로격벽을 표면에 얇은 절연층을 생성시킨 도전성 재료로 만들고, 미리 대전시킨 반도전성 판상체를 상기의 반송로 위에 부상 반송시키기 위한 수단을 설치하며 이 반도체성 판상체를 집진전극으로 하는 것을 특징으로 한다.

6. 发明公开

KR1020010099587A 기판의 이송장치 및 그 조작방법 失效
标题翻译：基板传送装置及其操作方法
公开(公告)号：KR1020010099587A
公开(公告)日：2001-11-09
申请号：KR1020017000284
申请日：1999-06-29
申请人： 가부시키가이샤 와타나베 쇼코 , 도다 마사유키
发明人： 도다,마사유키 , 쿠수하라,마사키 , 우메다,마사루 , 야가이,미치오
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 본 발명은, 얇은 시트상의 기판을 카세트에 반입하고 반출시에 기판과 직접 접촉하는 이동수단을 사용하지 않고, 공기 베어링 반송핸드를 사용하여 기판을 카세트에 넣고 꺼내는 것이 가능한 기판 이송장치 및 그 조작방법을 제공한다.
본 발명에 관련한 기판 이송장치는, 해당 기판을 수납하는 카세트에 반입하고 반출시에 이송장치가 얇은 시트상의 기판을 상기 기판의 안쪽면과 마주보는 반송면에 기판의 부상 또는 착지, 기판의 포착 또는 발사, 그리고 기체를 기판의 중앙을 향해서 분사하는 기능을 갖춘 기체 분사구를 각각 복수개 가지는 공기 베어링 반송용 핸드와, 상기 카세트를 장착하고 해당 카세트를 상기 공기 베어링 반송핸드에 대해 수평 전후진시키는 수단을 갖춘 카세트 받침대와, 해당 카세트 받침대를 소정의 핀치로 승강하는 수단을 일체 구성화한 카세트 재치대로 구성된 것을 특징으로 한다.

7. 发明授权

KR100579716B1 기판의 이송장치 및 그 조작방법 失效
标题翻译：基体转移装置及其操作方法
公开(公告)号：KR100579716B1
公开(公告)日：2006-05-15
申请号：KR1020017000284
申请日：1999-06-29
申请人： 가부시키가이샤 와타나베 쇼코 , 도다 마사유키
发明人： 도다,마사유키 , 쿠수하라,마사키 , 우메다,마사루 , 야가이,미치오
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 본 발명은, 얇은 시트상의 기판을 카세트에 반입하고 반출시에 기판과 직접 접촉하는 이동수단을 사용하지 않고, 공기 베어링 반송핸드를 사용하여 기판을 카세트에 넣고 꺼내는 것이 가능한 기판 이송장치 및 그 조작방법을 제공한다.
본 발명에 관련한 기판 이송장치는, 해당 기판을 수납하는 카세트에 반입하고 반출시에 이송장치가 얇은 시트상의 기판을 상기 기판의 안쪽면과 마주보는 반송면에 기판의 부상 또는 착지, 기판의 포착 또는 발사, 그리고 기체를 기판의 중앙을 향해서 분사하는 기능을 갖춘 기체 분사구를 각각 복수개 가지는 공기 베어링 반송용 핸드와, 상기 카세트를 장착하고 해당 카세트를 상기 공기 베어링 반송핸드에 대해 수평 전후진시키는 수단을 갖춘 카세트 받침대와, 해당 카세트 받침대를 소정의 핀치로 승강하는 수단을 일체 구성화한 카세트 재치대로 구성된 것을 특징으로 한다.

8. 发明公开

KR1020010020278A 기류반송장치 失效
标题翻译：气流输送装置
公开(公告)号：KR1020010020278A
公开(公告)日：2001-03-15
申请号：KR1019997009880
申请日：1998-04-24
申请人： 가부시키가이샤 와타나베 쇼코 , 가부시키 가이샤 토무코
发明人： 야가이,미치오 , 도다,마사유키 , 우메다,마사루
IPC分类号： B65G49/07
摘要： 본 발명은 반송로내의 파티클이 피처리물에 부착되는 것을 방지할 수 있고, 파티클 집진 제거를 할 수 있는 기류반송장치를 제공하는 것이다.
반송로를 형성하는 오염물 제거 대상면인 반송면 및 반송로격벽을 표면에 얇은 절연층을 생성시킨 도전성 재료로 만들고, 피처리물과 대면하는 위치에 면상(狀)의 집진전극을 설치하며, 기류를 분사하면서 집진전극과 오염물 제거 대상면을 근접시키기 위한 수단을 설치하며, 그리고 반송면과 집진전극 사이 및 반송로격벽과 집진전극 사이에 전압을 인가하기 위한 수단을 설치하는 것을 특징으로 한다. 또 다른 기류 반송장치에 있어서는, 반송로를 형성하는 오염물 제거 대상면인 반송면 및 반송로격벽을 표면에 얇은 절연층을 생성시킨 도전성 재료로 만들고, 미리 대전시킨 반도전성 판상체를 상기의 반송로 위에 부상 반송시키기 위한 수단을 설치하며 이 반도체성 판상체를 집진전극으로 하는 것을 특징으로 한다.

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