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    • 检查装置
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    • (과제) 검사대상의표면의요철의상태를고콘트라스트로검사할수 있는검사장치를제공한다. (해결수단) 검사장치는, 하전입자또는전자파를빔으로서발생시키는빔 발생수단과, 검사대상에빔을조사하는 1차광학계와, 검사대상으로부터발생한 2차하전입자를검출하는 2차광학계와, 검출된 2차하전입자에기초하여화상을형성하는화상처리계를구비한다. 빔의조사에너지는, 빔의조사에의해검사대상으로부터 2차하전입자로서미러전자가방출되는에너지영역에설정된다. 2차광학계는, 2차하전입자를검출하기위한카메라와, 광축방향을따라서위치를조정가능한뉴메리컬애퍼처와, 뉴메리컬애퍼처를통과한 2차하전입자를카메라의상면(像面)에결상시키는렌즈를구비한다. 화상처리계에서는, 뉴메리컬애퍼처의위치를물면(物面)으로하여촬상을행하는애퍼처결상조건에서화상이형성된다.
    • 提供一种检查装置,其能够检查具有高对比度的检查对象的表面中的不规则性。 该检查装置包括:生成作为光束的带电粒子或电磁波的光束产生装置,用该光束照射检查对象的主光学系统,检测从检查对象发生的二次带电粒子的二次光学系统,以及图像 处理系统,其基于检测到的二次带电粒子形成图像。 光束的照射能量由于束照射而被设定在能够从镜像电子发射的能量区域作为来自检查对象物的二次带电粒子。 二次光学系统包括用于检测二次带电粒子的相机,其位置沿着光轴方向可调节的数值孔径,以及形成通过图像表面上的数值孔径的二次带电粒子的图像的透镜 的相机。 在图像处理系统中,图像形成在孔径成像条件下,其中数值孔径的位置位于物体表面上以获取图像。