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1. 发明授权

KR101890540B1 수정 진동자의 교환 방법 및 막후 모니터 有权
公开(公告)号：KR101890540B1
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：KR1020177000979
申请日：2015-07-21
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 이토,아츠시 , 엔도,지로
IPC分类号： G01B17/02 , C23C14/54 , C23C14/24 , G01N5/02
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/54 , G01B17/02 , G01N5/02
摘要： [과제] 수정진동자의적정한수명판정을실시할수 있는막후센서의진단방법및 막후모니터를제공한다. [해결수단] 본발명의한 형태와관련되는막후센서의진단방법은, 수정진동자(20)를가지는막후센서(14)의진단방법이며, 센서헤드에장착된수정진동자(20)를발진시켜, 수정진동자(20)의발진주파수의변화율의변동폭을측정해, 상기변동폭이소정치를넘을때는, 수정진동자(20)를사용할수 없다고판정한다.

2. 发明公开

KR1020170018418A 막후 센서의 진단 방법 및 막후 모니터 审中-实审
标题翻译：用于薄膜厚度传感器和薄膜厚度监测器的诊断方法
公开(公告)号：KR1020170018418A
公开(公告)日：2017-02-17
申请号：KR1020177000979
申请日：2015-07-21
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 이토,아츠시 , 엔도,지로
IPC分类号： G01B17/02 , C23C14/54 , C23C14/24 , G01N5/02
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/54 , G01B17/02 , G01N5/02
摘要： [과제] 수정진동자의적정한수명판정을실시할수 있는막후센서의진단방법및 막후모니터를제공한다. [해결수단] 본발명의한 형태와관련되는막후센서의진단방법은, 수정진동자(20)를가지는막후센서(14)의진단방법이며, 센서헤드에장착된수정진동자(20)를발진시켜, 수정진동자(20)의발진주파수의변화율의변동폭을측정해, 상기변동폭이소정치를넘을때는, 수정진동자(20)를사용할수 없다고판정한다.
摘要翻译：为了提供一种薄膜厚度传感器的诊断方法，所述诊断方法使得可以正确地确定晶体振荡器的使用寿命，并提供膜厚监视器。 [解决方案]根据本发明的一个实施例，膜厚度传感器的诊断方法是具有晶体振荡器（20）的膜厚度传感器（14）的诊断方法。在该方法中，安装在传感器头上的晶体振荡器（20）振荡，测量晶体振荡器（20）的振荡频率的变化率的变动范围，当波动范围超过预定值时，确定晶体振荡器（20）不能使用。

3. 发明公开

KR1020160147009A 막후 제어 장치, 막후 제어 방법 및 성막 장치 审中-实审
标题翻译：薄膜厚度控制装置薄膜厚度控制方法和薄膜形成装置
公开(公告)号：KR1020160147009A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：KR1020167033200
申请日：2015-07-10
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 코바야시,요시카즈 , 이토,아츠시 , 엔도,지로
IPC分类号： C23C14/54 , G01B17/02
CPC分类号： C23C14/52 , G01B17/02 , C23C14/542 , C23C14/546 , G01B17/025
摘要： [과제] 이상치를원인으로하는증착원으로의과잉피드백제어를억제할수 있는막후제어장치, 막후제어방법및 성막장치를제공한다. [해결수단] 본발명의일 형태에따른막후제어장치는, 증착원을가지는성막장치에설치된진동자의발진주파수에근거해성막레이트를측정하고, 측정된상기성막레이트에근거해상기증착원을제어하는막후제어장치에있어서, 레이트산출부(431)와, 제1 필터부(432)와, 제2 필터부(433)를구비한다. 레이트산출부(431)는, 진동자의발진주파수에근거해, 단위시간마다의레이트환산치를산출한다. 제1 필터부(중앙치연산부(432))는, 레이트산출부(431)로부터출력되는레이트환산치로부터이상치를제거(중앙치를산출)하도록구성된다. 제2 필터부(평활화처리부(433))는, 상기제1 필터부로부터출력되는레이트환산치를평활화하도록구성된다.
摘要翻译： [问题]提供一种膜厚控制装置，膜厚控制方法和成膜装置，可以抑制由异常值引起的对蒸镀源的过度反馈控制。 [解决方案]根据本发明的实施方式的膜厚控制装置是根据设置在包括气相沉积源的成膜装置中的振荡器的振荡频率来测量成膜速度的膜厚控制装置，并且根据被测量的成膜速度来控制气相沉积源，所述膜厚控制装置包括速率计算单元（431），第一过滤器单元（432）和第二过滤器单元（433）。速率计算单元（431）基于振荡器的振荡频率计算每单位时间的速率转换值。第一滤波器单元（中值计算单元432）被配置为从速率计算单元（431）输出的速率转换值中除去异常值（以计算中值）。第二滤波器单元（平滑单元（433））被配置为平滑从第一滤波器单元输出的速率转换值。

4. 发明授权

KR102035143B1 막 두께 제어 장치, 막 두께 제어 방법 및 성막 장치 有权
公开(公告)号：KR102035143B1
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：KR1020167033200
申请日：2015-07-10
申请人： 가부시키가이샤 아루박
发明人： 코바야시,요시카즈 , 이토,아츠시 , 엔도,지로
IPC分类号： C23C14/54 , G01B17/02

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