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1. 发明授权

KR100909700B1 탐침위치 제어장치 및 방법 有权
标题翻译： 탐침위치제어장치및방법
公开(公告)号：KR100909700B1
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：KR1020070050792
申请日：2007-05-25
申请人： 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼 , 고꾸리쯔 다이가꾸 호우징 오사까 다이가꾸
发明人： 아베마사유키 , 오타마사히로 , 스기모토요시아키 , 모리타겐이치 , 오야부노리아키 , 모리타세조 , 오스카쿠스탄스
IPC分类号： G01B21/30 , G01N13/10 , H01J37/00 , G12B21/00
CPC分类号： G01Q30/06 , G01Q70/04
摘要： 본 발명은, 열 드리프트 등의 영향을 배제하고, 관찰 또는 조작 동안에 시료와 프로브의 상대위치가 열 등에 의하여 변화하는 것을 보정하는 기술을 이용함으로써, 주사형 프로브 현미경(SPM)이나 원자 매니퓰레이터(조작) 장치에 있어서, 보다 정확한 관찰 또는 조작을 가능하게 하는 기술을 제공한다.
시료표면의 원자레벨의 이미지를 얻기 위하여, 또는, 시료표면의 원자에 대하여 소정의 조작을 행하기 위하여, 본 발명은, 시료표면의 원자와 탐침의 선단 사이의 상호작용을 측정하면서, 탐침과 시료의 상대위치를 제어하는 탐침위치 제어방법에 적용될 수 있다. 본 방법에 있어서, 시료표면에 평행한 두 방향으로 각각 주파수 f
1 , f
2 로 탐침과 시료를 상대적으로 진동시키면서, 탐침과 시료를 상대적으로 이동시킨다(스텝 S1a). 한편, 시료표면에 수직인 방향의 상호작용 측정치에 상기 주파수성분 f
1 , f
2 가 나타나지 않는 점(특징점)을 검출한다(스텝 S1b). 그 후, 그 측정된 측정치가 유지되도록 탐침과 시료의 상대이동이 제어됨(특징점을 추적함, S1c)으로써, 상기 상대이동의 속도를 검출한다(스텝 S1d). 이어서, 검출된 속도를 이용하여, 상기 상대위치의 제어를 보정한다(스텝 S2).
탐침, 상대위치, 속도, 특징점, 주파수, 현미경, 원자조작, 드리프트
摘要翻译：本发明提供了一种消除热漂移和其他变化的影响并通过使用该技术来改善扫描探针显微镜或原子操纵器的观察或操纵准确度的技术，以校正上述探针相对位置的变化和样品在观察或操作过程中由于热量或其他因素。为了在原子水平上获得样品表面的图像或者对样品表面上的原子执行特定操作，本发明可以应用于用于在测量时控制探头和样品的相对位置的探头位置控制方法样品表面上的目标原子与探针尖端之间的相互作用。在本方法中，探针和样品的相对位置在探针相对于样品在平行于样品表面的两个方向上以f1和f2的频率（S1a）振荡时发生改变。同时，检测频率f1和f2从垂直于样品表面的方向上的相互作用的测量值消失的点（或特征点）（S1b）。然后，控制探头和样品的相对运动，以便保持由此检测到的测量值（即跟踪特征点; S1c），并确定上述相对运动的速度（S1d）。随后，使用检测到的速度来校正相对位置控制（S2）。

2. 发明公开

KR1020070114033A 탐침위치 제어장치 및 방법 有权
标题翻译：探测位置控制系统及方法
公开(公告)号：KR1020070114033A
公开(公告)日：2007-11-29
申请号：KR1020070050792
申请日：2007-05-25
申请人： 가부시키가이샤 시마쓰세사쿠쇼 , 고꾸리쯔 다이가꾸 호우징 오사까 다이가꾸
发明人： 아베마사유키 , 오타마사히로 , 스기모토요시아키 , 모리타겐이치 , 오야부노리아키 , 모리타세조 , 오스카쿠스탄스
IPC分类号： G01B21/30 , G01N13/10 , H01J37/00 , G12B21/00
CPC分类号： G01Q30/06 , G01Q70/04
摘要： An apparatus and method for controlling a position of a probe are provided to enable more precise observation and manipulation of a work piece by calibrating a relative position of the work piece and the probe. An apparatus for controlling a position of a probe comprises a measuring member measuring interaction between the surface of a work piece and a region perpendicular to the surface, an oscillating member which oscillates the work piece and the probe at respective frequencies(f1,f2), a tracing member, a speed detecting member, and a calibrating member. The tracing member moves the probe relative to the work piece to detect a point at which the frequencies do not exist. The speed detecting member detects a relative speed based on the relative movement obtained by the tracing member. The calibrating member calibrates the relative position of the probe and the work piece using the speed.
摘要翻译：提供一种用于控制探头位置的装置和方法，以通过校准工件和探头的相对位置来更精确地观察和操纵工件。用于控制探头位置的装置包括：测量构件，其测量工件的表面与垂直于所述表面的区域之间的相互作用;摆动构件，其以相应的频率（f1，f2）摆动所述工件和探头，跟踪构件，速度检测构件和校准构件。跟踪构件使探针相对于工件移动，以检测频率不存在的点。速度检测构件基于由跟踪构件获得的相对运动来检测相对速度。校准部件使用速度校准探针和工件的相对位置。

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