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2. 发明公开

KR1020160034796A 건조 장치, 도공막 형성 장치, 및 건조 방법 无效
标题翻译：干燥装置，涂膜成型装置和干燥方法
公开(公告)号：KR1020160034796A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：KR1020150099018
申请日：2015-07-13
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 구가이히데아키 , 야마고시준이치
IPC分类号： F26B17/02 , F26B21/02 , F26B3/06 , F26B21/10 , H01M4/04
摘要： 온도계의필요수를억제하면서, 건조로내의온도가목표온도에도달했는지어떤지를정밀도있게판단할수 있는건조장치, 도공막형성장치, 및건조방법을제공한다. 이건조장치는, 건조로(50)의내부에열풍을공급하는열풍공급기구(60, 70)와, 건조로(50)의내부로부터기체를배출하는배기기구(80, 90)를구비하고있다. 또, 배기기구(80, 90)는, 건조로(50) 내에설치된복수의배기구(33, 34)로부터건조로(50)의외부를향해연장되는배기배관(81, 91)과, 배기배관(81, 91) 내의기체의온도를계측하는배기온도계(83, 93)를가진다. 이때문에, 배기온도계(83, 93)의계측치에의거하여, 건조로(50) 내의온도가목표온도에도달했는지어떤지를정밀도있게판단할수 있다. 건조처리를개시할때에는, 배기온도계(83, 93)의계측치가미리정해진기준치에도달한후에, 기재(9)의반송을개시시킨다. 이것에의해, 기재(9)의건조불량을저감할수 있다.
摘要翻译：本发明提供了一种干燥装置，涂膜形成装置和干燥方法，其能够精确地确定干燥炉中的温度是否达到目标温度，同时限制温度计中所需的水。干燥装置包括：向干燥炉（50）供给热空气的热风供给装置（60,70）; 以及从干燥炉（50）的内部排出空气的排气装置（80,90）。排气装置（80,90）包括：排出管（81,91），其从安装在干燥炉（50）的多个排气管（33,34）延伸到干燥炉（50）的外部; 以及测量排气管（81,91）中的气体温度的排气温度计（83,93）。根据排气温度计（83,93）的测量值，干燥装置可以精确地确定干燥炉（50）中的温度是否达到目标温度。为了开始干燥处理，在排气温度计（83,93）的测定值达到规定的基准值后，转移基材（9）。因此，干燥装置可以减少基材（9）的干燥失败。

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