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    • 4. 发明公开
    • 방무 소자 및 그 형성 방법
    • 以及用于形成其的方法
    • KR1020030023853A
    • 2003-03-20
    • KR1020027010010
    • 2001-06-11
    • 가부시키가이샤 무라카미 가이메이도
    • 고바야시마사끼구즈야노리히꼬
    • C03C17/34
    • 기재 표면에 광촉매 반응 물질막이 형성되고, 그 위에 친수성 물질막이 다공질로 형성되어 있는 방무 소자 및 그 형성 방법에서, 상기 광촉매 반응 물질막의 재료로서 수산화 티탄겔 (오르토티탄산) 에 과산화 수소를 작용시켜 얻어지는 과산화 티탄용액을 사용한다. 과산화 티탄용액을 사용하여 광촉매 반응 물질막을 형성함으로써, 예컨대 200℃ 와 같은 낮은 처리 온도에서 아나타스형 산화 티탄막을 얻을 수 있어 상기 방무 소자의 제작시에 유리 기재중의 알칼리 성분이 광촉매 반응 물질막중에 잘 확산되지 않고, 기재에 소다라임 유리를 사용한 경우에도 알칼리 확산 방지막을 필요로 하지 않고 알칼리 확산 방지막을 형성하지 않고도 광촉매성이 손상되지 않는다. 또, 저온 처리때문에 반사막이 잘 산화되지 않아 반사율이 손상되지 않는다. 또한, 낮은 처리 온도이기 때문에 에너지의 절약, 탁트단축이 되어 비용절감이 가능하다.