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1. 发明公开

KR1020170107898A 블랭킹 플레이트의 검사 방법 审中-实审
标题翻译：冲裁板的检查方法
公开(公告)号：KR1020170107898A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：KR1020170024619
申请日：2017-02-24
申请人： 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지
发明人： 우에바료스케
IPC分类号： G03F7/20 , G03F1/84
CPC分类号： G06T7/0004 , G03F7/40 , G06K9/6202 , G06T7/001 , G06T2207/30148 , H01J37/00
摘要： 본실시형태에의한블랭킹플레이트의검사방법은복수의구멍이형성된성형애퍼쳐어레이를하전입자빔이통과함으로써복수의빔을생성하는공정과, 블랭킹플레이트에배치된복수의블랭커를사용하여, 상기복수의빔 중, 각각대응하는빔의블랭킹편향을행하는공정과, 상기복수의블랭커로편향되지않은빔이기판에조사되는제1 묘화모드를사용하여, 상기기판상에제1 검사패턴을묘화하는공정과, 상기복수의블랭커로편향된빔이기판에조사되는제2 묘화모드를사용하여, 상기기판상에제2 검사패턴을묘화하는공정과, 상기기판상에형성된상기제1 검사패턴및 상기제2 검사패턴의패턴상을취득하는공정과, 취득한패턴상을비교하여결함을판정하는공정을구비한다.
摘要翻译：根据本实施例检查的消隐板的方法，通过模制孔径阵列，形成在带电粒子束的多个孔穿过生成多个光束的步骤，使用多个布置在所述盲板消隐的方法，其中多个光束，并且光束的未通过执行消隐偏转光束偏转步骤中，阻断器，所述多个对应，分别使用第一成像模式被照射在基片上，使基片上的第一测试图案该方法包括以下步骤：使用第二成像模式在基板上绘制第二检查图案，在该第二成像模式中，将由多个消隐器偏转的光束照射到基板上; 获得第二检查图案的图案图像的步骤以及通过比较获得的图案图像来确定缺陷的步骤。

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