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1. 发明授权

KR100990165B1 웨이퍼 정렬장치 失效
标题翻译：对准晶圆单元
公开(公告)号：KR100990165B1
公开(公告)日：2010-10-29
申请号：KR1020080047879
申请日：2008-05-23
申请人： (주)티이에스
发明人： 조보형 , 이현오 , 김병조
IPC分类号： H01L21/68
摘要： 본 발명은 웨이퍼 정렬장치에 관한 것으로서, 일측에 플랫존이 형성된 복수개의 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 정렬장치에 있어서, 본체와, 상기 본체에 설치되고, 복수개의 웨이퍼가 수납된 카세트 하부의 각 모서리부근을 지지하는 카세트 가이드와, 상기 본체 일측에 회전가능하게 설치되고, 외주면에는 상기 웨이퍼가 세로방향으로 삽입되는 삽입홈이 복수개 형성되는 정렬롤러와, 상기 정렬롤러의 일단부에 결합되고, 상기 정렬롤러에 회전력을 제공하는 롤러구동부와, 상기 롤러구동부의 측방에 설치되고, 상기 정렬롤러에 의해 회전하는 상기 웨이퍼의 플랫존을 감지하여 플랫존 감지신호를 발생하는 플랫존 감지센서 및 상기 롤러구동부의 다른쪽 측방에 설치되고, 상기 플랫존 감지센서로부터 상기 플랫존 감지신호를 수신받는 경우 상기 웨이퍼의 일측을 상부로 이동시킴으로써 상기 웨이퍼의 하단부를 상기 삽입홈으로부터 이탈시키는 웨이퍼 푸쉬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬장치을 제공함에 있다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 플랫존 감지센서를 사용하여 웨이퍼의 플랫존이 감지하면, 웨이퍼 푸쉬부에서 플랫존이 감지된 웨이퍼를 상방으로 이동시켜 정렬롤러로부터 이탈시킴으로써 복수개의 웨이퍼를 개별로 정렬하여 웨이퍼의 정렬효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
웨이퍼, 카세트, 정렬, 슬립

2. 发明授权

KR100943666B1 광학 문자 판독기능을 갖는 로드 포트 失效
标题翻译：具有光学字符读取功能的负载端口
公开(公告)号：KR100943666B1
公开(公告)日：2010-02-22
申请号：KR1020070115584
申请日：2007-11-13
申请人： (주)티이에스
发明人： 조보형 , 이현오 , 김병조
IPC分类号： H01L21/00
摘要： 본 발명은 상면에 포트 플레이트가 형성된 본체부, 상기 포트 플레이트의 중앙에 설치되어 레티클이 수용된 파드가 장착되는 스테이지, 상기 본체부의 내부 상측에 상기 본체부 또는 스테이지의 승강시 간섭되지 않는 위치에 설치되고, 상기 레티클에 표기된 식별정보를 판독하는 광학 문자 판독부 및 상기 본체부와 상기 광학 문자 판독부 사이에 설치되고, 레티클 식별정보 판독 동작 시 상기 광학 문자 판독부를 식별정보 판독 위치로 이동시키고 식별정보 판독 후에는 상기 광학 문자 판독부를 원위치로 복귀시키는 이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 문자 판독기능을 갖는 로드 포트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 로드 포트 내에 광학 문자 판독부를 구비함으로써 반송대상 레티클(또는 마스크)에 기록된 식별정보를 하여 레티클의 공정 이력 관리를 자동화할 수 있는 효과가 있다.
로드포트, SMIF, 레티클, 마스크, 광학문자판독, OCR.

3. 发明公开

KR1020090121799A 웨이퍼 정렬장치 失效
标题翻译：滚轮定位单元
公开(公告)号：KR1020090121799A
公开(公告)日：2009-11-26
申请号：KR1020080047879
申请日：2008-05-23
申请人： (주)티이에스
发明人： 조보형 , 이현오 , 김병조
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67265 , H01L2223/54426 , Y10S414/136
摘要： PURPOSE: A wafer alignment apparatus is provided to prevent a wafer alignment error by inserting the wafer into an insertion groove along an incline of the insertion groove. CONSTITUTION: A wafer alignment apparatus includes a body(10), a cassette guide(20), an alignment roller(40), a roller driver, a flat zone sensor(60), and a wafer pusher(70). The cassette guide is installed in the body. The cassette guide supports each edge of the lower part of the cassette receiving the wafers. The alignment roller is pivotally installed in one side of the body. A plurality of insertion grooves to which the wafer is inserted are formed in an outer surface of the alignment roller. The roller driver is combined in one side of the alignment roller and provides the rotation force to the alignment roller. The flat zone sensor is installed in a side of the roller driver and generates a flat zone sensing signal by sensing the flat zone of the wafer rotated by the alignment roller. The wafer pusher is installed in the other side of the roller driver. The wafer pusher separates the bottom part of the wafer from the insertion groove by moving the one side of the wafer to the upper side when receiving the flat zone sensing signal from the flat zone sensor.
摘要翻译：目的：提供一种晶片对准装置，通过将晶片沿着插入槽的斜面插入插入槽中以防止晶片对准误差。构成：晶片对准装置包括主体（10），盒引导件（20），对准辊（40），辊驱动器，平面区传感器（60）和晶片推动器（70）。盒式导轨安装在机身中。盒导向器支撑接收晶片的盒的下部的每个边缘。对准辊枢转地安装在主体的一侧。在对准辊的外表面上形成有插入晶片的多个插入槽。滚子驱动器组合在对准辊的一侧，并向对准辊提供旋转力。平面传感器安装在滚子驱动器的一侧，并通过感测由对准辊旋转的晶片的平坦区域产生平坦区域感测信号。晶片推动器安装在滚子驱动器的另一侧。当从平坦区域传感器接收平坦区域感测信号时，晶片推动器将晶片的底部与插入槽分离，将晶片的一侧移动到上侧。

4. 发明授权

KR100928479B1 ＳＭＩＦ 로더 장치 失效
标题翻译： SMIF로더장치
公开(公告)号：KR100928479B1
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：KR1020070124954
申请日：2007-12-04
申请人： (주)티이에스
发明人： 조보형 , 이현오 , 김병조
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/02
摘要： 본 발명은 SMIF 로더장치에 관한 것으로서, 상면에 파드가 장착되는 본체부와, 상기 본체부에 장착된 파드 커버를 상기 파드 본체로부터 착탈시키는 스테이지부 및 상기 스테이지부에 의해 탈거된 상기 파드 커버에 수납된 반도체 자재를 파지하는 그립부를 포함하는 SMIF 로더장치에 있어서, 상기 그립부는, 상기 본체부에 설치되는 그립부 본체와; 상기 그립부 본체에 수평이동가능하게 설치되는 그립암 본체와, 상기 그립암 본체의 일측에 설치되는 모터와 상기 모터에 풀리결합되어 회전하는 벨트와 상기 벨트에 일단이 취부되어 상기 파지된 반도체 자재를 반전하는 플립암을 포함하는 그립암을 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 반도체 자재를 반전할 수 있는 플립 기능이 구비되어 작업시간을 단축시키고, 작업 효율성을 향상시키는 효과가 있다.
파드, 착탈, 스테이지, 그립, 플립
摘要翻译：提供SMIF加载装置以通过准备翻转半导体材料的翻转功能来减少工作时间。主体构件（1-1）由主板（110）和端口板（120）构成。拉出导轨（111a）和端口板运输单元安装在主板内部。安装夹持器（1-3），用于夹持安装在盒盖内端口板内的面罩（M）。平台部分（1-2）将吊舱盖从安置在顶部开口中的吊舱主体上拆下。舞台上安装了三个传感器。驱动单元旋转台架支撑单元。

5. 发明授权

KR100928478B1 반도체 제조 라인의 파드 저장장치 失效
标题翻译：半导体生产线的焊盘存储设备
公开(公告)号：KR100928478B1
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：KR1020070116502
申请日：2007-11-15
申请人： (주)티이에스
发明人： 조보형 , 이현오 , 김병조
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 발명은 반도체 제조라인의 파드 저장장치에 관한 것으로서, 마스크가 수납된 파드 운반박스로부터 마스크를 반출하여 파드에 장착하는 파드 교환 유닛, 내부에 복수 개의 선반이 설치되어 상기 선반에 반출 또는 반입 대상 파드가 임시 저장되는 반출입 포트 유닛, 상기 파드 교환유닛에 의해 마스크가 장착된 파드를 저장하는 파드 저장 유닛, 상기 파드 저장 유닛 내에 설치되어 상기 파드의 반입, 반출 및 저장처리를 수행하는 이송 로봇 및 상기 파드 저장 유닛으로부터 배출되는 공기를 여과시켜 상기 파드 교환 유닛 및 파드 저장 유닛으로 재공급하는 공조 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 마스크 운반박스의 개방, 크롬면 감지, 파드 장착, 파드 저장 등의 각 공정을 자동화함으로써 생산성을 현저하게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
반도체, 자재, 마스크, 레티클, 저장, 파드, SMIF.
摘要翻译：本发明涉及一种半导体制造线的PAS存储装置，它是屏蔽掉从携带箱的存储PAS掩模安装PAS交换单元，多个搁板在其中用于安装导出或导入到架子目标PAS的PAS 安装在垫存储单元中用于执行垫的进入，运出和存储处理的传送机器人以及用于将垫传送到传送机器人的传送机器人，以及空调单元，用于过滤从存储单元排出的空气并将过滤后的空气供应到垫交换单元和垫存储单元。

6. 发明公开

KR1020090058260A ＳＭＩＦ 로더 장치 失效
标题翻译： SMIF的装载机
公开(公告)号：KR1020090058260A
公开(公告)日：2009-06-09
申请号：KR1020070124954
申请日：2007-12-04
申请人： (주)티이에스
发明人： 조보형 , 이현오 , 김병조
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/67379 , H01L21/6773 , H01L21/67775 , Y10S414/14
摘要： A SMIF loading device is provided to reduce the working time by preparing a flip function of inverting a semiconductor material. A main body member(1-1) is comprised of a main plate(110) and a port plate(120). A pullout rail(111a) and port plate transport unit are installed inside the main plate. The gripper(1-3) griping the mask(M) loaded inside the port plate in the pod cover is installed. A stage part(1-2) detaches the pod cover from the pod main body settled in the top opening. Three sensors are installed at the stage. A driving unit rotates the stage supporting unit.
摘要翻译：提供SMIF加载装置，通过制备反转半导体材料的翻转功能来减少工作时间。主体构件（1-1）由主板（110）和端口板（120）组成。主板内部安装有拉出导轨（111a）和端口板输送单元。安装装载在舱盖中的端口板内的面罩（M）的夹具（1-3）。平台部分（1-2）将荚盖从安置在顶部开口中的荚主体分离。三个传感器安装在舞台上。驱动单元旋转平台支撑单元。

7. 发明授权

KR101014343B1 마스크 반송용 로드포트 有权
标题翻译：用于传送面罩的Loadport
公开(公告)号：KR101014343B1
公开(公告)日：2011-02-15
申请号：KR1020080037510
申请日：2008-04-23
申请人： (주)티이에스
发明人： 조보형 , 이현오 , 김병조
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/66 , H01L21/027
摘要： 본 발명은 본체부, 포트 플레이트, 스테이지부, 수직 이송부를 포함하여 구성되는 마스크 반송용 로드포트에 있어서, 상기 포트 플레이트의 내부 설치되고 상기 분리된 파드 커버 상에 마스크가 장착되었는지 여부를 감지하는 마스크 감지센서, 상기 포트 플레이트의 내부에 설치되고 상기 마스크의 크롬면에 부착된 펠리클을 감지하는 펠리클 감지센서, 상기 마스크 감지센서 및 펠리클 감지센서로부터 수신된 감지신호에 기초하여 마스크의 장착 여부 및 상기 크롬면의 위치를 판단하고, 후단 공정의 공정 정보에 기초하여 마스크의 상하 반전이 필요한 경우 플립 구동신호를 생성하는 제어부 및 상기 포트 플레이트의 내부에 설치되고 상기 제어부로부터 플립 구동신호를 수신하는 경우 상기 마스크를 상하반전시키는 마스크 플립부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 파드에 장착된 마스크의 크롬면에 부착된 펠리클의 위치를 감지하여 마스크가 정상 방향으로 장착되었는지 여부를 판단함과 아울러 반대방향으로 장착된 경우 또는 후단 공정의 필요시에 마스크를 반전시킨 후 후단 공정으로 제공할 수 있는 효과가 있다.
마스크, 크롬면, 펠리클, 감지, 센서, 로드포트, 포트플레이트, SMIF.

8. 发明授权

KR100902881B1 마스크 운반박스 개방장치 失效
标题翻译：用于打开面罩运输盒的设备
公开(公告)号：KR100902881B1
公开(公告)日：2009-06-16
申请号：KR1020070116506
申请日：2007-11-15
申请人： (주)티이에스
发明人： 조보형 , 이현오 , 김병조
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/027
摘要： 본 발명은 마스크 운반박스 개방장치에 관한 것으로서, 마스크 운반박스가 장착되는 마스크 운반박스 스테이지, 상기 마스크 운반박스 스테이지 양측에 한 쌍이 설치되고, 상기 마스크 운반박스의 본체 양측면을 압착하여 상기 마스크 운반박스의 커버와 본체와의 결합을 해제하는 압착 실린더 및 상기 마스크 운반박스 이송부의 상부에 승강가능하도록 설치되고, 상기 본체와의 결합이 해제된 커버를 흡착하여 상부로 이동시키는 커버 개방부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 마스크 운반박스의 유형에 관계없이 마스크 운반박스를 기계적으로 개방할 수 있도록 함으로써 마스크 처리 공정을 자동화할 수 있도록 함으로써 생산성을 현저하게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
반도체, 자재, 마스크, 레티클, 운반박스, 개방.

9. 发明授权

KR100902877B1 반도체 제조용 마스크의 크롬면 감지장치 失效
标题翻译：用于感测半导体掩模的Chrome平面的装置
公开(公告)号：KR100902877B1
公开(公告)日：2009-06-16
申请号：KR1020070116498
申请日：2007-11-15
申请人： (주)티이에스
发明人： 조보형 , 이현오 , 김병조
IPC分类号： H01L21/027
摘要： 본 발명은 반도체 제조용 마스크의 크롬면 감지장치에 관한 것으로서, 감지부 본체, 상기 감지부 본체의 일측에 설치되어 마스크의 양측면을 파지하는 한 쌍의 그립 블록, 상기 그립 블록에 파지된 마스크의 일면에 빛을 조사하는 발광센서와 상기 발광센서로부터 조사된 빛이 반사되는 위치에 설치되어 상기 반사된 빛을 수신하는 수광센서를 포함하는 센서부를 포함하되, 상기 수광센서에서 수신된 빛의 세기에 기초하여 반사율을 계산하고, 계산된 반사율 값에 따라 크롬면의 위치가 감지되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 마스크의 크롬면과 유리면의 반사율 차이를 이용하여 마스크의 크롬면을 감지할 수 있도록 함으로써 마스크를 크롬면에 맞게 파드에 장착할 수 있고 그에 따라 패턴 가공 시 마스크 면의 반전으로 인한 마스크 불량을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
마스크, 레티클, 반도체, 자재, 크롬면, 패턴, 반사율, 센서.

10. 发明公开

KR1020090050201A 반도체 제조 라인의 파드 교환장치 失效
标题翻译：用于交换半导体制造线的装置的装置
公开(公告)号：KR1020090050201A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：KR1020070116505
申请日：2007-11-15
申请人： (주)티이에스
发明人： 조보형 , 이현오 , 김병조
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/6773 , H01L21/67772 , H01L21/67778 , H01L21/681 , Y10S414/137
摘要： 본 발명은 반도체 제조라인의 파드 교환장치에 관한 것으로서, 복수 개의 마스크가 수납된 마스크 운반박스를 전후 이송하는 운반박스 이송부, 상기 마스크 운반박스의 커버를 개방하는 마스크 운반박스 개방부, 상기 커버가 개방된 마스크 운반박스로부터 상기 마스크를 취출하는 마스크 그립부, 상기 취출된 마스크의 크롬면을 감지하는 크롬면 감지부 및 상기 크롬면 감지부로부터 상기 마스크를 반입하여 상기 마스크의 크롬면을 하방을 향하도록 한 상태에서 상기 마스크를 파드에 저장하는 마스크 로딩부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 마스크 운반박스의 개방, 마스크의 이송 및 파드 장착 등의 처리 공정을 자동화함으로써 생산성을 현저하게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
반도체, 자재, 마스크, 레티클, 저장, 파드, SMIF.

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