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2. 发明授权

KR101578513B1 픽업 실린더 有权
标题翻译：扒油缸
公开(公告)号：KR101578513B1
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：KR1020140139977
申请日：2014-10-16
申请人： (주)일신유공압 , 윤성호
发明人： 박봉수 , 윤성호
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 본발명은웨이퍼와같은소자를진공흡착하여이송하는픽업실린더와관련된다. 본발명은실시예로, 작동블록, 상기작동블록을관통하여선단부가돌출되어있고, 상기선단부의외주면이비원형인작동관, 상기작동관의외주면에끼워지는장착부를통해상기작동관의선단부에연결되며, 선단부에는흡착구결합부가구비된체결관및 상기작동블록에단부가회전가능하게결합되고, 상기체결관의외주면에나사체결되어상기작동관과상기체결관을결속시키는조립관체를포함하는픽업실린더를제시한다.
摘要翻译：本发明涉及通过真空吸附传送诸如晶片的元件的拾取器气缸。根据本发明的实施例，拾取器气缸包括：操作块; 前端通过穿过操作块而突出的操作管，其中操作管的前端的外周具有非圆形形状; 连接管，其经由插入到操作管的外周的安装单元连接到操作管的前端，其中连接管的前端具有吸附开口联接单元; 以及组装管体，其端部旋转地联接到操作块，其中组装管主体旋拧到连接管的外周，以紧固操作管和连接管。

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