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1. 发明授权

KR102133273B1 모터 교체가 용이한 자가발전형 이온건 有权
公开(公告)号：KR102133273B1
公开(公告)日：2020-07-13
申请号：KR1020180150400
申请日：2018-11-29
申请人： (주)선재하이테크 , 가부시끼가이샤벳세루고우교
发明人： 이동훈 , 이수영 , 박진철 , 신상도 , 이민호 , 설동규
IPC分类号： H01T23/00 , H02K7/18

2. 发明公开

KR1020170096491A 진공 체임버 내부의 압력 변화에 따라 연엑스선 또는 진공자외선 중의 어느 하나의 광을 조사하여 피대전체의 정전기를 중화시키는 정전기 제거 장치 审中-实审
标题翻译：根据真空室内的压力变化照射软X射线或真空紫外线中的任何一种来中和物体的静电荷的静电消除器
公开(公告)号：KR1020170096491A
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：KR1020160017929
申请日：2016-02-16
申请人： (주)선재하이테크
发明人： 이동훈 , 김상효 , 이상덕 , 김은민 , 정동길 , 신상도
IPC分类号： H01L27/02 , H01L21/02 , H01J35/30 , H01J29/45
摘要： 본발명은반도체또는디스플레이제작시사용되는진공체임버내부의압력조건즉 진공상태인지대기압상태인지여부에따라진공체임버내부에위치하는피대전체의정전하를제거하기위하여진공상태에서는피대전체에진공적외선을조사하고대기압하에서는피대전체에연엑스선을조사할수 있는정전기제거장치에관한것이다. 본발명에서제안하는기술적사상을구현하기위한 "진공체임버내부의압력변화에따라연엑스선또는진공자외선중의어느하나의광을조사하여피대전체의정전기를중화시키는정전기제거장치"는진공체임버내부에배치되어피대전체의상부에상이한파장대의광을조사하는제 1 광조사부및 제 2 광조사부와, 상기진공체임버내부일측에배치되어상기진공체임버의진공도를감지하는센서와, 상기센서에서감지한진공도를수신하여상기진공도에따라상기제 1 광조사부및 상기제 2 광조사부중 어느하나를선택적으로동작시키는위하여상기진공체임버외부에배치되는제어부를구비한다. 본발명에따른정전기제거장치를사용하는경우진공체임버내부의진공도에따라서연엑스선을조사하여피대전체의정전기를중화시키거나진공자외선을조사하여피대전체의정전기를중화시킬수 있다는이점이있다.
摘要翻译：本发明照射真空在真空整个充电对象红外线除去充电物体整个协议电荷它位于根据真空室的内部是否真空室，其用于制造半导体或显示压力的条件内，即常压，如果真空状态本发明涉及能够在大气压下对整个物体照射X射线的静电除去装置。为了实现“其照射光的静电去除按照压力的真空腔室单元内部的变化中和整个充电物体的静电在软X射线或真空紫外线的”本发明所提出的技术概念被设置在真空室中在第一光照射和第二发光部分和，并设置在真空腔室传感器的侧边内，用于感测度的真空腔室的真空，由传感器检测到的真空度，以检查光的不同波长带的整个充电物体的上部以及设置在真空室外部的控制单元，用于根据真空度选择性地操作第一光照单元和第二光照单元中的任何一个。这一点是，如果使用的是一个静电根据本发明的去除装置是根据真空的真空室内部的程度，以中和全部的静电或充电对象与真空紫外线照射sikilsu中和整个充电物体的静电照射软X射线。

3. 发明授权

KR101806668B1 진공 체임버 내부의 압력 변화에 따라 연엑스선 또는 진공자외선 중의 어느 하나의 광을 조사하여 피대전체의 정전기를 중화시키는 정전기 제거 장치 有权
公开(公告)号：KR101806668B1
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：KR1020160017929
申请日：2016-02-16
申请人： (주)선재하이테크
发明人： 이동훈 , 김상효 , 이상덕 , 김은민 , 정동길 , 신상도
IPC分类号： H01L27/02 , H01L21/02 , H01J35/30 , H01J29/45
摘要： 본발명은반도체또는디스플레이제작시사용되는진공체임버내부의압력조건즉 진공상태인지대기압상태인지여부에따라진공체임버내부에위치하는피대전체의정전하를제거하기위하여진공상태에서는피대전체에진공적외선을조사하고대기압하에서는피대전체에연엑스선을조사할수 있는정전기제거장치에관한것이다. 본발명에서제안하는기술적사상을구현하기위한 "진공체임버내부의압력변화에따라연엑스선또는진공자외선중의어느하나의광을조사하여피대전체의정전기를중화시키는정전기제거장치"는진공체임버내부에배치되어피대전체의상부에상이한파장대의광을조사하는제 1 광조사부및 제 2 광조사부와, 상기진공체임버내부일측에배치되어상기진공체임버의진공도를감지하는센서와, 상기센서에서감지한진공도를수신하여상기진공도에따라상기제 1 광조사부및 상기제 2 광조사부중 어느하나를선택적으로동작시키는위하여상기진공체임버외부에배치되는제어부를구비한다. 본발명에따른정전기제거장치를사용하는경우진공체임버내부의진공도에따라서연엑스선을조사하여피대전체의정전기를중화시키거나진공자외선을조사하여피대전체의정전기를중화시킬수 있다는이점이있다.

4. 发明授权

KR102065347B1 진공 자외선을 이용한 정전기 제거장치 有权
公开(公告)号：KR102065347B1
公开(公告)日：2020-01-13
申请号：KR1020180017811
申请日：2018-02-13
申请人： (주)선재하이테크
发明人： 이동훈 , 박진철 , 신상도 , 이민호
IPC分类号： H05F3/00 , H01J61/02

5. 发明公开

KR1020170096490A 정전기 제전부의 성능 상태 감지가 가능한 이오나이저 审中-实审
标题翻译：能够检测静电放电单元性能状态的静电消除器
公开(公告)号：KR1020170096490A
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：KR1020160017928
申请日：2016-02-16
申请人： (주)선재하이테크
发明人： 이동훈 , 김상효 , 이상덕 , 김은민 , 정동길 , 신상도
IPC分类号： H05F3/06 , G01J1/02 , G08B21/18
摘要： 본발명은정전기제전부를구성하는광조사부의온도또는광조사부에서대전체를향하여조사되는연엑스선내지진공자외선의광도등을감지하여광조사부의성능을실시간을감지할수 있도록한 "정전기제전부의성능상태감지가가능한이오나이저"에관한것이다. 본발명에서제안하는기술적사상을구현하는실시예인정전기제거용광을조사하는정전기제전부및 정전기제전부의동작전원을공급하는전원제어부를구비하는이오나이저의정전기제전부는내부공간이형성된하우징과, 상기하우징내부에안착되어연엑스선또는진공자외선을조사하는광조사부를구비하며, 하우징내부일측에는상기광조사부에서조사되는연엑스선또는진공자외선의광도를감지하기위한광 센서, 또는상기광조사부의온도변화를감지하기위한온도센서가부설될수 있으며, 전원제어부는상기광 센서또는상기온도센서에서감지한상기광조사부의광도정보또는온도정보에기초하여상기광조사부에공급되는상기전원을조절하거나상기광조사부의교체시기를제공할수 있다. 본발명에따른정전기제전부의성능상태감지가가능한이오나이저를사용하는경우광조사부의성능이상을실시간으로파악할수 있으므로초정밀반도체공정또는디스플레이공정에서요구되는정밀한정전기제거효과를보다극대화시켜제품생산수율을개선시킬수 있다는이점이있다.
摘要翻译：本发明是静电中和“静态权利要求整个检测的光强度，该软X-射线的等，以真空紫外光为朝向总的照射的温度或光照射照射使得可以实时检测发射构成部件的光的性能的性能状态可检测离子发生器“。前的操作功率和静电整个静电权利要求照射实施例除静电yonggwang执行技术精神电源控制单元壳体，具有静态和单元形成为具有本发明提出的由离子发生器的内部空间在外壳中就位，并且包括用于照射软X射线或真空紫外线的光的照射下，该壳体内侧面可以用于感测从所述光照射部发射的软X射线或真空紫外线的光的亮度，或光照射部的温度变化而设置有光学传感器它是用于感测敷设的温度传感器，和光学传感器的功率控制单元或亮度信息或温度信息来调整提供给发光部件或所检测到的hansanggi光的基础上的发光部由所述温度传感器的发光部的电力您可以提供更换时间。当使用静态性能状态检测是根据本发明的整个的可能的电离能确定至少在实时发光部分的通过高精度更最大限度地需要去除精确静电半导体处理或者显示处理效果产率的性能有一点可以改善。

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