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1. 发明授权

KR101674313B1 벨로즈 장치 有权
标题翻译： A BELLOWS APPARATUS
公开(公告)号：KR101674313B1
公开(公告)日：2016-11-08
申请号：KR1020150115254
申请日：2015-08-17
申请人： 주식회사 지피케이 , 김철의
发明人： 김철의 , 최무겸
IPC分类号： H01L21/02 , B21D15/00
摘要： 본발명은주름관형태의벨로즈구조를탈피하여제작이용이하고설치및 유지보수에유리하며다양한용도로활용이가능한벨로즈장치에관한것으로; 판상의몸체중앙에기체가이동할수 있는유로가관통형성되고상기몸체의양면가장자리를따라대향되게링홈이형성되어설정된거리를유지하며연속적으로배치되는복수의플레이트와, 상기복수의플레이트의링홈에기밀을유지하도록끼워지는복수의밀폐용링과, 상기복수의플레이트의이탈이방지되도록상기복수의플레이트를결속하는결속부재로이루어진벨로즈장치를제공한다.

2. 发明授权

KR101406203B1 마이크로파 플라즈마 어플리케이터 및 원격 플라즈마 반도체 식각장비 有权
标题翻译：微波等离子体涂覆器和远程等离子体半导体蚀刻装置
公开(公告)号：KR101406203B1
公开(公告)日：2014-06-12
申请号：KR1020120055039
申请日：2012-05-23
申请人： (주)제이오션 , 주식회사 지피케이 , 홍정의 , 최종식
发明人： 홍정의 , 최종식
IPC分类号： H05H1/46 , H01L21/3065 , H01L21/205
摘要： 마이크로파 플라즈마 어플리케이터를 개시한다. 마이크로파 플라즈마 어플리케이터는 중앙에 수평으로 연장된 마이크로파 도파관이 결합된 수직 실린더형 하우징과, 하우징 상단에 연결되어 하우징 내부 공동으로 가스를 유입하기 위한 가스 유입관과, 하우징 하단에 형성되어 플라즈마를 외부로 유출하기 위한 유출구와, 하우징 내부 공동에 배치되어 상단이 가스 유입관에 결합되고 하단이 유출구에 결합된 플라즈마 튜브와, 마이크로파 도파관에 유입되는 마이크로파가 통과할 간격을 유지하면서 플라즈마 튜브의 외주면에 감겨지고, 내부에 냉각액이 공급되는 솔레노이드형 동관과, 솔레노이드 동관 상단에 결합된 제1전극과, 솔레노이드 동관 하단에 결합된 제2전극을 포함한다. 따라서 솔레노이드 코일에 의해 플라즈마 튜브에 자기장을 형성하여 플라즈마 튜브가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

3. 发明授权

KR101959824B1 카본소재를 이용한 방열판 有权
公开(公告)号：KR101959824B1
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：KR1020170143123
申请日：2017-10-31
申请人： 주식회사 지피케이
发明人： 최무겸
IPC分类号： H01L23/373 , H01L21/48

4. 发明公开

KR1020130131169A 마이크로파 플라즈마 어플리케이터 및 원격 플라즈마 반도체 식각장비 有权
标题翻译：微波等离子体应用器和远程等离子体半导体蚀刻设备
公开(公告)号：KR1020130131169A
公开(公告)日：2013-12-03
申请号：KR1020120055039
申请日：2012-05-23
申请人： (주)제이오션 , 주식회사 지피케이 , 홍정의 , 최종식
发明人： 홍정의 , 최종식
IPC分类号： H05H1/46 , H01L21/3065 , H01L21/205
CPC分类号： H01J37/32229 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01J37/32559 , H01J37/32577 , H01J37/32834 , H01J2237/334 , H01L21/3065 , H05H1/46 , H05H2001/4607
摘要： The present invention discloses a microwave plasma applicator. The micro plasma applicator includes: a vertical cylinder type housing in which a microwave waveguide horizontally extended in the center is engaged; a gas inlet pipe connected to an upper end of the housing for inhaling gas into a cavity of the housing; an outlet formed in a lower end of the housing for discharging plasma to the outside; a plasma tube arranged in the cavity of the housing, of which the upper end is connected to the gas inlet pipe and the lower end is connected to the outlet; a solenoid copper pipe for maintaining a gap in which microwave come into the microwave waveguide pass through, wound up to the outer surface of the plasma tube having coolant inside; a first electrode connected to an upper end of the solenoid copper pipe; and a second electrode connected to a lower end of the solenoid copper pipe. Therefore, damage to a plasma tube is prevented by forming a magnetic field in the plasma tube using a solenoid coil.
摘要翻译：本发明公开了一种微波等离子体涂敷器。微型等离子体施加器包括：垂直圆筒型壳体，其中在中心水平延伸的微波波导接合; 气体入口管，其连接到所述壳体的上端，用于将气体吸入所述壳体的空腔中; 出口形成在壳体的下端，用于将等离子体排放到外部; 布置在壳体的空腔中的等离子体管，其上端连接到气体入口管，下端连接到出口; 用于保持微波进入微波波导的间隙的螺线管铜管通过，卷绕到具有冷却剂的等离子体管的外表面; 连接到电磁铜管的上端的第一电极; 以及连接到电磁铜管的下端的第二电极。因此，通过使用电磁线圈在等离子体管中形成磁场来防止等离子体管的损坏。

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