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1. 发明授权

KR101210755B1 세라믹 메탈 할라이드 램프의 아크 튜브 밀봉장치 有权
标题翻译：用于陶瓷放电金属卤化物灯的弧管密封装置
公开(公告)号：KR101210755B1
公开(公告)日：2012-12-11
申请号：KR1020110109120
申请日：2011-10-25
申请人： 이훈 , 임세도
发明人： 이훈 , 임세도
IPC分类号： H01J9/40
摘要： PURPOSE: An arc tube sealing device of a ceramic metal halide lamp is provided to improve quality using a tungsten heater heating mode. CONSTITUTION: A base plate(11) is sealed up with a ceramics arc tube. A chamber cover(12) is located in order to contact to the upper side of the base plate. A tube base chuck(13) is located at the upper side of the base plate. A plurality of ceramics arc tubes is settled in the tube base chuck. A plurality of tungsten heaters(20) heats up a thin tube of the plurality of ceramics arc tubes.
摘要翻译：目的：提供陶瓷金属卤化物灯的电弧管密封装置，以使用钨加热器加热模式提高质量。构成：用陶瓷电弧管密封基板（11）。为了与基板的上侧接触，设置有室盖（12）。管座卡盘（13）位于基板的上侧。多个陶瓷电弧管安装在管基卡盘中。多个钨加热器（20）加热多个陶瓷电弧管的细管。

2. 发明公开

KR1020160046131A 노광장치 有权
标题翻译：曝光装置
公开(公告)号：KR1020160046131A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：KR1020140141608
申请日：2014-10-20
申请人： 임세도 , 이기승
发明人： 임세도
IPC分类号： G03F7/20 , G06F3/041
CPC分类号： G03F7/20 , G06F3/041 , H01L21/027
摘要： 본발명은패턴형성시사용되며, UV LED를광원으로사용하여확산광을최소화시키고광 차폐율을일정하게유지함으로써노광효율과노광품질이향상되도록한 노광장치에관한것으로서, 기판이놓이는스테이지와; 상기스테이지와이격배치되어상기스테이지에광을조사하는광모듈과; 상기스테이지또는광모듈을제1방향으로이동시키는구동부;를포함하는노광장치에있어서, 상기광모듈은, 상기제1방향과수직한제2방향으로연장형성되며일정간격으로배치된 UV LED가구비된광원부와, 상기스테이지와광원부사이에배치되어상기광원부에서조사되는광 중에서확산광을제거하도록상기스테이지를향해연장형성되는복수의광통으로이루어진광정렬부재를포함하고, 상기광원부의 UV LED는삼각형또는평행사변형형상의단면형상을갖는각각의광통에 1:1로대응하도록배치되는것을특징으로한다.
摘要翻译：本发明涉及一种在图案形成中使用的曝光装置，通过使用紫外线发光装置（UV LED）作为光源使散射光最小化，并且均匀地保持遮光率，从而提高曝光效率和质量。根据本发明，曝光装置包括：放置基板的台; 与所述台分离设置的光模块，以便对所述平台进行光照射; 以及驱动部件沿第一方向移位所述台架或所述灯模块。所述光模块包括：光源部，其包括所述UV LED，所述UV LED在垂直于所述第一方向的第二方向上延伸并且以规则的间隔设置; 以及配置在平台与光源部之间的光对准部件，由从该光源部射出的光中除去扩散光的多个光管构成，其中，该紫外LED 设置为面对具有三角形或平行四边形的横截面构造的每个光导管一一对应。

3. 发明公开

KR1020160031254A 노광장치 有权
标题翻译：曝光装置
公开(公告)号：KR1020160031254A
公开(公告)日：2016-03-22
申请号：KR1020140121057
申请日：2014-09-12
申请人： 금호전기주식회사 , 임세도
发明人： 이기승 , 임세도 , 김병현
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
摘要： 본발명은스테이지; 상기스테이지와이격배치되고, 상기스테이지에광을조사하는광모듈; 및상기스테이지또는광모듈을제1방향으로이동시키는구동부를포함하고, 상기광모듈은, 상기제1방향과수직한제2방향으로연장된광원부; 및상기광원부와스테이지사이에배치된광정렬부재를포함하고, 상기광정렬부재는상기제2방향으로배치되는복수개의서브부재를포함하고, 상기서브부재는상기스테이지를향해연장형성된노광장치를개시한다.
摘要翻译：公开了一种曝光装置。更具体地，提供了一种能够在大面积上发射均匀光的曝光装置，其中，该装置包括：舞台; 光学模块，与所述平台分离设置并将光发射到所述平台; 以及驱动部，其沿着第一方向传送所述台或所述光模块。另外，光学模块还包括：沿与第一方向垂直的第二方向延伸的光源部; 以及设置在光源部和台之间的光学对准部件。此外，光学对准构件包括沿着第二方向设置的多个子构件，其中子构件朝向平台延伸。

4. 发明授权

KR101678515B1 노광장치 有权
标题翻译：曝光装置
公开(公告)号：KR101678515B1
公开(公告)日：2016-11-22
申请号：KR1020160050205
申请日：2016-04-25
申请人： 금호전기주식회사 , 임세도
发明人： 이기승 , 임세도 , 김병현
IPC分类号： G03F7/20 , G03F9/00
摘要： 실시예는, 스테이지; 상기스테이지와이격배치되고, 상기스테이지에광을조사하는광모듈; 및상기스테이지또는광모듈을제1방향으로이동시키는구동부를포함하고, 상기광모듈은, 상기제1방향과수직한제2방향으로연장된광원부; 및상기광원부와스테이지사이에배치된광정렬부재를포함하고, 상기광정렬부재는상기제2방향으로배치되고상기스테이지를향해연장된복수개의서브부재를포함하고, 상기복수개의서브부재의개구면적은동일한노광장치를개시한다.
摘要翻译：一个实施例包括舞台; 光学模块，与所述平台分离设置，所述光学模块向所述平台照射光; 和用于移动台或在第一方向上的光模块，并且其中所述光学模块，在第二方向上垂直于所述第一方向的光源延伸的驱动器; 和光学对准构件，并且包括设置在所述光源和所述阶段之间的光学对准构件是第一被布置在所述第二方向包括向平台延伸的多个子部件，该多个子bujaeui开口面积的公开了相同的曝光设备。

5. 发明授权

KR101634715B1 노광장치 有权
标题翻译：曝光装置
公开(公告)号：KR101634715B1
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：KR1020140121057
申请日：2014-09-12
申请人： 금호전기주식회사 , 임세도
发明人： 이기승 , 임세도 , 김병현
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 본발명은스테이지; 상기스테이지와이격배치되고, 상기스테이지에광을조사하는광모듈; 및상기스테이지또는광모듈을제1방향으로이동시키는구동부를포함하고, 상기광모듈은, 상기제1방향과수직한제2방향으로연장된광원부; 및상기광원부와스테이지사이에배치된광정렬부재를포함하고, 상기광정렬부재는상기제2방향으로배치되는복수개의서브부재를포함하고, 상기서브부재는상기스테이지를향해연장형성된노광장치를개시한다.
摘要翻译：本发明涉及一种包括平台的半导体器件; 光学模块，与所述平台分离设置，所述光学模块向所述平台照射光; 和用于移动台或在第一方向上的光模块，并且其中所述光学模块，在第二方向上垂直于所述第一方向的光源延伸的驱动器; 和启动曝光装置中，子元件的光学对准构件，并且包括设置在所述光源和所述阶段之间的光学对准构件包括多个子构件被布置在第二方向上的，它被形成为朝向阶段延伸的。

6. 发明授权

KR101634449B1 노광장치 有权
标题翻译：曝光装置
公开(公告)号：KR101634449B1
公开(公告)日：2016-06-28
申请号：KR1020140141608
申请日：2014-10-20
申请人： 임세도 , 이기승
发明人： 임세도
IPC分类号： G03F7/20 , G06F3/041
摘要： 본발명은패턴형성시사용되며, UV LED를광원으로사용하여확산광을최소화시키고광 차폐율을일정하게유지함으로써노광효율과노광품질이향상되도록한 노광장치에관한것으로서, 기판이놓이는스테이지와; 상기스테이지와이격배치되어상기스테이지에광을조사하는광모듈과; 상기스테이지또는광모듈을제1방향으로이동시키는구동부;를포함하는노광장치에있어서, 상기광모듈은, 상기제1방향과수직한제2방향으로연장형성되며일정간격으로배치된 UV LED가구비된광원부와, 상기스테이지와광원부사이에배치되어상기광원부에서조사되는광 중에서확산광을제거하도록상기스테이지를향해연장형성되는복수의광통으로이루어진광정렬부재를포함하고, 상기광원부의 UV LED는삼각형또는평행사변형형상의단면형상을갖는각각의광통에 1:1로대응하도록배치되는것을특징으로한다.

7. 发明公开

KR1020160055734A 노광장치 有权
标题翻译：曝光装置
公开(公告)号：KR1020160055734A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：KR1020160050205
申请日：2016-04-25
申请人： 금호전기주식회사 , 임세도
发明人： 이기승 , 임세도 , 김병현
IPC分类号： G03F7/20 , G03F9/00
CPC分类号： G03F7/201 , G03F7/70008 , G03F7/70141 , G03F7/70233 , G03F7/70275 , G03F7/70758 , G03F9/7065
摘要： 실시예는, 스테이지; 상기스테이지와이격배치되고, 상기스테이지에광을조사하는광모듈; 및상기스테이지또는광모듈을제1방향으로이동시키는구동부를포함하고, 상기광모듈은, 상기제1방향과수직한제2방향으로연장된광원부; 및상기광원부와스테이지사이에배치된광정렬부재를포함하고, 상기광정렬부재는상기제2방향으로배치되고상기스테이지를향해연장된복수개의서브부재를포함하고, 상기복수개의서브부재의개구면적은동일한노광장치를개시한다.
摘要翻译：本发明提供了用于形成图案的曝光装置。曝光装置包括：舞台; 与舞台间隔开并将光照射到舞台的光模块; 以及用于沿着第一方向传送舞台或光模块的驱动部分，其中所述光模块包括沿垂直于所述第一方向的第二方向延伸的光源部分，以及设置在所述光源部分和所述舞台之间的光对准部件 ; 所述光对准部件包括沿所述第二方向设置并向所述台延伸的多个副部件; 子成员具有相同的开放面积。

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