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1. 发明授权

KR102230712B1 유기 공중합체, 그 제조 방법, 유기 공중합체를 포함하는 반사방지막 및 응용 有权
公开(公告)号：KR102230712B1
公开(公告)日：2021-03-22
申请号：KR1020190129643
申请日：2019-10-18
申请人： 이근수
发明人： 이근수 , 정성재 , 장원 , 진하정
IPC分类号： C08F230/02 , G03F7/09 , C08F220/18 , G03F7/20
摘要： 본발명은하기화학식 1의반복단위를포함하는반사방지막형성용공중합체, 그제조방법, 이를이용한반사방지막형성용조성물, 반사방지막및 이를포함하는반도체소자에관한것이다. 본발명에따라합성된공중합체로부터얻어진반사방지막을도입하여, 포토레지스트패턴특성과코팅특성이우수한포토레지스트패턴을형성하여, 미세한반도체소자를구현하는데적용될수 있다. 화학식 1JPEG112019106362664-pat00012.jpg3257

2. 外观设计

KR3009159680000S 有权
公开(公告)号：KR3009159680000S
公开(公告)日：2017-07-25
申请号：KR3020160060078
申请日：2016-12-12
申请人： 이근수
设计人： 이근수

3. 发明公开

KR1020170036402A 내열성이 우수한 중합체, 그 제조 방법 및 응용 无效
标题翻译：具有优异耐热性的聚合物，其生产方法和应用
公开(公告)号：KR1020170036402A
公开(公告)日：2017-04-03
申请号：KR1020150135521
申请日：2015-09-24
申请人： 이근수
发明人： 이근수 , 김민수 , 한태현 , 정성재
IPC分类号： C08G10/02 , C08L61/18 , C09D161/18
摘要： 본발명은고내열성, 우수한평탄화특성및 갭-필특성을가지는중합체소재및 그응용에관한것이다. 본발명에따른중합체소재를사용하여얻어지는유기막은우수한평탄화특성, 갭-필특성및 고내열성을확보한다. 따라서본 발명에따라제조되는중합체소재를이용하여, 예를들어리소그라피공정을이용하여미세반도체패턴을형성할때, 레지스트하층막이나갭-필, 더블패터닝등을위한평탄화막, 및/또는하드마스크막으로활용될수 있다.
摘要翻译：本发明涉及具有高耐热性，优异的平坦化性和间隙填充性的聚合物材料及其应用。使用根据本发明的聚合物材料获得的有机膜确保了优异的平坦化特性，间隙填充特性和高耐热性。因此，在使用例如光刻工艺，用于抗蚀剂下层膜的平坦化膜，间隙填充物，双重图案化等来使用根据本发明制造的聚合物材料来形成精细半导体图案时，它可以用作膜。

4. 发明公开

KR1020170034116A 개질된 공중합체, 그 제조 방법 및 응용 无效
标题翻译：改性共聚物及其生产方法和应用
公开(公告)号：KR1020170034116A
公开(公告)日：2017-03-28
申请号：KR1020150132393
申请日：2015-09-18
申请人： 이근수
发明人： 이근수 , 천종현
IPC分类号： C08F230/08 , C08F216/04 , C08F8/30 , C09D183/16 , C09D7/12
摘要： 본발명은열분해특성및 광학적특성이우수한유무기하이브리드공중합체, 유무기하이브리드공중합체를제조할수 있도록개질된유기공중합체, 그제조방법및 유무기하이브리드공중합체를함유하는코팅조성물을제공한다. 본발명에따라합성된유무기하이브리드공중합체는내열특성및 광학적특성이우수하기때문에, 예를들어플렉서블디스플레이용기판소재의광학적특성을향상시키는데활용될수 있다.
摘要翻译：本发明提供了一种含有热分解特性的涂料组合物，以及光学特性优异的无机杂化共聚物，改性的有机共聚物被制备的杂化有机 - 无机共聚物，其制造方法，以及杂化有机 - 无机共聚物。所述有机 - 无机杂化共聚物是按照本发明，因为yiwoosu的耐热性和光学特性，例如，可以用于提高柔性显示器片材容器的光学特性合成。

5. 发明公开

KR1020160020282A 폴리아릴렌에테르계 블록 공중합체, 이를 포함하는 하드 마스크 형성용 조성물, 이를 이용하는 형성된 하드 마스크를 식각 마스크로 이용하는 반도체 장치의 제조방법 审中-实审
标题翻译：聚烯烃醚基嵌段共聚物，用于形成含有其的硬掩模的组合物以及使用形成其作为蚀刻掩模的硬掩模制造半导体器件的方法
公开(公告)号：KR1020160020282A
公开(公告)日：2016-02-23
申请号：KR1020140105424
申请日：2014-08-13
申请人： 이근수
发明人： 이근수 , 김민수 , 한태현 , 이승훈
IPC分类号： C08G65/40 , C08G81/00 , C08G65/48 , G03F7/12 , H01L23/498 , G03F7/16
CPC分类号： C08G65/40 , C08G65/48 , C08G81/00 , G03F7/12 , G03F7/16 , H01L23/49894
摘要： 서로다른화학구조를갖는제1 및제2 폴리아릴렌에테르블록이메틸렌연결기로연결된폴리아릴렌에테르계블록공중합체, 이를포함하는하드마스크형성용조성물, 및이를이용하여형성된하드마스크를식각마스크로이용하는반도체장치의제조방법이제공된다. 본발명에따른폴리아릴렌에테르계블록공중합체는고내열성및 고내화학성을갖는것으로서가교성및 식각내성도우수하다. 따라서, 상기블록공중합체를포함하는하드마스크막 형성용조성물은스핀-온코팅에의해하드마스크를형성할수 있고, 가교제등의첨가제없이도자기가교(self-crosslinking) 특성을갖기때문에, 약 200 ~ 400℃에서실시되는가열공정에서첨가제의분해로부터유래하는가스발생(outgassing)이없거나억제되어공정친화적이고하드마스크막 오염및 장비의오염을줄일수 있다.
摘要翻译：提供一种聚亚芳基醚类嵌段共聚物，其中具有不同化学结构的第一和第二聚亚芳基嵌段通过亚甲基连接体连接，用于形成含有该组合物的硬掩模的组合物，以及使用该作为蚀刻掩模从其形成的硬掩模。本发明的聚亚芳基醚类嵌段共聚物具有高耐热性和高耐化学性，并且还具有优异的交联和耐蚀刻性。因此，用于形成含有嵌段共聚物的硬掩模的组合物可以通过旋涂来形成硬掩模，并且是处理友好的，并且可以减少硬掩模层的污染和设备的污染，因为气体的产生由于具有自交联特性而不需要添加剂如在约200-400℃下进行的在约200-400℃下进行的加热过程中的添加剂的分解而产生的（除气）不存在或被抑制，交联剂等。

6. 发明授权

KR101580015B1 임시 점착/탈착층을 사용하는 플렉시블 정보 표시 소자 제조용 지지 기판, 이의 제조 방법, 그를 이용한 플렉시블 정보 표시 소자 및 그의 제조 방법 有权
标题翻译： /使用临时粘结/去网层的支撑基板的方法及其方法一种使用该方法制造柔性信息显示装置的方法和由该方法结合的柔性信息显示装置
公开(公告)号：KR101580015B1
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：KR1020130104534
申请日：2013-08-30
申请人： 주식회사 엔씰텍 , 이근수 , 노재상
发明人： 노재상 , 이근수 , 김용석 , 홍원의 , 장인구 , 양승열 , 전진남 , 김광준
IPC分类号： G02F1/1333 , H01L27/12
CPC分类号： H01L27/1218 , H01L27/1225 , H01L27/1266 , Y10T428/265
摘要： 본발명은플렉시블정보표시소자제조용지지기판에있어서, 상기지지기판상에두께가 0.1nm 내지 1000nm이고상기지지기판과반데르발스결합을하는물질로형성된임시점착/탈착층을구비하는것을특징으로하는플렉시블전자장치제조용지지기판및 이지지기판의제조방법, 이지지기판을사용하여플렉시블정보표시소자를제조하는방법및 이에의하여제조된플렉시블정보표시소자를제공함으로써, 플렉시블평판정보표시소자의장치투자비의절감및 수율향상에의하여가격경쟁력을제고시키고, 고해상도의디스플레이소자를경제적으로제조하는것이가능한방법을제공한다.

7. 发明授权

KR101573873B1 반사방지막 형성용 삼원 공중합체와 이의 제조 방법, 이 삼원 공중합체를 포함하는 반사방지막 형성용 조성물, 및 이를 이용한 반사방지막 형성방법 有权
标题翻译：用于形成抗反射层的三元共聚物和制备方法用于形成包含三元共聚物的抗反射层的组合物和用于形成抗反射层的方法
公开(公告)号：KR101573873B1
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：KR1020140022891
申请日：2014-02-26
申请人： 이근수
发明人： 이근수 , 김민수 , 김하림
IPC分类号： C08G63/68 , C08G73/06 , C08G75/04 , C08L67/00 , C08L79/04 , C08L81/00 , C08J5/18
摘要： 반도체장치제조에사용되는포토리소그라피공정에서기판상에도포된포토레지스트막의하부에도포되는반사방지막형성용삼원공중합체으로서머캅토카르복시산화합물, 디카르복시산화합물, 및에폭시기치환트리아진트리온화합물의소정몰분율의삼원공중합체와이의제조방법, 이공중합체를포함하는반사방지막형성용조성물, 및이를이용한반사방지막형성방법이개시된다. 상기삼원공중합체는유기용제에대한용해성이좋고 ArF 엑시머레이저(파장 193㎚) 광선에대해최적의흡수율(k)과굴절률(n)을갖는다. 따라서이를포함하는본 발명에따른반사방지막형성용조성물을이용하면, 포토레지스트막의언더컷팅(undercutting) 및풋팅(footing) 등의현상을억제하여포토레지스트패턴의프로파일을개선할수 있는반사방지막을효율적으로형성할수 있다.

8. 发明公开

KR1020150123194A 산화텅스텐 또는 텅스텐을 포함하는 하드 마스크를 식각 마스크로 이용하는 반도체 소자의 제조방법 无效
标题翻译：使用含有氧化钨或含钨硬片作为蚀刻掩模的半导体器件制造方法
公开(公告)号：KR1020150123194A
公开(公告)日：2015-11-03
申请号：KR1020150058266
申请日：2015-04-24
申请人： 이근수
发明人： 이근수 , 김민수 , 김하림 , 임민혁
IPC分类号： H01L21/033 , H01L21/3105 , H01L21/027 , H01L21/324
摘要： 반도체기판상에피식각막을형성하는단계; 상기피식각막상에상기피식각막의일부를노출하는폴리머를포함하는산화텅스텐을포함하는하드마스크패턴을형성하는단계; 및상기산화텅스텐을포함하는하드마스크패턴을식각마스크로이용하여상기피식각막을식각하여피식각막패턴을형성하는단계를포함하는반도체소자의제조방법이제공된다. 본발명에따른반도체소자의제조방법에따르면, 하드마스크를사용하여피식각막을식각하는공정을실행하는데 있어서굽음및 비틀림현상을효율적으로억제할수 있다. 특히, 본발명에따라형성한하드마스크는예를들면실리콘산화물막대비식각내성이매우우수하고비정질텅스텐질로인한박막의표면특성이뛰어나패턴프로파일이우수하여미세패터닝이요구되는공정에서높은종횡비를갖는패턴을형성할수 있다. 따라서, 본발명에따라형성한하드마스크를이용하여식각공정을실행하면콘택홀의단면프로파일에있어서상부와저부의선폭차이가거의없이대략수직인측벽을얻을수 있다.
摘要翻译：本发明涉及半导体元件的制造方法。该方法包括在半导体衬底上形成待蚀刻的膜的步骤; 在膜上形成硬质掩模图案的步骤，包括含有暴露一部分膜的聚合物的氧化钨; 以及通过使用硬掩模图案作为蚀刻掩模来蚀刻该膜来形成膜图案的步骤。根据本发明，制造半导体元件的方法能够有效地抑制通过使用硬掩模蚀刻薄膜的处理时的曲线和扭曲现象。更具体地，根据本发明，与氧化硅膜相比，硬掩模具有优异的耐蚀刻性，并且具有非晶态钨的表面特性以具有优异的图案轮廓，因此具有高纵横比的图案在需要微小图案化的工艺中形成。因此，如果通过使用硬掩模执行蚀刻处理，则接触孔的表面轮廓的上部和下部之间的线宽差异非常小，因此获得几乎垂直的侧壁。

9. 发明公开

KR1020150034829A 플렉시블 정보 표시 소자 제조용 지지 기판, 이의 제조 방법, 이를 이용하여 제조된 플렉시블 정보 표시 소자 및 이의 제조방법 无效
标题翻译：使用临时粘结/剥离层的支撑基板，其方法，使用其制造柔性信息显示装置的方法以及通过该方法结合的柔性信息显示装置
公开(公告)号：KR1020150034829A
公开(公告)日：2015-04-06
申请号：KR1020130104536
申请日：2013-08-30
申请人： 주식회사 엔씰텍 , 이근수 , 노재상
发明人： 노재상 , 이근수 , 김용석 , 홍원의 , 장인구 , 양승열 , 전진남 , 김광준
IPC分类号： G09F9/00
CPC分类号： H01L27/1218 , B32B38/0008 , B32B2037/246 , B32B2037/268 , B32B2310/0881 , B32B2457/20 , H01L27/1225 , H01L27/1262 , Y10T428/24355 , G09F9/00 , G02F1/167
摘要： 본발명은플렉시블정보표시소자제조용지지기판에있어서, 상기지지기판상에형성된다수의미세돌기가형성된코팅층및 상기코팅층상에형성되고상기지지기판과반데르발스결합하는임시점착/탈착층을포함하는것을특징으로하는플렉시블정보표시소자용지지기판, 이의제조방법, 이를사용하여플렉시블정보표시소자를제조하는방법및 플렉시블정보표시소자를제공함으로써, 플렉시블평판정보표시소자의장치투자비의절감및 수율향상에의하여가격경쟁력을제고시키고, 고해상도의디스플레이소자를경제적으로제조하는것이가능한방법을제공한다.
摘要翻译：提供了使用柔性信息显示装置的支持基板及其制造方法，通过该方法制造的柔性信息显示装置及其制造方法。在使用柔性信息显示装置的支撑基板中，支撑基板包括具有形成在支撑基板上的微型突起的涂层和形成在涂层上并与载体底板组合的临时粘合/分离层的涂层德华力量本发明降低了柔性信息显示装置的设备的投资成本，提高了产量，从而提高了价格竞争力，并且经济地制造了高分辨率的显示装置。

10. 实用新型

KR2020130001429U 방화셔터의 비상문 잠금장치 有权
标题翻译：触发快门锁系统
公开(公告)号：KR2020130001429U
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：KR2020110007617
申请日：2011-08-23
申请人： 이근수
发明人： 이근수
IPC分类号： A62C2/06 , E06B5/16 , E06B9/08
CPC分类号： A62C2/06 , E05Y2900/134 , E06B5/16 , E06B9/02
摘要： 본 고안은 방화셔터의 비상문 잠금장치에 관한 것으로서, 특히 화재 발생 시 방화셔터의 비상문이 자동적으로 개방되는 것을 방지하여 화염과 유독가스 등의 확산을 차단할 수 있도록 하는 방화셔터의 비상문 잠금장치에 관한 것이다.
이를 실현하기 위한 본 고안은 방화셔터(100)의 슬랫(101)과 비상문(200)의 슬랫(201)의 경계선(L)에 설치되는 잠금장치(10)에 있어서,상기 잠금장치(10)의 플레이트(20)에는 탄성부재(30)와 잠금부재(40)를 수용하는 수용홈(20a)과; 상기 플레이트(20) 후방에는 장력조절부재(50)가 배치된 것을 특징으로 한다.

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