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1. 发明公开

KR1020060135788A 파장변환장치 无效
标题翻译：波长转换器件
公开(公告)号：KR1020060135788A
公开(公告)日：2006-12-29
申请号：KR1020067017379
申请日：2005-02-04
申请人： 포토-피직스 라보레토리 인코포레이티드 , 사이버 레이저 가부시끼가이샤
发明人： 오쿠노,타다시 , 와타나베,아키라
IPC分类号： G02F1/37 , G02F2/00
CPC分类号： G02F1/3544 , G02F2001/3546
摘要： A wavelength conversion device performs adjustment so as to stabilize the energy conversion efficiency from a to- be-converted light into a converted light and maintain maximum efficiency. The wavelength conversion device includes: a laser light source (10) for generating a basic wave light; a non-linear optical crystal (16) for introducing the basic wave light and generating a converted light; and an optical path adjustment unit (30) for adjusting the propagation direction of the basic wave light and the position of the light flux of the basic wave light in order to input the basic wave light while satisfying the phase matching condition with the non-linear optical crystal. The optical path adjustment unit includes a first reflection mirror (12) and a second reflection mirror (14). The first reflection mirror has an adjustment unit driven by motors (M1, M2) and the second reflection mirror has an adjustment unit driven by motors (M3, M4). Moreover, the wavelength conversion device include: a translucent mirror (18) for extracting a part of an output light (17) by dividing it; and a photo-detector (22) for detecting the divided light. An electric signal (23) outputted from the photo-detector is inputted to adjustment value calculation means (26), where a necessary adjustment value of adjustment place of the optical path adjustment unit is calculated by the fuzzy reasoning and the calculation result is outputted to an optical path adjustment unit control device (28). The optical path adjustment unit control device adjusts the optical path according to an output signal (27) from the adjustment value calculation means.
摘要翻译：波长转换装置进行调整，以将来自转换后的光的能量转换效率稳定为转换光，并保持最大效率。该波长转换装置包括：用于产生基本波光的激光源（10）; 用于引入基波光并产生转换光的非线性光学晶体（16）; 以及光路调整单元（30），用于调节基波光的传播方向和基波光的光束的位置，以输入基波光，同时满足与非线性的相位匹配条件光学晶体。光路调整单元包括第一反射镜（12）和第二反射镜（14）。第一反射镜具有由马达（M1，M2）驱动的调节单元，第二反射镜具有由马达（M3，M4）驱动的调节单元。此外，波长转换装置包括：用于通过分割输出光（17）的一部分提取的半透明反射镜（18）; 以及用于检测分割光的光检测器（22）。从光检测器输出的电信号（23）被输入到通过模糊推理计算出光路调整单元的调整位置的必要调整值的调整值计算单元（26），输出计算结果光路调整单元控制装置（28）。光路调整单元控制装置根据来自调整值计算装置的输出信号（27）来调整光路。

2. 发明授权

KR101250965B1 돌기부 제거공정을 포함하는 기판의 제조방법과 컬러필터돌기수정방법 및 장치 有权
标题翻译：基板制造方法，包括推进步骤，以及用于修改彩色滤光片投影的方法和装置
公开(公告)号：KR101250965B1
公开(公告)日：2013-04-04
申请号：KR1020087005265
申请日：2006-07-27
申请人： 사이버 레이저 가부시끼가이샤
发明人： 츠지카와스스무 , 오타니요시오 , 스미요시테츠미
IPC分类号： G02F1/13 , G02B5/20
CPC分类号： G02F1/133516 , B23K26/0624 , B23K26/082 , B23K26/0853 , B23K26/361 , B23K26/40 , B23K2203/172
摘要： 컬러필터의 수정에 단펄스 레이저를 이용하여 돌기를 제거수정하는 방법을 제공한다. 투명기판(2) 위에 형성된 컬러필터(3-1, 3-2, 3-3)에 생긴 돌기(8)에 대하여, 높은 NA의 집광렌즈(18)로 집광한 빔을 조사하면서 투명기판(2)에 평행방향으로 빔을 주사하여, 돌기(8)를 제거 또는 수정가공하는 컬러필터의 수정방법을 제공한다.
컬러필터, 돌기제거

3. 发明公开

KR1020090018165A 레이저 펄스 발생 장치 및 방법 및 레이저 가공 장치 및 방법 无效
标题翻译：激光脉冲发生器和方法以及激光工作装置和方法
公开(公告)号：KR1020090018165A
公开(公告)日：2009-02-19
申请号：KR1020087031681
申请日：2007-05-18
申请人： 사이버 레이저 가부시끼가이샤
发明人： 스미요시데츠 , 쯔지카와스스무 , 안도테츠오
IPC分类号： H01S3/131 , H01S3/109 , H01S3/117
CPC分类号： H01S3/117 , H01S3/094076 , H01S3/09415 , H01S3/109 , H01S3/1312
摘要： Provided is a stabilized laser working apparatus for stabilizing and emitting the pulse output of a solid laser to a workpiece thereby to work the workpiece finely. The laser working apparatus comprises an excitation laser oscillator (46) for optically exciting a Q-switch element (6) and a laser medium (5), which are disposed in a laser oscillator, in advance, and a laser oscillator (41) for irradiating the excitation density of an upper level in the laser medium for a predetermined period with a laser wavelength other than that of an oscillation object, thereby to de-excite and reduce the upper level density. After the de-excitation in the laser resonator, the Q-switch element (6) is set into a laser oscillation blocking (or closed) state, and the optical excitation of the upper level is performed to perform an energy storage of the laser medium for a predetermined period. Next, the Q-switch element (6) is switched to the laser oscillating (ON) state thereby to oscillate and output Q-switch pulses, so that the homogeneous Q-switch pulse outputs for every pulses are introduced to work the workpiece finely irrespective of the Q-switch pulse oscillation interval.
摘要翻译：提供了一种用于稳定并将固体激光器的脉冲输出发射到工件的稳定的激光加工装置，从而使工件精细地工作。激光加工装置包括用于光学激发设置在激光振荡器中的Q开关元件（6）和激光介质（5）的激发激光振荡器（46）和激光振荡器（41），用于用激光波长不同于振荡对象的激光照射激光介质中的上位激发密度达预定周期，从而去激发和降低上层密度。在激光谐振器中的去激励之后，Q开关元件（6）被设置成激光振荡阻挡（或闭合）状态，并执行上电平的光激发以执行激光介质的能量存储预定时间。接下来，Q开关元件（6）切换到激光振荡（ON）状态，从而振荡并输出Q开关脉冲，从而引入用于每个脉冲的均匀的Q开关脉冲输出以精细地工作工件的Q开关脉冲振荡间隔。

4. 发明公开

KR1020070119303A 레이저 가공장치 有权
标题翻译：激光加工设备
公开(公告)号：KR1020070119303A
公开(公告)日：2007-12-20
申请号：KR1020060053760
申请日：2006-06-15
申请人： 사이버 레이저 가부시끼가이샤
发明人： 오쿠노,마사시 , 와타베,아키라
IPC分类号： B23K26/042 , B23K26/70
摘要： A laser machining apparatus is provided to be able to cope with machining accuracy of not more than a nanometer unit by disposing an optical axis position detector for monitoring an optical axis position of laser beams and correcting an optical axis error of the laser beams that are irradiated onto a workpiece. A laser machining apparatus(1) comprises: a light source(2) that outputs a laser beam; a light path adjusting part(4) that adjusts a light path of the laser beam; a first spectrometer(8) that separates the laser beam into laser beams; a movable stand(6) which has a predetermined movable region, and on which a workpiece is placed; a movable stand position detector(12) that detects position of the movable stand; a first optical axis position detector(10) that detects optical axis positions of the separated laser beams; a stage(7) on which the movable stand, the movable stand position detector and the first optical axis position detector are placed; and an optical axis control part(5) that adjusts optical axes of the separated laser beams by receiving an output from the first optical axis position detector, thereby controlling the light path adjusting part.
摘要翻译：提供激光加工装置，通过设置用于监测激光束的光轴位置的光轴位置检测器和校正被照射的激光束的光轴误差，能够应对不大于纳米单位的加工精度到工件上。激光加工装置（1）包括：输出激光束的光源（2）; 调整激光束的光路的光路调整部（4）; 将激光束分离成激光束的第一光谱仪（8）; 具有预定的可动区域的可动支架（6），工件被放置在该可动支架上; 检测可动支架的位置的可动支架位置检测器（12）; 第一光轴位置检测器（10），其检测分离的激光束的光轴位置; 其上放置有可动支架，可动支架位置检测器和第一光轴位置检测器的平台（7）以及光轴控制部（5），其通过接收来自第一光轴位置检测器的输出来调整分离的激光的光轴，从而控制光路调整部。

5. 发明公开

KR1020090100393A 레이저 펄스 발생 장치 및 방법 无效
标题翻译：激光脉冲发生器和发电方法
公开(公告)号：KR1020090100393A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：KR1020097014652
申请日：2008-01-11
申请人： 사이버 레이저 가부시끼가이샤
发明人： 이마호코토모히로 , 스미요시테츠미
IPC分类号： H01S3/109 , H01S3/11
CPC分类号： H01S3/117 , H01S3/0604 , H01S3/08054 , H01S3/10038 , H01S3/10046 , H01S3/109
摘要： [PROBLEMS] To provide a stable pulse high repetition laser oscillator employing a laser medium of low amplification gain such as a thin planar shape. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A solid laser oscillator comprises at least a pair of laser resonators, a thin planar laser medium to which an active substance having an upper level life longer than the period of repetitive operation as a laser medium is added, a thin planar laser medium provided on at least one reflector in the laser resonator and a Q switch element provided in the resonator, a pumping source for pumping the laser medium optically, and a control section for driving the Q switch element. The control section starts oscillation with the Q switch element in on state and switches the Q switch to off during oscillation that allows the upper level density of active substance in the laser medium to remain, thus interrupting oscillation. Since the upper level pumping density is sustained such that a Q switch pulse can be oscillated when the Q switch is on, stable high repetition pulse oscillation can be achieved.
摘要翻译：提供采用低放大增益的激光介质（如薄平面形状）的稳定脉冲高重复激光振荡器。解决问题的手段固体激光振荡器包括至少一对激光谐振器，薄平面激光介质，具有比作为激光介质的重复操作的周期长的上限寿命的活性物质，薄平面激光介质，薄的提供在激光谐振器中的至少一个反射器上的平面激光介质和设置在谐振器中的Q开关元件，用于泵浦激光介质的泵浦源以及用于驱动Q开关元件的控制部分。控制部分在Q开关元件处于导通状态时开始振荡，并且在振荡期间将Q开关切换到关闭状态，从而允许激光介质中的活性物质的上限密度保持，从而中断振荡。由于上限泵浦密度持续，使得当Q开关接通时可以使Q开关脉冲振荡，可以实现稳定的高重复脉冲振荡。

6. 发明公开

KR1020080052571A 돌기부 제거공정을 포함하는 기판의 제조방법과 컬러필터돌기수정방법 및 장치 有权
标题翻译：基板制造方法，包括推进步骤，以及用于修改彩色滤光片投影的方法和装置
公开(公告)号：KR1020080052571A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：KR1020087005265
申请日：2006-07-27
申请人： 사이버 레이저 가부시끼가이샤
发明人： 츠지카와스스무 , 오타니요시오 , 스미요시테츠미
IPC分类号： G02F1/13 , G02B5/20
CPC分类号： G02F1/133516 , B23K26/0624 , B23K26/082 , B23K26/0853 , B23K26/361 , B23K26/40 , B23K2203/172
摘要： A method for removing and modifying a protrusion by using a short pulse laser is provided for modifying a color filter. In a color filter modifying method, a transparent substrate (2) is scanned with a beam in a parallel direction, while irradiating a protrusion (8) generated on the color filters (3-1, 3-2, 3-3) formed on a transparent substrate (2) with a beam collected by a high NA condensing lens (18), and the protrusion (8) is removed or modified.
摘要翻译：提供了通过使用短脉冲激光器去除和修改突起的方法来修改滤色器。在滤色器修改方法中，在平行方向上用光束扫描透明基板（2），同时照射在形成于其上的滤色器（3-1,3-2,3-3）上产生的突起（8）具有由高NA聚光透镜（18）收集的光束的透明基板（2），并且突出部（8）被去除或修改。

7. 发明公开

KR1020060110834A 출력 안정화 기구를 갖는 펨토초 레이저 장치 有权
标题翻译：具有输出稳定机构的FEMTOSECOND激光器件
公开(公告)号：KR1020060110834A
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：KR1020060035977
申请日：2006-04-21
申请人： 사이버 레이저 가부시끼가이샤
发明人： 세끼따히또시 , 다까사고가즈야 , 나까따노부오 , 나까무라아라따
IPC分类号： H01S3/10
CPC分类号： H01S3/005 , H01S3/1301 , H01S3/235
摘要： A femtosecond laser device having an output stabilizing mechanism is provided to extend a stabilized output period by mutually complementing outputs of an exciting laser and a reproduction amplifier. In a femtosecond laser device having an output stabilizing mechanism, a variable attenuator(3) controls output light(8) of a reproduction amplifier(2). Light detectors(4,5,11) are mounted between the reproduction amplifier(2) and the variable attenuator(3). The light detectors(4,5,11) detect the output light(8) of the reproduction amplifier(2) to transmit a detection result to a power controller(7). The power controller(7) stabilizes output by controlling the variable attenuator(3) according to a difference of a predetermined target value and the detection result.
摘要翻译：具有输出稳定机构的飞秒激光装置被提供以通过相互补充激励激光器和再现放大器的输出来延长稳定的输出周期。在具有输出稳定机构的飞秒激光装置中，可变衰减器（3）控制再现放大器（2）的输出光（8）。光检测器（4,5,11）安装在再现放大器（2）和可变衰减器（3）之间。光检测器（4,5,11）检测再现放大器（2）的输出光（8），以将检测结果发送到功率控制器（7）。功率控制器（7）通过根据预定目标值和检测结果的差来控制可变衰减器（3）来稳定输出。

8. 发明授权

KR101409908B1 레이저 가공장치 有权
标题翻译：激光加工设备
公开(公告)号：KR101409908B1
公开(公告)日：2014-06-20
申请号：KR1020060053760
申请日：2006-06-15
申请人： 사이버 레이저 가부시끼가이샤
发明人： 오쿠노,마사시 , 와타베,아키라
IPC分类号： B23K26/042 , B23K26/70
摘要： 본 발명의 과제는 레이저 광의 광축의 안정성을 확보하는 데 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해 본 발명의 레이저 가공장치는, 레이저 광을 출력하는 광원과, 상기 레이저 광의 광로를 조정하는 광로조정부와, 레이저 광을 분광시키는 제 1 분광기와, 소정의 가동영역을 가지며 피가공물을 올려놓는 가동대와, 가동대의 위치를 검출하는 가동대 위치 검출기와, 상기 분광된 레이저 광의 광축 위치를 검출하는 제 1 광축 위치 검출기와, 상기 가동대, 가동대 위치 검출기 및 제 1 광축 위치 검출기를 올려놓은 스테이지와, 상기 제 1 광축 위치 검출기로부터의 출력을 받아서 상기 광로조정부를 제어하여, 상기 분광된 레이저 광의 광축을 조정하는 광축제어부를 구비한다.

9. 发明授权

KR101335546B1 레이저 장치의 문제 진단방법 및 문제 수리방법 有权
标题翻译：激光装置问题诊断方法及修复方法
公开(公告)号：KR101335546B1
公开(公告)日：2013-12-02
申请号：KR1020060045161
申请日：2006-05-19
申请人： 사이버 레이저 가부시끼가이샤
发明人： 와타나베아키라 , 오쿠노타다시 , 츠기타히로시 , 스미요시데츠미 , 세키타히토시
IPC分类号： B23K26/60 , B23K26/70 , G01B11/00
CPC分类号： H01S3/0014 , A61B2018/00636 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/034 , B23K26/707 , B23K2203/30 , B23K2203/50 , G06F19/00 , G16H40/40 , H01S3/0007 , H01S3/0602 , H01S3/0941 , H01S3/13 , H01S3/1643
摘要： 본 발명은 의료분야에서 사용되는 레이저 치료장치나 공업분야에서 사용되는 레이저 가공장치 등의 레이저 장치의 문제를 조기에 발견하여, 레이저 장치의 보수작업에 필요한 시간을 단축하는 것을 목적으로 한다.
레이저 장치 안의 광학부품에서 발생하는 산란광의 강도를 측정하는 공정과, 레이저 장치의 소정의 운전환경하에서 예측되는 산란광 강도의 경시변화를 나타내는 데이터를 참조하여, 산란광의 강도로부터 광학부품의 문제의 정도를 예측하는 공정과, 문제의 정도에 근거하여, 필요한 보수작업을 판정하는 공정을 가진다. 또한, 산란광 강도와 광학부품의 문제 정도와의 관계를 규정하는 멤버쉽 함수를 근거로, 퍼지 추론을 실행함으로써, 광학부품의 문제 정도를 예측한다.
광학부품 문제, 보수, 산란광

10. 发明授权

KR101259638B1 출력 안정화 기구를 갖는 펨토초 레이저 장치 有权
标题翻译：具有输出稳定机构的FEMTOSECOND激光器件
公开(公告)号：KR101259638B1
公开(公告)日：2013-04-30
申请号：KR1020060035977
申请日：2006-04-21
申请人： 사이버 레이저 가부시끼가이샤
发明人： 세끼따히또시 , 다까사고가즈야 , 나까따노부오 , 나까무라아라따
IPC分类号： H01S3/10
CPC分类号： H01S3/005 , H01S3/1301 , H01S3/235
摘要： 본 발명의 과제는 펨토초 레이저의 출력을 안정화시키는 것이다.
재생 증폭기와 광검출기와 제어 부분과 가변 감쇠기를 갖는 펨토초 레이저 장치에 있어서, 가변 감쇠기는 재생 증폭기의 출력광을 제어할 수 있게 설치되고, 상기 광검출기는 상기 재생 증폭기와 상기 가변 감쇠기 사이에 설치되어 있고, 상기 광검출기는 상기 재생 증폭기의 출력광을 검출하여 검출 결과를 제어 부분에 전송하고, 상기 제어 부분은 소정의 목표치와 상기 검출 결과와의 차이에 따라서 상기 가변 감쇠를 제어하여 출력을 안정시키는 레이저 장치를 제공한다.
파워 레귤레이터, 파워 컨트롤러, 광검출기, 압축기, 여기 레이저 광원

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